JP2002040328A - 落射型顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】種々の観察に必要な光学部材の切り替えが容易
に行えるとともにコストを抑えることができる落射型顕
微鏡装置を提供すること。 【解決手段】照明光学系の光路中に設けられる第１の光
学部材２１と観察光学系の光路中に設けられる第２の光
学部材２２とを備える。特性の異なる２個の第１の光学
部材２１を第１の保持部材３１に取り付け、特性の異な
る２個の第２の光学部材２２を第２の保持部材３２に取
り付け、光路中に配置されるそれぞれ２個の第１及び第
２の光学部材２１，２２が切り替わるように顕微鏡本体
に対して第１及び第２の保持部材３１，３２を進退可能
に設ける。該当する光学部材２１，２２が取り付けられ
た保持部材３１，３２を進退操作するだけで、種々の観
察に必要な光学部材２１，２２の切り替えが容易に行え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に照明光を照
射する照明光学系と、試料から発生する反射光や透過光
を観察可能な観察光学系とが顕微鏡本体に設けられ、照
明光学系と観察光学系との光路中にそれぞれ光学部材が
配置される落射型顕微鏡装置に関する。

【０００２】

【背景技術】顕微鏡装置には落射照明を用いた落射型顕
微鏡があり、この落射型顕微鏡では、蛍光観察、明視野
観察、暗視野観察、偏光観察、微分干渉観察等、各種の
用途に応じた様々な検鏡（観察）方法がある。この検鏡
方法を実現するために、種々な手段が用いられている。
例えば、偏光観察では、保持枠に納めた偏光子を、照明
光学系の光路（光軸）に略直角となるように設けたスロ
ットへ挿入するとともに、保持枠に納めた検光子を、観
察光学系の光路に概ね直角となるように配置する。ま
た、赤外、紫外観察では、保持枠に収めた赤外線あるい
は紫外線のみを透過するフィルタを、顕微鏡本体のスロ
ットへ差し込む。

【０００３】また、明視野あるいは暗視野観察では、観
察光学系と照明光学系との光路が直角に交差するように
配置し、光路が直交する位置に４５°傾けたハーフミラ
ーを顕微鏡本体に固定して特定条件の下で観察を行うも
のや、ハーフミラーを含むユニットを顕微鏡本体に着脱
自在に取り付け、このユニットを切り替えることで、観
察条件を変更するものがある。さらに、試料からの微弱
な蛍光を観察する蛍光観察では、特定の波長を通過する
励起フィルタからなる光学部材を照明光学系の光路に配
置し、特定の波長のみを通過する吸収フィルタからなる
光学部材を観察光学系の光路に配置し、これらの照明光
学系と観察光学系とが直角に交差する位置に特定の波長
のみ反射・透過するダイクロイックミラーからなる光学
部材を４５度傾けて配置したものがあり、これらの光学
部材はユニットとして一体化されている。

【０００４】複数の光学部材をユニットで構成した従来
例としては、励起フィルタ、ダイクロイックミラー及び
吸収フィルタからなる光学部材をユニットに固定し、こ
のユニットを特性の異なる光学部材毎に複数用意し、こ
れらの複数のユニットを取付部材に直接に並べ、この取
付部材をスライドさせることで光路中に光学部材を択一
的に配置する構成のもの（特開平8-122645号、特開平8-
297248号）、あるいは、それぞれ対となる光学部材を組
み込んだ複数のユニットを取付用円盤（ターレット）上
に並べ、この取付用円盤を回転させることで光路中に光
学部材を択一的に配置する構成のもの（特開平8-94940
号）がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、偏光子を納め
た保持枠をスロットに挿入する従来例では、基本的に
は、観察条件を変更しないものであり、仮に、観察条件
を変更する場合には、偏光子を納めた保持枠を顕微鏡本
体から取り出し、異なる種類の偏光子を納めた保持枠を
顕微鏡本体に装着しなければならないという操作上の不
便が生じる。

【０００６】また、対となる光学部材をユニットに組み
込み、このユニットを複数の取付部材に取り付ける従来
例（特開平8-122645号、特開平8-297248号、特開平8-94
940号）では、ユニットの光路に対する位置を切り替え
ることで、所定の観察が行えるが、対となる光学部材の
一方のみを変更して観察を行いたい場合、例えば、励起
又は吸収特性のみを変更するために、励起フィルタ又は
吸収フィルタの一方のみを変更したい場合でも、顕微鏡
本体からユニット毎取り出し、このユニットに取り付け
られた励起フィルタ又は吸収フィルタを交換し、再び、
顕微鏡本体に戻すという手間のかかる一連の作業が必要
である。

【０００７】この不都合を回避するには、前もって特性
の異なるフィルタ等を装着したユニットを多く準備し、
これらの多くのユニットを顕微鏡本体に組み込むことが
考えられるが、これでは、顕微鏡の製造コストがかかり
すぎるという不都合が生じる。特に、特開平8-94940号
で示される従来例では、対となる光学部材を組み込んだ
複数のユニットを取付用円盤（ターレット）上に並べた
構成であるため、この円盤を回転する回転機構が別途必
要となり、装置が複雑化・大型化され、コストやスペー
スとの関係で問題が残る。

【０００８】本発明の目的は、種々の観察に必要な光学
部材の切り替えが容易に行えるとともにコストを抑える
ことができる落射型顕微鏡装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、従
来、ユニット内に固定されていた対となる第１及び第２
の光学部材の少なくとも一方を、保持枠に複数取り付け
て光路に対する位置を切り替え可能として前記目的を達
成しようとするものである。具体的には、本発明の落射
型顕微鏡装置は、顕微鏡本体と、この顕微鏡本体にそれ
ぞれ設けられ試料に照明光を照射する照明光学系及び前
記試料から発生する光を観察可能な観察光学系と、互い
に対となり前記照明光学系の光路中に設けられる第１の
光学部材及び前記観察光学系の光路中に設けられる第２
の光学部材とを備え、これらの第１の光学部材及び第２
の光学部材はそれぞれ複数のうち１つが前記光路中に択
一配置される落射型顕微鏡装置であって、前記第１の光
学部材と前記第２の光学部材との少なくとも一方は、特
性の異なる複数が保持部材に取り付けられ、この保持部
材は前記光路中に配置される前記光学部材が切り替わる
ように前記顕微鏡本体に対して進退可能に設けられてい
ることを特徴とする。

【００１０】このような構成によれば、照明光学系から
の照明光は第１の光学部材、例えば、励起フィルタやバ
ンドパスフィルタ等の波長選択フィルタ、偏光子、ＮＤ
フィルタ、ＧＩＦ、色温度変換フィルタ、等を通って試
料に送られ、この試料で反射した光又は試料を透過した
光は第２の光学部材、例えば、吸収フィルタやバンドパ
スフィルタ等の波長選択フィルタ、検光子、ＮＤフィル
タ、ＧＩＦ、色温度変換フィルタ、等を通って観察光学
系で観察される。ここで、異なる条件で観察を行うた
め、第１の光学部材及び／又は第２の光学部材を変更す
る。そのため、該当する光学部材が取り付けられた保持
部材を進退させて光路中での配置位置を切り替える。従
って、本発明では、該当する光学部材が取り付けられた
保持部材を操作するだけで、種々の観察に必要な光学部
材の切り替えが容易に行える。しかも、対となる光学部
材の多くのパターンを顕微鏡本体に取り付けておく必要
がないので、省スペース化が図れるとともに落射型顕微
鏡装置の製造コストを抑えることができる。さらに、保
持部材を進退させる構成であるから、保持部材を回転さ
せる場合に比べて顕微鏡装置の構造を簡易なものにでき
る。

【００１１】以上の構成において、前記保持部材は、前
記光学部材を保持する保持枠と、この保持枠に取り付け
られた摘み部とを備えた構成が好ましい。この構成で
は、摘み部をつまんで保持部材を進退させることができ
るので、光学部材の切り替え作業を容易に行うことがで
きる。

【００１２】また、前記保持部材は落射照明ユニットに
着脱自在に設けられ、この落射照明ユニットは前記顕微
鏡本体に着脱自在に設けられている構成が好ましい。こ
の構成では、落射照明ユニットを顕微鏡本体に着脱する
ことができるので、互いに対となる第１の光学部材と第
２の光学部材との位置決めを落射照明ユニットに対して
行った後、この落射照明ユニットを顕微鏡装置に装着す
ることで、光路に対する各光学部材の位置決めを容易に
行うことができる。その上、光学部材が設けられた保持
部材を落射照明ユニットから取り外すことが可能であ
り、取り外した保持部材に取り付けられている光学部材
を交換することで、多くの種類の光学部材を交換して種
々の観察が行える。従って、予め、多くの種類の光学部
材を保持部材に取り付けることを要しないので、顕微鏡
装置自体が不必要に大型化されることがなくなる。

【００１３】また、前記保持枠は平板状に形成されてお
り、前記光学部材は、その平面が前記保持枠の平面から
突出しないとともに厚み寸法が前記保持枠の厚み寸法と
同じ又は小さく形成されている構成が好ましい。この構
成では、光学部材が保持枠の平面から突出することなく
保持枠に取り付けられているため、落射照明ユニットに
対して保持枠を進退させても、光学部材が落射照明ユニ
ットと干渉することがない。そのため、保持枠の進退動
をスムーズに行うことができる。

【００１４】また、前記照明光学系からの照明光を前記
試料に送るとともに前記試料からの光を前記観察光学系
に送る第３の光学部材を備え、この第３の光学部材は特
性の異なる複数が保持部材に取り付けられ、この保持部
材は前記光路中に配置される前記第３の光学部材が切り
替わるように前記顕微鏡本体に対して進退可能に設けら
れている構成が好ましい。この構成では、異なる条件で
観察を行うため、第３の光学部材、例えば、ハーフミラ
ーやダイクロイックミラー等を変更する。そのため、第
３の光学部材が取り付けられた保持枠を進退させて光路
中での配置位置を切り替える。従って、本発明では、第
１の光学部材及び／又は第２の光学部材に加えて、第３
の光学部材が取り付けられた保持部材を進退動すること
で、種々の観察に必要な光学部材の切り替えが容易に行
える。しかも、第３の光学部材を交換するにあたり、第
１及び第２の光学部材を含むユニット全体を取り出すこ
とが不要となるので、落射型顕微鏡装置の製造コストを
抑えることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本発明を適用した落射型顕
微鏡装置の側面図である。図１において、落射型顕微鏡
装置１は、顕微鏡本体２と、この顕微鏡本体２にそれぞ
れ設けられた光路（光軸）３Ａ，４Ａが互いに直交する
照明光学系３及び観察光学系４と、照明光学系３と観察
光学系４との交点近傍に配置される落射照明ユニット５
とを備えた構成である。

【００１６】顕微鏡本体２は、側面コ字型に形成された
フレーム１０と、このフレーム１０の下部に昇降自在か
つ回転自在に取り付けられ試料Ｓが載置可能とされるテ
ーブル１１と、フレーム１０の上端部に固定された角柱
状のケーシング１２とを備えている。照明光学系３は、
ケーシング１２の端部に固定されたランプハウス１３を
備え、このランプハウス１３は、その内部に光源１３Ａ
と、図示しないコレクターレンズ及びその他のレンズと
を備えて構成されている。照明光学系３は、光源１３Ａ
から照射される照明光を試料に照射するものであり、そ
の光路３Ａは、光源１３ＡからＹ軸に延びて形成される
とともに落射照明ユニット５で直角に折れ曲がってＺ軸
方向に延びて形成される。

【００１７】観察光学系４は、テーブル１１と対向する
対物レンズ１４と、この対物レンズ１４を複数取り付け
るとともにフレーム１０に回転自在に支持されたレボル
バ１５と、接眼レンズ１６Ａを備えケーシング１２の上
端部に固定された観察部１６と、対物レンズ１４と接眼
レンズ１６Ａとの間に設けられた図示しないレンズとを
備えて構成されている。観察光学系４は、試料Ｓから反
射する光から観察するものであり、その光路４Ａは、対
物レンズ１４からＺ軸方向に延びて形成されるととも
に、途中で折れ曲がって接眼レンズ１６Ａに達するもの
である。

【００１８】落射照明ユニット５の詳細な構造が図２及
び図３に示されている。図２は落射照明ユニット５の分
解斜視図であり、図３は落射照明ユニット５の背面図で
ある。図２及び図３において、落射照明ユニット５は、
ケーシング１２の一部を構成する取付部１２Ａに着脱自
在に取り付けられるものであり、略角柱状のユニット本
体１７を備えて構成される。このユニット本体１７に第
１の保持部材３１、第２の保持部材３２及び第３の保持
部材３３がそれぞれ進退自在に設けられている。第１の
保持部材３１には、それぞれ特性の異なる２個の第１の
光学部材２１が設けられ、第２の保持部材３２にはそれ
ぞれ特性の異なる２個の第２の光学部材２２が設けら
れ、第３の保持部材３３にはそれぞれ特性の異なる２個
の第３の光学部材２３が設けられている。

【００１９】ユニット本体１７は、ブロック部４１と、
このブロック部４１の側面にＸ軸に延びて形成された突
起部４２と、ブロック部４１の端面にＸ軸方向に延びて
形成された摘み部４３とを備えている。突起部４２とケ
ーシング１２との間には軸受けを有するガイドレール４
４が設けられ、ケーシング１２からの落射照明ユニット
５の離脱、ケーシング１２への落射照明ユニット５の装
着が容易とされる。

【００２０】ブロック部４１は半割にされた２つの部材
を結合して略直方体状に形成され、その結合部分には第
１の保持部材３１が挿入される挿入孔４１ＢがＸ軸方向
に延びて形成されている。この挿入孔４１Ｂを挟んで突
起部４２とは反対側にはＸ軸方向に延びた第１の取付溝
４１Ｃが形成され、この第１の取付溝４１Ｃが形成され
た面と直交する面には第２の取付溝４１Ｄが形成されて
いる。

【００２１】第１の取付溝４１Ｃを覆うようにブロック
部４１には第１の蓋材４６が取り付けられ、この第１の
蓋材４６と第１の取付溝４１Ｃとの間に形成される空間
に第１の保持部材３１が挿入される。第１の保持部材３
１に２個取り付けられた第１の光学部材２１の位置に対
応して第１の蓋材４６には窓４６Ａが２カ所形成されて
いる。第２の取付溝４１Ｄを覆うようにブロック部４１
には第２の蓋材４７が取り付けられ、この第２の蓋材４
７と第２の取付溝４１Ｃとの間に形成される空間に第２
の保持部材３２が挿入される。第２の保持部材３２に２
個取り付けられた第２の光学部材２２の位置に対応して
第２の蓋材４７には窓４７Ａが２カ所形成されている。

【００２２】第１の光学部材２１は、例えば、励起フィ
ルタやバンドパスフィルタ等の波長選択フィルタ、偏光
子、ＮＤフィルタ、ＧＩＦ、色温度変換フィルタから円
盤状に形成されるものであって、照明光学系３の光路３
Ａ中に平面が直角となるように（ＸＺ平面と平行となる
ように）設けられる。第２の光学部材２２は、例えば、
吸収フィルタやバンドパスフィルタ等の波長選択フィル
タ、検光子、ＮＤフィルタ、ＧＩＦ、色温度変換フィル
タから円盤状に形成されるものであって、観察光学系４
の光路４Ａ中に平面が直角となるように（ＸＹ平面と平
行となるように）設けられる。第３の光学部材２３は、
例えば、ハーフミラーやダイクロイックミラーから円盤
状に形成されるものであって、照明光学系３と観察光学
系４とが交差する点において平面が互いの光路３Ａ，４
Ａと４５度となるように設けられている。

【００２３】第１の保持部材３１は、２個の第１の光学
部材２１を保持する保持枠３１Ａと、この保持枠３１Ａ
に取り付けられた摘み部３１Ｂとから構成されている。
図４に示される通り、保持枠３１Ａは、平板状に形成さ
れており、第１の光学部材２１は、その平面が保持枠３
１Ａの平面から突出しないとともに厚み寸法t1が保持枠
３１Ａの厚み寸法t2と同じ又は小さく形成されている。
なお、第１の光学部材２１は保持枠３１Ａにねじ込み可
能とされることで、保持枠３１Ａに対して着脱自在とさ
れる。

【００２４】図２及び図４に示される通り、第２の保持
部材３２は、２個の第２の光学部材２２を保持する保持
枠３２Ａと、この保持枠３２Ａに取り付けられた摘み部
３２Ｂとから構成されている。保持枠３２Ａは、平板状
に形成されており、第２の光学部材２２は、その平面が
保持枠３２Ａの平面から突出しないとともに厚み寸法t1
が保持枠３２Ａの厚み寸法t2と同じ又は小さく形成され
ている。第２の光学部材２２は保持枠３２Ａにねじ込み
可能とされることで、保持枠３２Ａに対して着脱自在と
される。

【００２５】第３の保持部材３３は、２個の第３の光学
部材２３を保持する保持枠３３Ａと、この保持枠３３Ａ
に取り付けられた摘み部３３Ｂとから構成されている。
保持枠３３Ａは、平板状に形成されており、第３の光学
部材２３は、その平面が保持枠３３Ａの平面から突出し
ないとともに厚み寸法t1が保持枠３３Ａの厚み寸法t2と
同じ又は小さく形成されている。第３の光学部材２３は
保持枠３３Ａにねじ込み可能とされることで、保持枠３
３Ａに対して着脱自在とされる。

【００２６】図２及び図３において、第１から第３の保
持部材３１〜３３がユニット本体１７に装着された状態
では、それぞれ２個設けられた第１から第３の光学部材
２１〜２３に対応するようにブロック部４１に孔部４１
Ａが２カ所形成されている。この孔部４１Ａの内部には
光路３Ａ，４Ａが形成される（図５（Ｂ）参照）。落射
照明ユニット５全体がＸ軸方向の２位置にケーシング１
２に対して係止できるようにクリック機構５０が設けら
れている。クリック機構５０は、落射照明ユニット５全
体のＸ軸方向での係止位置を切り替えることで、それぞ
れ２個設けられる第１から第３の光学部材２１〜２３を
光路３Ａ，４Ａに択一配置するものであり、その構成
は、ブロック部４１の側面に２カ所形成された係止溝４
１Ｅに係止される球体部５０Ａと、この球体部５０Ａを
係止溝４１Ｅ方向に付勢する板ばね５０Ｂとからなる。

【００２７】図５に示される通り、第１から第３の保持
部材３１〜３３がそれぞれＸ軸方向の２位置にブロック
部４１に対して係止できるように第１から第３のクリッ
ク機構５１〜５３が設けられている。第１のクリック機
構５１は、第１の保持部材３１のＸ軸方向での係止位置
を切り替えることで、２個設けられる第１の光学部材２
１を光路３Ａに択一配置するものであり、その構成は、
保持枠３１Ａの側面に２カ所形成された係止溝３１Ｃに
係止される係止突起５１Ａと、この係止突起５１Ａを係
止溝３１Ｃ方向に付勢するコイルばね５１Ｂとからな
る。これらの係止突起５１Ａ及びコイルばね５１Ｂはブ
ロック部４１の内部に設けられており、コイルばね５１
Ｂの抜け止めをする取付ねじ５１Ｃがブロック部４１に
螺合されている。

【００２８】第２のクリック機構５２は、第２の保持部
材３２のＸ軸方向での係止位置を切り替えることで、２
個設けられる第２の光学部材２２を光路４Ａに択一配置
するものであり、その構成は、保持枠３２Ａの側面に２
カ所形成された係止溝３２Ｃに係止される係止突起５２
Ａと、この係止突起５２Ａを係止溝３２Ｃ方向に付勢す
るコイルばね５２Ｂとからなる。これらの係止突起５２
Ａ及びコイルばね５２Ｂはブロック部４１の内部に設け
られており、コイルばね５２Ｂの抜け止めをする取付ね
じ５２Ｃがブロック部４１に螺合されている。

【００２９】第３のクリック機構５３は、第３の保持部
材３３のＸ軸方向での係止位置を切り替えることで、２
個設けられる第３の光学部材２３を光路３Ａ，４Ａに択
一配置するものであり、その構成は、保持枠３３Ａの正
面に２カ所形成された係止溝３３Ｃに係止される係止突
起５３Ａと、この係止突起５３Ａを係止溝３３Ｃ方向に
付勢するコイルばね５３Ｂとからなる。これらの係止突
起５３Ａ及びコイルばね５３Ｂはブロック部４１の内部
に設けられており、コイルばね５３Ｂの抜け止めをする
取付ねじ５３Ｃがブロック部４１の内部に螺合されてい
る。

【００３０】以上の構成の顕微鏡装置１では、照明光学
系３を構成する光源１３Ａから照射される照明光が図示
しないレンズを通って落射照明ユニット５で直角に折れ
曲がってテーブル１１の上に載置された試料Ｓを照射す
る、試料Ｓで反射した光は観察光学系４を構成する対物
レンズ１４及び図示しないレンズを通り、さらに、落射
照明ユニット５を通って接眼レンズ１６Ａに達し、この
接眼レンズ１６Ａからの画像を観察する。

【００３１】落射照明ユニット５では、照明光学系３か
ら送られる照明光は第１の保持部材３１に取り付けられ
た２個の第１の光学部材２１のうちいずれか一方を通
り、第３の保持部材３３に取り付けられた２個の第３の
光学部材２３のうちいずれか一方で反射されて試料Ｓに
送られる。試料Ｓから反射された光は当該第３の光学部
材３３を通り、さらに、第２の保持部材３２に取り付け
られた２個の第２の光学部材２２のうち一方を通って接
眼レンズ１６Ａに達する。

【００３２】ここで、異なる条件で観察を行うため、本
実施形態では、それぞれ２個ある第１から第３の光学部
材２１〜２３の光路３Ａ，４Ａに対する切り替えを行
う。例えば、２個ある第１の光学部材２１の光路３Ａに
対する配置位置を切り替えるには、第１の保持部材３１
の摘み部３１ＢをもってＸ軸方向に沿って前進又は後退
させる。第１の保持部材３１の保持枠３１Ａは第１のク
リック機構５１によって係止されている状態にあるが、
保持枠３１Ａを所定以上の力で前進又は後退させること
で、この保持枠３１Ａを係止している係止突起５１Ａが
コイルばね５１Ｂの付勢力に抗して後退し、異なる位置
で係止されるまで保持枠３１Ａが移動可能である。

【００３３】同様に、２個ある第２の光学部材２２の光
路４Ａに対する配置位置を切り替えるには、第２の保持
部材３２の摘み部３２ＢをもってＸ軸方向に沿って前進
又は後退させる。これにより、保持枠３２Ａは第２のク
リック機構５２によって係止されているが、保持枠３２
Ａを係止している係止突起５２Ａがコイルばね５２Ｂの
付勢力に抗して後退し、異なる位置で係止されるまで保
持枠３２Ａが移動可能である。さらに、２個ある第３の
光学部材２３の光路３Ａ，４Ａに対する配置位置を切り
替えるには、第３の保持部材３３の摘み部３３Ｂをもっ
てＸ軸方向に沿って前進又は後退させる。これにより、
保持枠３３Ａは第３のクリック機構５３によって係止さ
れているが、保持枠３３Ａを係止している係止突起５３
Ａがコイルばね５３Ｂの付勢力に抗して後退し、異なる
位置で係止されるまで保持枠３３Ａが移動可能である。

【００３４】また、全体として、第１から第３の光学部
材２１〜２３の光路３Ａ，４Ａに対する配置位置を切り
替えるには、ブロック部４１の摘み部４３をもってＸ軸
方向に沿って前進又は後退させる。ブロック部４１はク
リック機構５０によって係止されている状態にあるが、
このブロック部４１を所定以上の力で前進又は後退させ
ることで、このブロック部４１を係止している球体部５
０Ａが板ばね５０Ｂの付勢力に抗して後退し、異なる位
置で係止されるまでブロック部４１が移動可能である。
なお、各保持部材３１〜３３に取り付けられていない光
学部材２１〜２３で観察を行うには、ケーシング１２か
ら落射照明ユニット５を取り外し、さらに、落射照明ユ
ニット５から必要な保持部材３１〜３３を取り外す。こ
れらの保持部材３１〜３３のうち必要な光学部材２１〜
２３を交換した後、落射照明ユニット５に戻し、この落
射照明ユニット５を再度ケーシング１２に装着する。

【００３５】従って、本実施形態によれば、照明光学系
３の光路３Ａ中に設けられる第１の光学部材２１と観察
光学系４の光路４Ａ中に設けられる第２の光学部材２２
とを備えて顕微鏡装置１を構成し、特性の異なる２個の
第１の光学部材２１を第１の保持部材３１に取り付け、
特性の異なる２個の第２の光学部材２２を第２の保持部
材３２に取り付け、光路３Ａ，４Ａ中に配置されるそれ
ぞれ２個の第１及び第２の光学部材２１，２２が切り替
わるように顕微鏡本体２に対して第１及び第２の保持部
材３１，３２を進退可能に設けたから、該当する光学部
材２１，２２が取り付けられた保持部材３１，３２を進
退操作するだけで、種々の観察に必要な光学部材２１，
２２の切り替えが容易に行える。

【００３６】しかも、対となる光学部材２１，２２の多
くのパターンを顕微鏡本体２に取り付けておく必要がな
いので、省スペース化が図れるとともに落射型顕微鏡装
置１の製造コストを抑えることができる。さらに、第１
及び第２の保持部材３１，３２を進退させる構成である
から、保持部材を回転させる場合に比べて歯車等の回転
機構が不要となり、顕微鏡装置１の構造を簡易なものに
できる。

【００３７】また、本実施形態では、照明光学系３から
の照明光を試料Ｓに送るとともに試料Ｓからの光を観察
光学系４に送る第３の光学部材２３を備え、この第３の
光学部材２３は特性の異なる２個が第３の保持部材３３
に取り付けられ、この第３の保持部材３３は光路３Ａ，
４Ａ中に配置される第３の光学部材２３が切り替わるよ
うに顕微鏡本体２に対して進退可能に設けられているか
ら、第１の光学部材２１及び第２の光学部材２２に加え
て、第３の光学部材２３が取り付けられた第３の保持部
材３３を進退動することで、種々の観察に必要な第３の
光学部材２３の切り替えが容易に行える。しかも、第３
の光学部材２３を交換するにあたり、第１及び第２の光
学部材２１，２２を含むユニット全体を取り出すことが
不要となるので、落射型顕微鏡装置１の製造コストを抑
えることができる。

【００３８】第１から第３の保持部材３１〜３３は、そ
れぞれ光学部材２１〜２３を保持する保持枠３１Ａ，３
２Ａ，３３Ａと、この保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａに
取り付けられた摘み部３１Ｂ，３２Ｂ，３３Ｂとを備え
て構成されているので、摘み部３１Ｂ，３２Ｂ，３３Ｂ
をつまんで保持部材３１〜３３を進退させることができ
るので、光学部材２１〜２３のそれぞれの切り替え作業
が容易に行うことができる。

【００３９】また、第１から第３の保持部材３１〜３３
は落射照明ユニット５に着脱自在に設けられているか
ら、落射照明ユニット５を顕微鏡本体２に着脱すること
ができるので、互いに対となる第１から第３の光学部材
２１〜２３同士の位置決めを落射照明ユニット５に対し
て行った後、この落射照明ユニット５を顕微鏡本体２に
装着することで、光路３Ａ，４Ａに対する各光学部材２
１〜２３の位置決めを容易に行うことができる。

【００４０】しかも、落射照明ユニット５は顕微鏡本体
２に着脱自在に設けられているから、光学部材２１〜２
３が設けられた保持部材３１〜３３を落射照明ユニット
５から取り外すことが可能であり、取り外した保持部材
３１〜３３に取り付けられている光学部材２１〜２３を
交換することで、多くの種類の光学部材２１〜２３を交
換して種々の観察が行える。従って、予め、多くの種類
の光学部材２１〜２３を保持部材３１〜３３に取り付け
ることを要しないので、顕微鏡装置自体が不必要に大型
化されることがなくなる。

【００４１】また、保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａは平
板状に形成されており、光学部材２１〜２３は、その平
面が保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａの平面から突出しな
いとともに厚み寸法t1が保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａ
の厚み寸法t2と同じ又は小さく形成されているから、光
学部材２１〜２３が保持枠３１Ａ〜３３Ａの平面から突
出することなく保持枠３１Ａ〜３３Ａに取り付けられて
いるため、落射照明ユニット５に対して保持枠３１Ａ〜
３３Ａを進退させても、これらの光学部材２１〜２３が
落射照明ユニット５と干渉することがない。そのため、
保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａの進退動をスムーズに行
うことができる。

【００４２】さらに、落射照明ユニット５はクリック機
構５０によって２位置に係止可能な構成とされたので、
第１から第３の光学部材２１〜２３の全体を光路３Ａ，
４Ａ中の所定位置に係止した状態で観察を行うことがで
きる。そのため、観察中に光学部材２１〜２３が誤って
ずれることがなく、観察の精度が低下しない。また、第
１の保持部材３１の保持枠３１Ａは、第１のクリック機
構５１によって２位置に係止可能な構成とされたので、
第１の光学部材２１を光路３Ａ中の所定位置に係止した
状態で観察を行うことができる。そのため、観察中に第
１の光学部材２１が誤ってずれることがなく、観察の精
度が低下しない。

【００４３】さらに、第２の保持部材３２の保持枠３２
Ａは、第２のクリック機構５２によって２位置に係止可
能な構成とされたので、第２の光学部材２２を光路４Ａ
中の所定位置に係止した状態で観察を行うことができ
る。そのため、観察中に第１の光学部材２２が誤ってず
れることがなく、観察の精度が低下しない。また、第３
の保持部材３３の保持枠３３Ａは、第３のクリック機構
５３によって２位置に係止可能な構成とされたので、第
３の光学部材２３を光路３Ａ，４Ａ中の所定位置に係止
した状態で観察を行うことができる。そのため、観察中
に第３の光学部材２３が誤ってずれることがなく、観察
の精度が低下しない。

【００４４】なお、本発明は前述の実施形態に限定され
るものではなく、本発明の目的を達成できる範囲であれ
ば次に示す変形例を含むものである。例えば、前記実施
形態では、第１から第３の保持部材３１〜３３の全てを
進退可能としたが、本発明では、第１の保持部材３１又
は第２の保持部材３２が進退自在とする構成であればよ
い。特に、第３の保持部材３３は交換して観察を行う可
能性が高くないので、落射照明ユニット５に固定される
構成でもよい。

【００４５】さらに、第１から第３の保持部材３１〜３
３にそれぞれ光学部材２１〜２３が２個ずつ設けられた
が、本発明では、第１の保持部材３１と第２の保持部材
３２の少なくとも一方が複数個の光学部材２１，２２を
取り付けた構造であれば、その数は問わない。例えば、
いずれか一方の保持部材３１，３２に、３個、４個、５
個、あるいは、６個以上の光学部材２１，２２を取り付
けるものであってもよい。ただし、個数が多ければ、落
射照明ユニット５の構造が大型化されるので、顕微鏡装
置全体との関係で具体的な個数は定められるべきであ
る。また、第３の保持部材３３の個数は１個であっても
よく、３個、４個以上であってもよい。

【００４６】第１から第３の保持部材３１〜３３は、そ
れぞれ保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａに取り付けられた
摘み部３１Ｂ，３２Ｂ，３３Ｂを備えて構成されている
が、この摘み部３１Ｂ，３２Ｂ，３３Ｂを必ずしも設け
ることを要せず、例えば、保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３
Ａの正面に手を引っかけるための凹みを形成するもので
もよい。

【００４７】また、第１から第３の保持部材３１〜３３
を落射照明ユニット５に着脱自在に設けるものではな
く、顕微鏡本体２に直接着脱する構成としてもよい。さ
らに、保持枠３１Ａ，３２Ａ，３３Ａ及び光学部材２１
〜２３の形状、厚み寸法は前記実施形態のものに限定さ
れるものではなく、任意に設定できる。また、クリック
機構５０〜５３を必ずしも設けることを要しない。

【００４８】

【発明の効果】本発明の落射型顕微鏡装置によれば、顕
微鏡本体と、この顕微鏡本体にそれぞれ設けられ試料に
照明光を照射する照明光学系及び前記試料から発生する
光を観察可能な観察光学系と、互いに対となり前記照明
光学系の光路中に設けられる第１の光学部材及び前記観
察光学系の光路中に設けられる第２の光学部材とを備
え、これらの第１の光学部材及び第２の光学部材はそれ
ぞれ複数のうち１つが前記光路中に択一配置され、前記
第１の光学部材と前記第２の光学部材との少なくとも一
方は、特性の異なる複数が保持部材に取り付けられ、こ
の保持部材は前記光路中に配置される前記光学部材が切
り替わるように前記顕微鏡本体に対して進退可能に設け
られているので、該当する光学部材が取り付けられた保
持部材を進退操作するだけで、種々の観察に必要な光学
部材の切り替えが容易に行えるとともにコストを抑える
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る落射型顕微鏡装置の
側面図である。

【図２】前記実施形態の要部を示す分解斜視図である。

【図３】前記実施形態の要部を示す背面図である。

【図４】光学部材が保持部材に取り付けられる状態を示
す分解斜視図である。

【図５】（Ａ）は図３のＡ−Ａ線に沿った矢視断面図、
（Ｂ）は図３のＢ−Ｂ線に沿った矢視断面図である。

【符号の説明】

１ 落射型顕微鏡装置 ２ 顕微鏡本体 ３ 照明光学系 ３Ａ 光路 ４ 観察光学系 ４Ａ 光路 ５ 落射照明ユニット １０ フレーム １１ テーブル １２ ケーシング １７ ユニット本体 ２１ 第１の光学部材 ２２ 第２の光学部材 ２３ 第３の光学部材 ３１ 第１の保持部材 ３１Ａ 保持枠 ３１Ｂ 摘み部 ３２ 第２の保持部材 ３２Ａ 保持枠 ３２Ｂ 摘み部 ３３ 第３の保持部材 ３３Ａ 保持枠 ３３Ｂ 摘み部 Ｓ 試料

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 顕微鏡本体と、この顕微鏡本体にそれぞ
   れ設けられ試料に照明光を照射する照明光学系及び前記
   試料から発生する光を観察可能な観察光学系と、互いに
   対となり前記照明光学系の光路中に設けられる第１の光
   学部材及び前記観察光学系の光路中に設けられる第２の
   光学部材とを備え、これらの第１の光学部材及び第２の
   光学部材はそれぞれ複数のうち１つが前記光路中に択一
   配置される落射型顕微鏡装置であって、 前記第１の光学部材と前記第２の光学部材との少なくと
   も一方は、特性の異なる複数が保持部材に取り付けら
   れ、この保持部材は前記光路中に配置される前記光学部
   材が切り替わるように前記顕微鏡本体に対して進退可能
   に設けられていることを特徴とする落射型顕微鏡装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の落射型顕微鏡装置にお
   いて、 前記保持部材は、前記光学部材を保持する保持枠と、こ
   の保持枠に取り付けられた摘み部とを備えたことを特徴
   とする落射型顕微鏡装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の落射型顕微鏡装
   置において、 前記保持部材は落射照明ユニットに着脱自在に設けら
   れ、この落射照明ユニットは前記顕微鏡本体に着脱自在
   に設けられていることを特徴とする落射型顕微鏡装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の落射型顕微鏡装置にお
   いて、 前記保持枠は平板状に形成されており、前記光学部材
   は、その平面が前記保持枠の平面から突出しないととも
   に厚み寸法が前記保持枠の厚み寸法と同じ又は小さく形
   成されていることを特徴とする落射型顕微鏡装置。
5. 【請求項５】 請求項１から４のいずれかに記載の落射
   型顕微鏡装置において、 前記照明光学系からの照明光を前記試料に送るとともに
   前記試料からの光を前記観察光学系に送る第３の光学部
   材を備え、この第３の光学部材は特性の異なる複数が保
   持部材に取り付けられ、この保持部材は前記光路中に配
   置される前記第３の光学部材が切り替わるように前記顕
   微鏡本体に対して進退可能に設けられていることを特徴
   とする落射型顕微鏡装置。