JP5452675B2 - 顕微鏡 - Google Patents
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Description
の振動方向の切換えも容易に行うことができ、かつ、共用の1個の偏光板を備えればよく、安価に構成できるという効果を奏する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図2は、図1中のコンデンサレンズ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図3は、DIC観察時に光軸上に配置される素子例を示す斜視図であり、図4は、RC観察時に光軸上に配置される素子例を示す斜視図であり、図5は、図4中のRCスリットを矢印X方向から見た平面図である。
(変形例1)
図6は、本実施の形態1にかかる変形例1の照明系の一部の構成例を示す概略側面図である。変形例1では、DIC観察用ポラライザ23を、コンデンサレンズ5A部分には配置せずに、上方の照明光学系筐体17に取付けたものである。
(変形例2)
図7は、本実施の形態1にかかる変形例2のコンデンサレンズ50の構成例を示す概略側面図である。変形例2は、RC観察とDIC観察との観察方法の切換えに代えて、RC観察と偏光観察との観察方法の切換えに適用したものである。すなわち、図2に示したDIC観察用ポラライザ23に代えて、偏光観察用ポラライザ(偏光観察用偏光板)51をコンデンサレンズ50上に配置させたものである。また、コンデンサレンズ50上のターレット24には、DICプリズム20に代えて空穴52が形成され、偏光観察用ポラライザ51と空穴52との組合せにより偏光観察が可能とされている。
(実施の形態2)
図8は、本発明の実施の形態2にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図9は、図8中のコンデンサレンズ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図10は、RC観察時に光軸上に配置される素子例を示す斜視図である。
(実施の形態3)
図11は、本発明の実施の形態3にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図12は、図11中のコンデンサレンズ部分およびDIC観察用アナライザ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図13は、RC観察時に光軸上に配置される素子の一部を平面状に展開して示す模式図である。
す本実施の形態3にかかる顕微鏡1Cの全体構成は、図8に示した顕微鏡1Bの全体構成とほぼ同じであるが、図12に示すように、コンデンサレンズ5C部分の構成が異なる。図12を参照して、本実施の形態3のコンデンサレンズ5Cの構成について説明する。本実施の形態3では、DIC観察用ポラライザ23を空穴28とともにスライダ26に配置させることで、ターレット24側とは独立して照明光軸L1に対する挿脱を可能としたものである。
設定されている。また、このようなRC観察用ポラライザ22の振動方向の変更設定に伴い、RCスリット21の偏光スリット21bの振動方向も図13中に示すように調整されて変更設定されている(モジュレータ18も対応して調整される)。
(実施の形態4)
図14は、本発明の実施の形態4にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図15は、図14中のコンデンサレンズ部分およびDIC観察用アナライザ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図16は、RC観察時に光軸上に配置される素子の一部を平面状に展開して示す模式図である。
(実施の形態5)
図17は、本発明の実施の形態5にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図18は、図17中のコンデンサレンズ部分およびDIC観察用アナライザ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図19は、RC観察時に光軸上に配置される素子の一部を平面状に展開して示す模式図である。
(実施の形態6)
図20は、本発明の実施の形態6にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図21は、図20中のコンデンサレンズ部分およびDIC観察用アナライザ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図22は、RC観察時に光軸上に配置される素子の一部を平面状に展開して示す模式図である。
(実施の形態7)
図23は、本発明の実施の形態7にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図24は、図23中のコンデンサレンズ部分およびDIC観察用アナライザ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図25は、RC観察時に光軸上に配置される素子の一部を平面状に展開して示す模式図である。
(実施の形態8)
図26は、本発明の実施の形態8にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図27は、図26中のコンデンサレンズ部分を抽出し拡大して示す概略側面図であり、図28は、図27中で矢印X方向に見たRCスリットの平面図である。
(実施の形態9)
図29は、本発明の実施の形態9にかかる顕微鏡の全体構成例を示す概略側面図であり、図30は、図29中のコンデンサレンズ部分を抽出し拡大して示す概略側面図である。
(変形例1)
図31は、実施の形態9にかかる変形例1のコンデンサレンズ部分を示す概略側面図である。変形例1のコンデンサレンズ5Jでは、ターレット24においてDICプリズム20と対をなすDIC観察用ポラライザ23も一体に搭載して設けたものである。これにより、RCスリット46を照明光軸L1上に挿入してRC観察する際には、DIC観察用ポラライザ23は照明光軸L1上から外れるため、デポライザ47は不要となる。
21 RCスリット
21a 空穴スリット
21B 偏光スリット
22 RC観察用ポラライザ
23 DIC観察用ポラライザ
24 ターレット
26 スライダ
32 DIC観察用アナライザ
34 共用ポラライザ
40a、40b クリック機構
43 モータ
46 RCスリット
46a 空穴スリット
50 コンデンサレンズ
51 偏光観察用ポラライザ
L1 照明光軸
L2 観察光軸
Claims (4)
- 照明光路中に配置されて、観察方法を切換えるために少なくとも1個の光学素子を照明光軸上に挿脱可能なコンデンサレンズと、
前記光学素子の照明光軸上への挿脱とは独立して照明光軸上に配置されて第1の偏光板と第2の偏光板とを共用し、前記第1の偏光板用の第1の振動方向の位置と前記第2の偏光板用の第2の振動方向の位置とを記憶させ、記憶させた第1または第2の振動方向の位置を選択的に再現保持可能な偏光板と、
観察光軸上に固定的に配置された微分干渉用または偏光観察用の第4の偏光板と、
を備え、
前記光学素子は、その一部に第3の偏光板が配置されたレリーフコントラスト用スリットであり、
前記第1の偏光板は、レリーフコントラスト用偏光板であり、
前記第2の偏光板は、微分干渉用偏光板または偏光観察用偏光板であり、
前記第1の振動方向と前記第4の偏光板の振動方向がほぼ一致していることを特徴とする顕微鏡。 - 照明光路中に配置されて、観察方法を切換えるために少なくとも1個の光学素子を照明光軸上に挿脱可能なコンデンサレンズと、
前記光学素子の照明光軸上への挿脱とは独立して照明光軸上に配置されて第1の偏光板と第2の偏光板とを共用し、前記第1の偏光板用の第1の振動方向の位置と前記第2の偏光板用の第2の振動方向の位置とを記憶させ、記憶させた第1または第2の振動方向の位置を選択的に再現保持可能な偏光板と、
観察光軸上に固定的に配置された微分干渉用または偏光観察用の第4の偏光板を備え、
前記光学素子は、その一部に第3の偏光板が配置されたレリーフコントラスト用スリットであり、
前記第1の偏光板は、レリーフコントラスト用偏光板であり、
前記第2の偏光板は、微分干渉用偏光板または偏光観察用偏光板であり、
前記第2の振動方向と該前記第4の偏光板の振動方向がほぼクロスニコルの状態であることを特徴とする顕微鏡。 - 照明光路中に配置されて、観察方法を切換えるために少なくとも1個の光学素子を照明光軸上に挿脱可能なコンデンサレンズと、
前記光学素子の照明光軸上への挿脱とは独立して照明光軸上に配置されて第1の偏光板と第2の偏光板とを共用し、前記第1の偏光板用の第1の振動方向の位置と前記第2の偏光板用の第2の振動方向の位置とを記憶させ、記憶させた第1または第2の振動方向の位置を選択的に再現保持可能な偏光板と、
を備え
前記光学素子は、その一部に第3の偏光板が配置されたレリーフコントラスト用スリットであり、
前記第1の偏光板は、レリーフコントラスト用偏光板であり、
前記第2の偏光板は、微分干渉用偏光板または偏光観察用偏光板であり、
微分干渉用または偏光観察用の第4の偏光板と、微分干渉用プリズムを観察光軸上に固定的に配置したことを特徴とする顕微鏡。 - 記憶させた前記偏光板の第1または第2の振動方向の位置を選択的に再現保持する、回転
角度の検出可能なモータを備えることを特徴とする請求項1から3に記載の顕微鏡。
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