JP5455116B2 - 配線基板およびその製造方法 - Google Patents
配線基板およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5455116B2 JP5455116B2 JP2009244988A JP2009244988A JP5455116B2 JP 5455116 B2 JP5455116 B2 JP 5455116B2 JP 2009244988 A JP2009244988 A JP 2009244988A JP 2009244988 A JP2009244988 A JP 2009244988A JP 5455116 B2 JP5455116 B2 JP 5455116B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- wiring conductor
- strip
- insulating resin
- resin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
このような半導体集積回路素子を配線基板に搭載する方法として、フリップチップ接続により接続する方法がある。フリップチップ接続とは、配線基板上に設けた配線導体の一部を半導体集積回路素子の電極端子の配置に対応した並びに半導体素子接続パッドとして露出させ、この半導体素子接続パッドと前記半導体集積回路素子の電極端子とを対向させ、これらを半田等の導電バンプを介して電気的に接続する方法である。
3P 熱硬化性樹脂材料
4a 上層の帯状配線導体
4a’ 引き出し部
4A 半導体素子接続パッド
4b 下層の帯状配線導体
4c 導電突起
101 半導体素子
F 金属箔
Claims (2)
- 下層の絶縁樹脂層と、該下層の絶縁樹脂層上に複数並んで形成された下層の帯状配線導体と、該下層の帯状配線導体を埋設する上層の絶縁樹脂層と、前記下層の帯状配線導体上に該下層の帯状配線導体の幅と一致する幅で横に一列に並ぶように形成されており、上面が前記上層の絶縁樹脂層から露出する導電突起と、該導電突起および前記上層の絶縁樹脂層上に形成されており、半導体素子の電極端子が接続される複数の半導体素子接続パッドを各前記導電突起上に有する複数の上層の帯状配線導体とを具備し、前記上層の帯状配線導体の一部は、前記半導体素子接続パッドから該半導体素子接続パッドの並びの両側の少なくとも一方に向けて延びる引き出し部を有しているとともに、該引き出し部が前記上層の絶縁樹脂層に形成されたビアホールを介して下層の配線導体に接続されていることを特徴とする配線基板。
- 下層の絶縁樹脂層上に下層の帯状配線導体を複数並べて形成するとともに該下層の帯状配線導体上に導電突起を前記下層の帯状配線導体の幅と一致する幅で形成する工程と、粗化面を有する金属箔の前記粗化面上に塗布された半硬化の熱硬化性樹脂材料を、前記下層の絶縁樹脂層および前記下層の帯状配線導体および前記導電突起上に、前記金属箔の前記粗化面が前記導電突起上面に当接するまで前記金属箔上から圧接して前記下層の帯状配線導体および前記導電突起を前記熱硬化性樹脂材料中に埋設するとともに、前記熱硬化性樹脂材料を熱硬化させて該熱硬化性樹脂材料の硬化物から成る上層の絶縁樹脂層を形成する工程と、前記上層の絶縁樹脂層の表面から前記金属箔をエッチング除去するとともに前記導電突起上に残る前記熱硬化性樹脂材料の残渣を除去する工程と、前記導電突起上および前記上層の絶縁樹脂層上に上層の帯状配線導体を、前記導電突起上に半導体素子接続パッドを有するように形成する工程とを行うことを特徴とする配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009244988A JP5455116B2 (ja) | 2009-10-24 | 2009-10-24 | 配線基板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009244988A JP5455116B2 (ja) | 2009-10-24 | 2009-10-24 | 配線基板およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011091280A JP2011091280A (ja) | 2011-05-06 |
JP5455116B2 true JP5455116B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=44109256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009244988A Expired - Fee Related JP5455116B2 (ja) | 2009-10-24 | 2009-10-24 | 配線基板およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5455116B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5662398A (en) * | 1979-10-26 | 1981-05-28 | Nippon Electric Co | Method of manufacturing high density multilayer board |
JPH0710030B2 (ja) * | 1990-05-18 | 1995-02-01 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 多層配線基板の製造方法 |
JPH0455167U (ja) * | 1990-09-17 | 1992-05-12 | ||
JP2000294930A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Mitsubishi Electric Corp | 多層プリント基板の製造方法およびこの多層プリント基板を用いた半導体装置 |
JP2001284783A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 表面実装用基板及び表面実装構造 |
JP4254034B2 (ja) * | 2000-09-18 | 2009-04-15 | 東亞合成株式会社 | 多層プリント配線板の製造方法 |
JP3747043B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2006-02-22 | 三共化成株式会社 | 立体回路基板の製造方法 |
-
2009
- 2009-10-24 JP JP2009244988A patent/JP5455116B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011091280A (ja) | 2011-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5010737B2 (ja) | プリント配線板 | |
JP4769022B2 (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP5138277B2 (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
KR101627574B1 (ko) | 배선 기판 및 그 제조 방법 | |
JP6158676B2 (ja) | 配線基板、半導体装置及び配線基板の製造方法 | |
JP5091469B2 (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
US9338886B2 (en) | Substrate for mounting semiconductor, semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device | |
JPH11233678A (ja) | Icパッケージの製造方法 | |
JPWO2007126090A1 (ja) | 回路基板、電子デバイス装置及び回路基板の製造方法 | |
WO2010052942A1 (ja) | 電子部品内蔵配線板及びその製造方法 | |
JP5221887B2 (ja) | 配線基盤の製造方法 | |
JP5106197B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2010010329A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2011014644A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2014179430A (ja) | 半導体素子搭載用多層プリント配線板 | |
JP2010135347A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP2010040936A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JPH11111886A (ja) | 実装基板およびその製造方法 | |
JP5432800B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP5058929B2 (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
TW201523798A (zh) | Ic載板、具有該ic載板的半導體器件及其製造方法 | |
JP4802155B2 (ja) | 配線基板 | |
JP2009289868A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP5455116B2 (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP5106351B2 (ja) | 配線基板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5455116 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |