JP2006201590A

JP2006201590A - 顕微鏡

Info

Publication number: JP2006201590A
Application number: JP2005014293A
Authority: JP
Inventors: Kaori Fujimura; 香織藤村
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2005-01-21
Filing date: 2005-01-21
Publication date: 2006-08-03

Abstract

【課題】顕微鏡本体から突出せずに透過照明ユニットを着脱可能に設け、かつライトガイドや各操作部を顕微鏡本体の左側又は右側の側面に選択して設けことを可能とすること。
【解決手段】顕微鏡本体２０内部に収納可能な投光ユニット４０に対して左又は右の側面からライトガイド４５を取り付けた取付部材４９を嵌合させ、かつ例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠を顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面から挿脱でき、さらに絞り装置７０のツマミ７９及び芯出し用ビス８２への工具の操作方向を顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面に固定する。
【選択図】図３

Description

本発明は、顕微鏡本体に対して着脱可能及び本体内部に収納可能で、かつユーザの利便性に応じて光源からの光束を導くライトガイドの挿入方向や操作部などを顕微鏡本体の左右側のいずれか一方側に設けることを選択可能とする透過照明ユニットを備えた顕微鏡に関する。

近年の半導体素子の製造は、１枚のウエハから多数のチップＩＣ等を生産するために、大型ウエハを用いて生産性の向上を図っている。今後も、多数のチップＩＣ等を低コストで生産するために、ウエハの大型化が進行することは容易に予想される。

半導体素子の製造工程で製造されたウエハは、顕微鏡を用いて例えば傷、塵埃等の付着などを検査すための種々の検査が行われる。これら検査では、標本となるウエハをステージ上面に載置し、ステージを自在に移動させながらウエハの任意点を観察する。

このような検査に用いられる顕微鏡は、検査装置の一部として当該検査装置に組み込まれるものもある。この検査装置は、顕微鏡本体に取り付けられたステージの上面にウエハ等を自動搬送してスムーズに検査を行うものであり、半導体素子の検査工程で多く用いられている。

ウエハを載置するステージは、ユーザの利便上、ユーザからステージに向かってステージを前後左右に操作するためのレバーをユーザの右側に設けることが多い。このため、ウエハを搬送する搬送装置は、ユーザによるステージの操作を妨げにならないように検査装置の左側面に設けられることが多い。

一方、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を利用した家電製品の普及に伴ってＦＰＤの一種である液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などの製造が急激に増えてきている。ＬＣＤ等の製造工程におけるＬＣＤ検査は、ＬＣＤを透過照明して観察することが一般的であり、透過照明観察の用途が確実に増えてきている。このような透過照明による観察を行うためには、専用の鏡体を必要とすることが多い。

このような用途に使用可能な顕微鏡としては、例えば特許文献１に開示されている顕微鏡がある。図１８はかかる顕微鏡の構成図である。顕微鏡本体１には、落射照明装置２が設けられている。又、顕微鏡本体１には、ステージ３と、このステージ３を取り付けるための透過照明光学系を内蔵したステージ取り付け用部材４と、焦準上下台５とが設けられている。なお、落射用のステージ取り付け用部材６が用意されている。

顕微鏡本体１の側面には、第１の取り付け嵌合穴７が設けられている。この第１の取り付け嵌合穴７は、ステージ３上に載置される標本を透過照明する透過照明投光装置８を着脱自在とする。この第１の取り付け嵌合穴７は、顕微鏡本体１の観察光軸Ｐに対して直交する面に設けられている。

透過照明投光装置８は、先端部に光学素子９を設けると共に元部に図示しない光ファイバを取り付ける筒状の枠１０と、この枠１０の長手方向における略中間位置の外周面に設けられた嵌合軸１１とからなる。この透過照明投光装置８は、枠１０を第１の取り付け嵌合穴７内に挿入し、嵌合軸１１を各ビス１２により締め付けることにより顕微鏡本体１に取り付けられる。

このような顕微鏡であれば、標本を透過照明観察するときに第１の取り付け嵌合穴７に透過照明投光装置８を取り付け、かつ透過照明光学系を内蔵したステージ取り付け用部材４を取り付ける。これにより、透過照明専用の鏡体を必要とすることなく、透過照明を実現することができる。すなわち、透過照明投光装置８を後付けすることで対応できるようになっており、新たに透過照明用顕微鏡装置を設ける必要がなく、コスト的にも有利なように構成されている。
特開２００１−３３７０６号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている顕微鏡は、顕微鏡本体１の観察光軸Ｐに対して直交する面に設けられている第１の取り付け嵌合穴７に透過照明投光装置８を取り付けるものであるが、図示しない光ファイバを取り付ける筒状の枠１０が顕微鏡本体１の側面から突出するものとなり、かつその突出量も大きい。

例えば、ＦＰＤ等の大型の標本を観察するには、ユーザがレバーを操作してステージ３を前後左右にスムーズに移動させることが要求される。ステージ３を移動操作する操作部としては、例えばステージ３の下部に伸びて設けられたハンドル操作部がある。ところが、ユーザがレバーを操作するとき、顕微鏡本体１の側面から突出する透過照明投光装置８の枠１０がレバーの操作妨げとのなって、スムーズなステージ３の移動ができない。

又、透過照明投光装置８には、透過照明の光軸の絞り径を調整する絞り装置、透過照明の光軸にフィルタ等を挿脱するための挿脱部を設けることが要求されることが多い。絞り装置には、絞り径を変えるためのレバー及び心出しツマミ等の操作部が設けられることが多いことが多い。又、フィルタにも当該フィルタを透過照明の光軸に挿脱するための操作部が設けられている。

これら絞り装置やフィルタ等を顕微鏡本体１に設けようとした場合、これら絞り装置やフィルタ等の操作部も顕微鏡本体１の側面から突出することが考えられる。

しかしながら、透過照明投光装置８と共に絞り装置及びフィルタ等を顕微鏡本体１に設けると、これら操作部が顕微鏡本体１の側面に並設される。そして、これら操作部は、ステージ３の下部に伸びて設けられたハンドル操作部に近接する。

このため、ユーザが絞り装置を操作したり又はフィルタ等を挿脱するとき、ステージ３の下部に伸びて設けられたハンドル操作部が妨げになる可能性がある。又、焦準ハンドルを手動により操作してステージを昇降させる手動の顕微鏡に透過照明投光装置８を適用すると、顕微鏡本体１の側面から突出する透過照明投光装置８により焦準ハンドルの手動操作が妨げになる可能性がある。

本発明は、標本を載置するステージを有する顕微鏡本体と、顕微鏡本体の外部に設けられ、光束を出射する光源と、光源から出射された光束を導くライトガイドと、ライトガイドにより導かれた光束を投光する投光ユニットと、投光ユニットにより投光された光束を透過照明光として標本に導く集光レンズユニットとを有する顕微鏡において、ライトガイドの光束出射端を取り付け可能とする取付部材を備え、投光ユニットは、取付部材を顕微鏡本体の左右両側面側からそれぞれ取り付け、取り外し可能とする嵌合部を設け、かつ取付部材を取り付けた状態で顕微鏡本体の内部に収納可能に設けられた顕微鏡である。

本発明は、標本を載置するステージを有する顕微鏡本体と、顕微鏡本体の外部に設けられ、光束を出射する光源と、光源から出射された光束を導くライトガイドと、ライトガイドにより導かれた光束を投光する投光ユニットと、投光ユニットにより投光された光束を透過照明光として標本に導く集光レンズユニットとを有する顕微鏡において、ライトガイドの光束出射端を取り付け可能とする取付部材を備え、投光ユニットは、顕微鏡本体の内部に収納可能に設けられ、かつ取付部材が回転可能に設けられ、取付部材の回転によりライトガイドを顕微鏡本体の左側又は右側の側面に取り付け可能である顕微鏡である。

本発明は、標本を載置するステージを有する顕微鏡本体と、顕微鏡本体の外部に設けられ、光束を出射する光源と、光源から出射された光束を導くライトガイドと、ライトガイドにより導かれた光束を投光する投光ユニットと、投光ユニットにより投光された光束を透過照明光として標本に導く集光レンズユニットとを有する顕微鏡において、ライトガイドの光束出射端を取り付け可能とする取付部材を備え、投光ユニットは、ライトガイドから出射された光束を偏向する第１の偏向素子と、第１の偏向素子により偏向された光束を集光レンズユニットに向けて偏向する第２の偏向素子と、第１の偏向素子を回転可能に保持するミラー保持部材と、顕微鏡本体の左側又は右側の側面から取付部材を取り付け、取り外し可能で、かつ第１の偏向素子と第２の偏向素子との間の光軸に対して垂直方向に摺動してミラー保持部材を回転させる摺動部材とを有し、顕微鏡本体の内部に収納可能に設けられた顕微鏡である。

本発明は、顕微鏡本体から突出せずに透過照明ユニットを着脱可能に設け、かつライトガイドや各操作部を顕微鏡本体の左側又は右側の側面に選択して設けことが可能な顕微鏡を提供できる。

以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。

図１は顕微鏡の構成図である。なお、説明の便宜上、かかる顕微鏡において観察光軸Ｌに対して垂直でかつユーザから見て顕微鏡本体１の左右側の軸をＸ軸とし、ユーザから見て観察光軸Ｌに対して垂直でかつ顕微鏡本体１の正面と背面側の軸をＹ軸とし、観察光軸ＬをＺ軸とする。

顕微鏡本体２０の下部には、焦準台２１が設けられている。この焦準台２１には、ウエハ等の標本２２を載置するステージ２３が例えばビス等により固定されている。このステージ２３は、観察光軸Ｌに対して垂直な平面（ＸＹ平面）内でユーザから見て前後左右方向に移動可能である。焦準台２１は、顕微鏡本体２０の下部の側面に設けられた焦準ハンドル２４の回転操作に応動して上下方向に移動する。

顕微鏡本体２０の上部下面には、レボルバ２５が回転可能に設けられている。このレボルバ２５には、それぞれ異なる倍率を持つ複数の対物レンズ２６が取り付けられている。しかるに、レボルバ２５の回転により所望の倍率を持つ対物レンズ２６を観察光軸Ｌ上に設定できる。なお、レボルバ２５は、各対物レンズ２６をそれぞれ個別に観察光軸Ｌ上に一致させるための各係止部が設けられ、この係止部に係止されたときに対物レンズ２６を観察光軸Ｌ上に設定される。

顕微鏡本体２０の上部上の観察光軸Ｌ上には、観察鏡筒２７が設けられている。この観察鏡筒２７には、接眼レンズ２８が取り付けられる。

顕微鏡本体２０の背面には、落射照明装置２９が組みつけられている。この落射照明装置２９は、光源３０を内部に備える。この光源３０から出射された落射照明光の光路上には、例えば各投光レンズ３１、３２及びハーフミラー３３が設けられている。ハーフミラー３３は、観察光軸Ｌ上に設けられている。従って、光源３０から出射された落射照明光は、各投光レンズ３１、３２を通り、ハーフミラー３３で下方に向けて反射され、対物レンズ２６を通して標本２２を落射照明する。

顕微鏡本体２０の下部の側面には、四辺形状の開口部３４が設けられている。この開口部３４は、蓋３５が各ビス３６により顕微鏡本体２０の側面に固定されている。

図２は顕微鏡本体２０の下部を右側面から見た内部の部分断面図である。焦準台２１は、円筒状に形成された中空部内に集光レンズユニット３７が設けられている。この集光レンズユニット３７は、透過照明光を標本２２に導くもので、枠体３８内に各光学素子３９ａ〜３９ｄを例えば接着剤又は図示しないオサエカン等により保持している。この集光レンズユニット３７は、各光学素子３９ａ〜３９ｄを観察光軸Ｌに一致させて焦準台２１に固定されている。この集光レンズユニット３７は、焦準台２１に対して着脱可能に設けられている。なお、集光レンズユニット３７には、例えば絞り装置や各光学素子３９ａ〜３９ｄを観察光軸Ｌ上に上下動（Ｚ軸方向）させる上下動機構が設けられている。

顕微鏡本体２０の下部内部には、光束を集光レンズユニット３７に投光する投光ユニット４０が収納されている。なお、集光レンズユニット３７と投光ユニット４０とにより透過照明ユニットとなる。投光ユニット４０は、ユニット用ベース４１を有している。このユニット用ベース４１は、顕微鏡本体２０の底部にビス等により固定されたオスアリ部４２に嵌め込まれている。このオスアリ部４２は、Ｘ軸方向と平行に設けられている。又、メスアリ部４３もＸ軸方向と平行に設けられている。これらオスアリ部４２とメスアリ部４３とは、互いに組み付き、Ｘ軸方向への移動が可能である。

投光ユニット４０は、開口部３４を通して顕微鏡本体２０の下部内部に挿入し、メスアリ部４３をオスアリ部４２に組み付けることによって顕微鏡本体２０の下部内部に収納可能である。このとき、投光ユニット４０は、後述する光学素子４４の軸を観察光軸Ｌに一致させ、図示しないビス等により固定される。

又、投光ユニット４０は、メスアリ部４３とオスアリ部４２との組み付けを解除し、開口部３４を通して顕微鏡本体２０の外部に取り外し可能である。しかるに、開口部３４は、投光ユニット４０を通すことが可能なサイズに形成されている。

投光ユニット４０には、ライトガイド４５が取り付けられている。このライトガイド４５には、透過照明装置の光源４６が接続されている。

図３は投光ユニット４０の一部断面を有する上面図を示し、図４は投光ユニット４０の一部断面を有する側面図を示す。ユニット用ベース４１上には、Ｘ軸方向に長手方向を有する第１の枠体４７が設けられている。この第１の枠体４７は、四角柱の外形に形成され、かつＸ軸方向に貫く中空状の嵌合部４８が形成されている。なお、この嵌合部４８は、円形に設けられている。

この嵌合部４８内には、ライトガイド４５を投光ユニット４０に取り付けるための取付部材４９が挿入されている。この取付部材４９は、嵌合部４８に嵌合する円柱状に形成される。この取付部材４９には、内部を貫いてライトガイド挿入口５０が設けられている。このライトガイド挿入口５０内にライトガイド４５の光出射端部４５ａが挿入されて固定される。

ライトガイド４５の固定機構は、図５に示すようにライトガイド挿入口５０に対して垂直方向でかつＺ軸方向に固定用穴５１が設けられる。この固定用穴５１内には、コマ５２が挿入されている。このコマ５２は、ライトガイド４５に押え端部５３が設けられると共に、反対側に三角錐状のテーパ面５４が形成されている。又、固定用穴５１に対して垂直方向に先端が半球状のビス５５が螺合して設けられている。このビス５５は、外部から締め付け、緩めることが可能である。

このようなライトガイド４５の固定機構であれば、ライトガイド挿入口５０内にライトガイド４５を挿入し、ビス５５を締め付けると、このビス５５の半球状の先端がコマ５２のテーパ面５４を押し付ける。これにより、コマ５２は、ライトガイド４５側に移動し、押え端部５３によりライトガイド４５の側面を押える。これにより、ライトガイド４５は、ライトガイド挿入口５０内に固定される。

一方、ビス５５を緩めると、このビス５５の半球状の先端がコマ５２のテーパ面５４から離れる。固定用穴５１は、Ｚ軸方向すなわち上下方向に設けられているので、コマ５２は、固定用穴５１の底部に落下する。これにより、ライトガイド４５は、コマ５２による押さえが解除され、ライトガイド挿入口５０内から取り外される。

取付部材４９の先端部には、各光学素子５６、５７及び第１の偏向素子としてのミラー５８が設けられている。このうちミラー５８は、観察光軸Ｌに対して垂直（Ｙ軸方向）な光軸Ｌ_１上に位置決めされ、かつ各光学素子５６、５７及びミラー５８は、光軸Ｌに対して垂直（Ｘ軸方向）な光軸Ｌ_２上に設けられる。ミラー５８は、光軸Ｌ_２に対して角度４５°に設けられている。これら光学素子５６、５７及びミラー５８は、取付部材４９に対して例えば接着又は図示しないオサエカン、板バネ等によって保持されている。

第１の枠体４７の両端面には、それぞれミラー５８を光軸Ｌ上に位置決めするための各第１の取付け面５９、６０が設けられている。これら第１の取付け面５９、６０は、それぞれ第１の枠体４７の両端面に凹形状に設けられている。これら第１の取付け面５９、６０には、それぞれ各ピン６１、６２が設けられている。

一方、取付部材４９の外周面には、ミラー５８を光軸Ｌ_１上に位置決めするための第２の取付け面６３が設けられている。この第２の取付け面６３は、取付部材４９の外周面から突出した段差により形成されている。又、取付部材４９の外周面には、回転規制面６４が設けられている。この回転規制面６４は、取付部材４９の外周面を欠いて形成されている。

従って、ライトガイド４５を顕微鏡本体２０の右側面に取り付ける場合、例えばライトガイド４５を取り付けた取付部材４９を嵌合部４８内に顕微鏡本体２０の右側から挿入し、第１の枠体４７の一方の第１の取付け面５９に対して取付部材４９の第２の取付け面６３を当て付け、かつ取付部材４９の回転規制面６４にピン６１を当て付ける。

これにより、取付部材４９は、回転規制面６４がピン６１に当て付いて光軸Ｌ_２回りでの回転が規制される。この状態で、取付部材４９は、図示しないビス等により第１の枠体４７に固定される。これにより、各光学素子５６、５７及びミラー５８は、光軸Ｌ_２上に位置決めされ、かつミラー５８は、ライトガイド４５から出射された光束の反射方向を光軸Ｌ_１と一致するように位置決めされる。

一方、ライトガイド４５を顕微鏡本体２０の左側面に取り付ける場合、例えばライトガイド４５を取り付けた取付部材４９を嵌合部４８内に左側から挿入し、第１の枠体４７の他方の第１の取付け面６０に対して取付部材４９の第２の取付け面６３を当て付け、かつ取付部材４９の回転規制面６４にピン６２を当て付ける。

これにより、取付部材４９は、回転規制面６４がピン６２に当て付いて光軸Ｌ_２回りでの回転が規制される。この状態で、取付部材４９は、図示しないビス等により第１の枠体４７に固定される。これにより、ライトガイド４５から出射された光束の反射方向が光軸Ｌ_１に平行になるように位置決めされる。

第１の枠体４７における光軸Ｌ_１上には、取り付け孔６５が設けられ、この取り付け孔６５内に光学素子６６が設けられている。この光学素子６６は、第１の枠体４７に対して例えば接着又は図示しないオサエカン、板バネ等によって保持されている。

第２の枠体６７がユニット用ベース４１上で、かつ第１の枠体４７に当接して設けられている。この第２の枠体６７は、コ字形状の断面を有する。この第２の枠体６７は、コ字形状の開口側を第１の枠体４７に当接し、例えばビス６８により第１の枠体４７に固定される。なお、第２の枠体６７は、第１の枠体４７の光学素子４４側の面に設けられる。これにより、第２の枠体６７の開口と第１の枠体４７との間にスライダ挿入部６９の空間が形成される。

このスライダ挿入部６９は、光軸Ｌ_１に対して垂直方向に形成されている。このスライダ挿入部６９には、図示しない例えばスライダ枠によって保持された例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子が顕微鏡本体１の左右両側から挿脱可能である。従って、スライダ挿入部６９の光軸Ｌ_１方向の幅は、スライダ枠の幅と略同一に形成されている。なお、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子が光軸Ｌ_１上の適切な位置に係止されるように第２の枠体６７には、図示しないプランジャ又は板バネ等のクリック機構を設けてもよい。

絞り装置７０がユニット用ベース４１上で、光軸Ｌ_１上に設けられている。図６及び図７は絞り装置７０の構成図であって、図６は正面図、図７は側面図を示す。この絞り装置７０は、箱状の枠体７１を有する。この枠体７１の内部には、複数の絞りはね７２が２つのはね保持部７３、７４に対してピン７５によって保持されている。このうちはね保持部７４は、枠体７１に対して回転可能に設けられている。このはね保持部７４には、ピン７６が設けられている。

又、コマ７８には、ピン保持部７７が設けられている。ピン７６は、コマ７８に設けられたピン保持部７７によって挟み込まれている。これにより、コマ７８が長手方向Ａに直線移動すると、ピン７６を挟み込んでいるピン保持部７７が直線移動し、これに伴いはね保持部７４が回転する。この回転動作によって絞り径が調整できる。

コマ７８には、長手方向Ａに直線移動させるためのツマミ７９が枠体７１から突出して設けられている。従って、ツマミ７９を長手方向Ａに押し込んだり、引き出したりすると、コマ７８が長手方向Ａに直線移動する。なお、図３に示す絞り装置７０は、ユニット用ベース４１上、すなわち投光ユニット４０に対してツマミ７９が右側に突出して設けられている。

一方、はね保持部７３と枠体７１とは、バネ８０によって連結されている。これにより、はね保持部７３は、バネ８０の付勢力によって図面上右側に引っ張られている。

枠体７１には、ネジ孔８１が設けられている。このネジ孔８１内には、先端が半球状に形成された芯出し用ビス８２が捩じ込まれている。この芯出し用ビス８２は、例えば図示しない工具等によって捩じ込むと、はね保持部７３を押し込み、芯出し可能にしている。ツマミ７９と芯出し用ビス８２とは、同一方向に設けられている。

２つのはね保持部７３、７４、複数の絞りはね７２及びコマ７８等の各部材は、枠体７１に対してビス８３によって固定される押さえ板８４によって挟み込まれ、枠体７１内に保持される。

このような絞り装置７０は、図４に示すようにビス８５によってユニット用ベース４１上に設けられている。従って、ビス８５の締め付け、緩めによって絞り装置７０は、ユニット用ベース４１上、すなわち投光ユニット４０に対して着脱可能である。

又、この絞り装置７０は、光軸Ｌ_１回りに１８０°回転させた状態、すなわちツマミ７９が投光ユニット４０の左側に突出するようにユニット用ベース４１上に取り付けることが可能である。

しかるに、絞り装置７０は、ツマミ７９が投光ユニット４０の右側又は左側に突出するようにユニット用ベース４１上に取り付けても、各絞りはね７２と光軸Ｌ_１とが互いに垂直になるようにユニット用ベース４１上にビス８５により固定される。なお、絞り装置７０は、ＸＺ平面内で芯出し可能であり、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向の調整範囲の中心と光軸Ｌとが略一致する位置に設けられる。

枠体８６がユニット用ベース４１上に設けられている。この枠体８６内には、互いに垂直に交差する円筒状の各中空部８７、８８が設けられている。投光ユニット４０が顕微鏡本体２０内に設けられた場合、中空部８７は光軸Ｌ_１上に設けられ、中空部８８は観察光軸Ｌ上に設けられるように枠体８６が形成される。

これら中空部８７、８８の交差するところには、傾斜面８９が設けられている。この傾斜面８９は、光軸Ｌ_１、観察光軸Ｌに対してそれぞれ４５度の角度を成す。この傾斜面８９上には、第２の偏向素子としてのミラー９０が設けられている。又、中空部８８の開口部には、光学素子４４が設けられている。この光学素子４４の中心は、観察光軸Ｌに一致する。これらミラー８９及び光学素子４４は、枠体８６に対して例えば接着又は図示しないオサエカン、板バネ等によって保持されている。

蓋３５には、図３に示すように複数の孔９１〜９４が設けられている。このうち孔９１は、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材４９を顕微鏡本体２０内に挿脱するためのものであり、孔９２は、スライダ挿入部６９内に例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠を挿脱するためのものであり、孔９４は、絞り装置７０のツマミ７９を顕微鏡本体２０外に突出するためのものである。

一方、蓋３５を取り付ける顕微鏡本体２０の側面と反対側の側面（左側側面）にも複数の孔９５〜９８が設けられている。これら孔９５〜９８も上記各孔９１〜９４と同様に、孔９５は、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材４９を顕微鏡本体２０内に挿脱するためのものであり、孔９６は、スライダ挿入部６９内に例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠を挿脱するためのものであり、孔９８は、絞り装置７０のツマミ７９を顕微鏡本体２０の外部に突出するためのものである。

次に、上記の如く構成された顕微鏡の作用について説明する。

顕微鏡本体２０の下部に取り付けられている蓋３５を取り外すことにより、この顕微鏡本体２０の下部に設けられた開口部３４を通して投光ユニット４０が顕微鏡本体２０の下部内部に対して挿脱可能となる。

投光ユニット４０を顕微鏡本体２０内部に挿入する場合、投光ユニット４０は、メスアリ部４３をオスアリ部４２に組み付けることによって顕微鏡本体２０内部に収納される。このとき、投光ユニット４０は、光学素子４４の軸を観察光軸Ｌに一致させ、図示しないビス等により固定される。

顕微鏡本体２０内部に収納された投光ユニット４０に対しては、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材４９と、スライダ挿入部６９内に例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠と、絞り装置７０のツマミ７９とがそれぞれ顕微鏡本体２０の左右両側から挿脱可能である。

図２乃至図４に示す投光ユニット４０の取付けの向きであれば、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材４９は、蓋３５に設けられた孔９１を通して第１の枠体４７の嵌合部４８内に嵌合される。例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠は、蓋３５に設けられた孔９２を通してスライダ挿入部６９内に挿脱される。絞り装置７０のツマミ７９は、蓋３５に設けられた孔９４を通して顕微鏡本体２０の外部に突出される。

一方、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材４９は、顕微鏡本体２０の左側側面に設けられた孔９５を通して第１の枠体４７の嵌合部４８内に嵌合可能である。又、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠は、顕微鏡本体２０の左側側面に設けられた孔９６を通してスライダ挿入部６９内に挿脱可能である。

絞り装置７０は、光軸Ｌ_１回りに１８０°回転させた状態、すなわちツマミ７９が投光ユニット４０の左側に突出するようにユニット用ベース４１上に取り付けることが可能である。

従って、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材４９は、顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面に対して選択して取り付けることができる。

例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠は、観察時の用途等に応じて顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面から挿脱できる。

又、絞り装置７０は、光軸Ｌ_１回りに１８０°回転させて取り付けることが可能なので、ツマミ７９及び芯出し用ビス８２への工具の操作方向を顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面に固定できる。これにより、絞り装置７０に対しては、顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面からツマミ７９を図６に示す長手方向Ａに押し込んだり、引き出したりすると、ハネ保持部７４が回転し、複数の絞りハネ７１の径が調整される。この絞り装置７０は、ＸＺ平面内で芯出し可能なので、観察に適当な絞り径に調整し、かつ絞り径の位置を芯出しできる。

次に、投光ユニット４０による標本２２への透過照明について説明する。

光源４６から光束が出射されると、この光束は、ライトガイド４５により投光ユニット４０内部に導かれ、このライトガイド４５の光出射端部４５ａに設けられた各光学素子５６、５７を通ってミラー５８に入射する。この光束は、このミラー５８で光軸Ｌ_１に向かって反射し、光学素子６６、絞り装置７０を通ってミラー９０に入射する。ここで、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠がスライダ挿入部６９内に挿入されていれば、光束は、光学素子６６、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子、絞り装置７０を通ってミラー９０に入射する。この光束は、このミラー９０で観察光軸Ｌに向かって反射し、集光レンズユニット３７に入射する。光束は、集光レンズユニット３７の各光学素子３９ｄ、３９ｃ、３９ｂ、３９ａを通って透過照明光として標本２２を照明する。

このように上記第１の実施の形態によれば、顕微鏡本体２０内部に収納可能な投光ユニット４０に対してライトガイド４５を取り付けた取付部材４９を嵌合させ、かつ例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠を顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面から挿脱でき、さらに絞り装置７０のツマミ７９及び芯出し用ビス８２への工具の操作方向を顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面側に固定できる。

これにより、顕微鏡本体２０内にポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持するスライダ枠や絞り装置７０を収納でき、顕微鏡本体２０からの突出部をなくすことができ、標本２２を観察する際の例えば焦準ハンドル２４やステージ２３を動作させるときの操作等を妨げるものがなく、操作性を向上できる。

又、ユーザの要求する操作方向に応じて顕微鏡本体２０の左右のいずれかの側面に、ライトガイド４５の取付け方向、スライダ枠の挿脱方向、絞り装置７０のツマミ７９及び芯出し用ビス８２の操作方向を選択できる。例えば、顕微鏡本体２０の左側に他の装置等が存在する場合、ライトガイド４５の取付け方向、スライダ枠の挿脱方向、絞り装置７０のツマミ７９及び芯出し用ビス８２の操作方向を顕微鏡本体２０の右側に設定することができる。

又、ユーザの要求する操作方向にライトガイド４５の取付け方向、スライダ枠の挿脱方向、絞り装置７０のツマミ７９及び芯出し用ビス８２の操作方向を設定すれば、ユーザは、スムーズに各操作を行うことができる。

又、顕微鏡本体２０内部に投光ユニット４０を収納し、かつ蓋３５を閉じるので、投光ユニット４０は、塵、埃等が付着しにくくコンタミ性に優れ、かつ外部からの衝撃等に対して投光ユニット４０を保護できる。

次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１乃至図８と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

図８は顕微鏡の透過照明ユニットの構成図である。この透過照明ユニット１００は、第１の枠体１０１を備えている。この第１の枠体１０１は、ユニット用ベース４１上に設けられている。この第１の枠体１０１は、Ｌ字形状に形成され、ベース体１０１ａと、このベース体１０１ａにおける第２の枠体６７側に立設された支持板１０１ｂとからなる。この支持板１０１ｂには、第２の枠体６７がビス６８により固定される。

この支持板１０１ｂには、回転支持孔１０２が設けられている。この回転支持孔１０２は、光軸Ｌ_１を中心として円形に形成されている。この回転支持孔１０２には、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材としての回転枠１０３が光軸Ｌ_１回りに回転可能に支持されている。

この回転枠１０３は、筒状に形成され、その先端部に筒状の回転支持枠１０４を有する。この回転支持枠１０４は、回転枠１０３の長手方向に対して垂直方向に屈曲して設けられている。すなわち、回転枠１０３は光軸Ｌ_２に一致し、回転支持枠１０４は光軸Ｌ_１に一致する。回転枠１０３には、ライトガイド挿入口１０５が設けられている。この回転枠１０３の先端部には、各光学素子５６、５７及び第１の偏向素子としてのミラー５８が設けられている。

このうちミラー５８は、光軸Ｌ_１上に位置決めされ、かつ各光学素子５６、５７及びミラー５８は、光軸Ｌ_２上に設けられる。ミラー５８は、ライトガイド４５から出射された光束を光軸Ｌ_１に平行になるように光軸Ｌ_２に対して角度４５°に設けられている。各光学素子５６、５７及びミラー５８は、回転枠１０３に対して例えば接着又は図示しないオサエカン、板バネ等によって保持されている。

図９は回転支持孔１０２に対する回転支持枠１０４の回転支持の構成図を示す。回転支持孔１０２の内周壁には、嵌合部１０２ａが設けられている。回転支持枠１０４の外周面には、嵌合部１０４ａが設けられている。これら嵌合部１０２ａと嵌合部１０４ａとは、互いに面で嵌合する。

回転支持孔１０２の内周壁には、当て付け面１０２ｂが設けられている。回転支持枠１０４の外周面には、段差を有する当て付け面１０４ｂが設けられている。これにより、回転枠１０４は、回転支持孔１０２内において、光軸Ｌ_１と平行方向でかつ光学素子４４の設けられている側に向かって挿入可能である。そして、この回転枠１０４は、当て付け面１０４ｂが当て付け面１０２ｂに当て付くまで挿入可能である。

回転支持枠１０４の外周面には、ネジ部１０４ｃが設けられている。この回転枠１０４の外周面には、ネジ部１０４ｃを介してオサエカン１０６が捻じ込まれている。このオサエカン１０６を捻じ込むことにより、回転支持枠１０４がスライダ挿入部６９側に突出しないようにしている。これにより、回転支持枠１０４は、回転支持孔１０２内で光軸Ｌ_１周りに回転可能に支持される。

回転支持枠１０４の外周面には、Ｖ字溝１０４ｄが設けられている。一方、支持板１０１ｂ内には、ネジ孔１０１ｃが設けられ、このネジ孔１０１ｃ内にビス１０１ｄが捻じ込まれている。従って、ビス１０１ｄを捻じ込み、このビス１０１ｄの先端をＶ字溝１０４ｄ内に嵌め込むことにより回転支持枠１０４は、回転支持孔１０２内で固定される。なお、ビス１０１ｄの先端をＶ字溝１０４ｄ内に嵌め込む場合、ビス１０１ｄの先端とＶ字溝１０４ｄの中心位置とは一致させず、ビス１０１ｄの先端に対してＶ字溝１０４ｄの中心をオサエカン１０６側に少しずらして固定する。

なお、回転支持枠１０４には、光学素子６６が例えば接着又は図示しないオサエカン、板バネ等によって保持されている。

図８及び図１０に示すように第１の枠体１０１におけるベース体１０１ａの両側には、それぞれ各回転規制面１０７、１０８が設けられている。これら回転規制面１０７、１０８は、それぞれ回転枠１０３が回転支持孔１０２内を中心として光軸Ｌ_１回りに回転するときの回転角度を規制する。すなわち、一方の回転規制面１０７は、回転枠１０３と当接してライトガイド４５の取り付け方向を顕微鏡本体２０の右側の側面に設定し、他方の回転規制面１０８は、回転枠１０３と当接してライトガイド４５の取り付け方向を顕微鏡本体２０の左側の側面に設定する。

図９に示すビス１０１ｄを緩めると、このビス１０１ｄは、Ｖ字溝１０４ｄ内から外れる。これにより、ライトガイド４５を取り付けるための回転枠１０３は、回転支持孔１０２内を中心として光軸Ｌ_１回りに回転可能になる。この回転枠１０３は、ユーザが要求する顕微鏡本体２０の左又は右側面のいずれか一方の側面側にライトガイド４５を取り付けるように光軸Ｌ_１回りに回転させる。例えば、ユーザが顕微鏡本体２０の左側面にライトガイド４５を配置するのであれば、回転枠１０３は、一方の回転規制面１０８に当接するまで光軸Ｌ_１回りに回転させ、反対にユーザが顕微鏡本体２０の右側面にライトガイド４５を取り付けるのであれば、回転枠１０３は、他方の回転規制面１０７に当接するまで光軸Ｌ_１回りに回転させる。

回転枠１０３を一方の回転規制面１０７又は他方の回転規制面１０８に当接するまで光軸Ｌ_１回りに回転させた状態で、ビス１０１ｄを締め付けると、ビス１０１ｄの先端に対してＶ字溝１０４ｄの中心がずれているので、回転支持枠１０４は、図９に示すように当て付け面１０４ｂ側に引き寄せられる。これにより、回転支持枠１０４は、適切な位置に固定される。

光源４６から出射された光束は、ライトガイド４５により顕微鏡本体２０内部に導かれ、このライトガイド４５の光出射端部４５ａに設けられた各光学素子５６、５７を通ってミラー５８に入射する。この光束は、このミラー５８で光軸Ｌ_１に向かって反射し、光学素子６６、絞り装置７０を通ってミラー９０に入射する。ここで、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠がスライダ挿入部６９内に挿入されていれば、光束は、光学素子６６、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子、絞り装置７０を通ってミラー９０に入射する。この光束は、このミラー９０で観察光軸Ｌに向かって反射し、集光レンズユニット３７に入射し、この集光レンズユニット３７により透過照明光として標本２２を照明する。

このように上記第２の実施の形態によれば、ライトガイド４５を取り付けるための回転枠１０３が光軸Ｌ_１回りに回転可能に支持するので、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができると共に、回転枠１０３を回転させるだけの簡単な操作でライトガイド４５の取付け方向をユーザの要求する顕微鏡本体２０の左又は右側に選択できる。回転枠１０３を取り外すことなく、回転枠１０３を回転させる構成なので、各光学素子５６、５７、６６及びミラー５８を保護することができる。

次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１乃至図８と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

図１１（ａ）（ｂ）は顕微鏡の透過照明ユニットの構成図であって、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は側面図を示す。図１２（ａ）（ｂ）はライトガイド４５を取付ける部分の構成図であって、同図（ａ）は摺動部材の上面図、同図（ｂ）は摺動部材の側面図を示す。

透過照明ユニット１１０は、ユニット用ベース４１上に設けられた枠体１１１を有する。この枠体１１１には、中空状の摺動孔１１２が光軸Ｌ_２の方向に設けられている。この摺動孔１１２内には、筒状の摺動部材１１３が光軸Ｌ_２の方向に摺動可能に設けられている。この摺動部材１１３の両端部には、それぞれ各嵌合部１１４、１１５が設けられている。これら嵌合部１１４、１１５には、それぞれライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６が取り付けられる。

このうち一方の嵌合部１１４には、例えば内周が円形の嵌合面１１７と、この嵌合面１１７の外側に形成された内周が円形の当て付け面１１８とが設けられている。このうち当て付け面１１８上の予め設定された部分には、切り欠き部１１９が設けられている。

他方の嵌合部１１５も嵌合部１１４と同様に、例えば内周が円形の嵌合面１２０と、この嵌合面１２０の外側に形成された内周が円形の当て付け面１２１とが設けられている。このうち当て付け面１２１上の予め設定された部分には、切り欠き部１２２が設けられている。

ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６は、中空状の嵌合部１２３と、この嵌合部１２３の外径よりも大きな外径を有する中間円筒１２４と、この中間円筒１２４よりも大きな外径を有する円筒状の取付枠１２５とを有する。嵌合部１２３と中間円筒１２４との間には、当て付け面１２６が設けられている。この当て付け面１２６には、ピン１２７が設けられている。又、中間円筒１２４と取付枠１２５との間には、取り付け面１２８が設けられている。取付枠１２５には、ビス用孔１２９が設けられている。

取付部材１１６の中空部には、ライトガイド挿入口１３０が設けられている。この取付部材１１６の先端部には、各光学素子５６、５７が設けられている。

しかるに、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６は、一方の嵌合部１１４に取り付け可能である。この取付部材１１６の嵌合部１２３が嵌合面１１７内に挿入されると、取付部材１１６の当て付け面１２６が嵌合部１１４の当て付け面１１８に当て付けられる。このとき、取付部材１１６のピン１２７が切り欠き部１１９内に入り込む。

この取付部材１１６は、他方の嵌合部１１５にも取り付け可能である。この取付部材１１６の嵌合部１２３が嵌合面１２０内に挿入される。これにより、取付部材１１６の当て付け面１２６が嵌合部１１５の当て付け面１２１に当て付けられる。このとき、取付部材１１６のピン１２７が切り欠き部１２２内に入り込む。

摺動部材１１３の上部には、長孔１３１が当該摺動部材１１３の摺動方向（光軸Ｌ_２）に沿って設けられている。又、摺動部材１１３の上部には、長孔１３１の長手方向に対して垂直方向（光軸Ｌ_１）に長溝１３２が設けられている。

枠体１１１の底面には、円形の嵌合溝１３３が設けられている。この嵌合溝１３３内には、図１３（ａ）（ｂ）に示すミラー保持部１３４が回転可能に設けられている。なお、図１３（ａ）はミラー保持部１３４の上面図、同図（ｂ）はミラー保持部１３４の側面図を示す。このミラー保持部１３４は、円筒本体１３５にミラー取付け用の切り欠き面１３６を設けている。この切り欠き面１３６には、ミラー５８が例えば接着又は図示しない板ばね等により固定されている。このミラー５８を切り欠き面１３６に設けた場合、このミラー５８の反射面５８ａが回転軸Ｂに一致する。

ミラー保持部１３４の上面には、その中心に嵌合軸１３７が設けられている。この嵌合軸１３７は、回転軸Ｂ上に設けられている。この嵌合軸１３７の上端部には、ネジ部１３８が設けられている。又、ミラー保持部１３４の上面には、その中心から離れた部分にピン１３９が設けられている。

枠体１１１の上部には、回転支持孔１４０及び各プランジャ用ネジ部１４１、１４２が設けられている。これらプランジャ用ネジ部１４１、１４２内には、それぞれ半球状の先端部を有する各プランジャ１４３、１４４が設けられている。これらプランジャ１４３、１４４は、ミラー保持部１３４の嵌合軸１３７を中心に摺動部材１１３の摺動方向に対称な各位置に設けられている。

これらプランジャ１４３、１４４の各位置に対応する摺動部材１１３の上面には、各Ｖ字溝１４５、１４６が設けられている。このうち一方のＶ字溝１４５に一方のプランジャ１４３が落ち込んで係止し、他方のＶ字溝１４６に他方のプランジャ１４４が落ち込んで係止する。

ミラー保持部１３４は、枠体１１１の底面に設けられた嵌合溝１３３内に回転可能に設けられる。これと共に、ミラー保持部１３４の嵌合軸１３７は、長孔１３１を通して回転支持孔１４０内に挿入される。この回転支持孔１４０内に挿入された嵌合軸１３７のネジ部１３８には、オサエカン１４７が捩じ込まれる。これにより、ミラー保持部１３４は、嵌合溝１３３内と回転支持孔１４０内とで回転可能に支持される。又、ミラー保持部１３４上のピン１３４が摺動部材１１３の長溝１３２内に移動可能に挿入される。

枠体１１１のスライダ挿入部６９側には、光学素子６６を保持するレンズ枠１４８が設けれている。なお、摺動部材１１３は、図１２（ａ）の上面図に示すように各嵌合部１１４、１１５を設けた両端部１４９、１５０の幅よりもこれら両端部１４９、１５０の間の中間部１５１の幅の方が小さく形成されている。これにより、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２の方向に摺動しても、レンズ枠１４８と摺動部材１１３とは接触しない。

しかるに、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６を一方の嵌合部１１４に取り付ける場合、すなわちライトガイド４５を顕微鏡本体２０の右側側面に取り付ける場合、図１４に示すように取付部材１１６の嵌合部１２３が嵌合面１１７内に挿入される。ピン１２７が摺動部材１１３の当て付け面１１８に接した際、摺動部材１１３をプランジャによって係止した後、取付部材１１６を回転させて切り欠き部１１９にピン１２７の部分を逃がすことによって取付部材１１６の当て付け面１２６を当て付け面１１８に当て付ける。

取付部材１１６の嵌合部１２３を嵌合面１１７内に押し込むと、この押し込み力によって他方のＶ字溝１４６に対する他方のプランジャ１４４の係止が解除され、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って図１２（ｂ）上の右側に向かって摺動する。この摺動部材１１３の摺動に応動して摺動部材１１３の長溝１３２内にピン１３７が保持されたミラー保持部１３４が図１４（ａ）（ｂ）に示すように嵌合溝１３３内と回転支持孔１４０内とで回転する。このミラー保持部１３４の回転によりミラー５８は、嵌合軸１３７を中心に矢印Ｃ方向に回転する。

摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って摺動すると、一方のプランジャ１４３がＶ字溝１４５に落ち込んで係止する。これにより、摺動部材１１３の摺動が停止し、ミラー保持部１３４の回転も停止する。この結果、ライトガイドからの光束がミラー５８で反射され光軸Ｌ_１と一致するようにミラー５８が配置される。

一方、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６を他方の嵌合部１１５に取り付ける場合、すなわちライトガイド４５を顕微鏡本体２０の左側側面に取り付ける場合、図１５に示すように取付部材１１６の嵌合部１２３が嵌合面１２０内に挿入されると、この取付部材１１６の当て付け面１２６が嵌合部１１５の当て付け面１２１に当て付けられる。このとき、取付部材１１６のピン１２７が切り欠き部１２２内に入り込むように取付部材１１６が回転される。

取付部材１１６の嵌合部１２３を嵌合面１２０内に押し込むと、この押し込み力によって一方のＶ字溝１４５に対する一方プランジャ１４３の係止が解除され、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って図１５上の左側に向かって摺動する。この摺動部材１１３の摺動に応動して摺動部材１１３の長溝１３２内にピン１３７が保持されたミラー保持部１３４が図１４（ａ）（ｂ）に示すように嵌合溝１３３内と回転支持孔１４０内とで回転する。このミラー保持部１３４の回転によりミラー５８は、図１２（ａ）に示すように嵌合軸１３７を中心に矢印Ｄ方向に回転する。

摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って摺動すると、他方のプランジャ１４４がＶ字溝１４６に落ち込んで係止する。これにより、摺動部材１１３の摺動が停止し、ミラー保持部１３４の回転も停止する。この結果、ライトガイドからの光束がミラー５８で反射され光軸Ｌ_１と一致するようにミラー５８が配置される。

絞り装置１５２がユニット用ベース４１上に設けられている。図１６は絞り装置１５２の構成図を示す。この絞り装置１５２は、箱状の枠体１５３を有する。この枠体１５３の内部には、複数の絞りはねがはね保持部１５４ａに保持されている。このはね保持部１５４ａは、はね保持枠１５４ｂに対して回転可能に設けられている。このはね保持部１５４ａには、ピン１５５が設けられている。

又、コマ１５７には、ピン保持部１５６が設けられている。ピン１５５は、コマ１５７に設けられたピン保持部１５６によって挟み込まれている。これにより、コマ１５７が長手方向Ａに直線移動すると、ピン保持部１５６に挟み込まれたピン１５５を有するはね保持部１５４ａが回転する。このはね保持部１５４ａの回転によって絞り径が調整できる。

コマ１５７には、長手方向Ａに直線移動させるためのツマミ１５８が枠体１５３から突出して設けられている。従って、ツマミ１５８を長手方向Ａに押し込んだり、引き出したりすると、コマ１５７が長手方向Ａに直線移動する。

はね保持部１５４ａの両端は、それぞれ各バネ１５９、１６０を介して連結されている。これらバネ１５９、１６０は、それぞれ両端に各フック１５９ａ、１５９ｂ、１６０ａ、１６０ｂを有する。又、枠体１５３における各バネ１５９、１６０に対向する各内壁には、それぞれフック状に形成された各ビス１６１、１６２が設けられている。このうちビス１６１はフック１５９ａに係止され、ビス１６２はフック１６０ａに係止されている。

ビス１６１は、枠体１５３に設けられたネジ孔１６３に捩じ込まれている。このビス１６１は、当て付け面１６１ａを有する。ネジ孔１６３には、当て付け環１６４が設けられている。従って、ビス１６１は、当て付け面１６１ａを当て付け環１６４に当て付けるものとなる。又、ネジ孔１６３には、環状のオサエカン１６５が捩じ込まれている。なお、ビス１６１には、オサエカン１６５の中空孔を通して工具を挿入できるようになっている。

なお、ビス１６２もビス１６１と同様の構造を有しているが、ここではその説明は省略する。

枠体１５３には、４本の芯出し用のビス１６６〜１６９が設けられている。このうち芯出し用のビス１６６、１６７が枠体１５３の右側の上部及び下部に設けられ、かつ芯出し用のビス１６８、１６９が枠体１５３の左側の上部及び下部に設けられている。これら芯出し用のビス１６６〜１６９は、例えば図示しない工具等によって捩じ込むと、はね保持枠１５４ｂを押し込み、芯出し可能にする。

各ビス１６１、１６２を互いに当て付け面１６１ａを当て付け環１６４に当て付けるまで捩じ込むと、各バネ１５９、１６０の長さが最小になる。このとき、はね保持部１５４ａには、各バネ１５９、１６０の張力が釣り合って加わる。

この状態で、オサエカン１６５を通してビス１６１に工具を挿入し、この工具によってビス１６１を回転させてオサエカン１６５に当て付くまで引き出すと、バネ１５９が引っ張られる。このバネ１５９が引っ張られて張力が大きくなると、はね保持部１５４ａは、右側の各芯出し用のビス１６６、１６７側に引き寄せられる。

同様に、ビス１６２を回転させて引き出すと、はね保持部１５４ａは、左側の各芯出し用のビス１６８、１６９側に引き寄せられる。

図１７に示すようにツマミ１５８の先端部には、ネジ部１７０が設けられている。コマ１５７の左右の両端部には、それぞれ各ネジ孔１７１、１７２が設けられている。これにより、ツマミ１５８は、コマ１５７の左右の各ネジ孔１７１、１７２に対して捩じ込み可能になっている。

透過照明ユニット１１０は、図１１に示すように顕微鏡本体２０内に収納されている。この状態で、ライトガイド４５を図１１に示すように顕微鏡本体２０の右側側面に取り付ける場合、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６を一方の嵌合部１１４に取り付ける。この取付けでは、取付部材１１６の嵌合部１２３を嵌合面１１７内に挿入する。この挿入により取付部材１１６の当て付け面１２６が嵌合部１１４の当て付け面１１８に当て付けられる。

取付部材１１６の嵌合部１２３を嵌合面１１７内に押し込むと、この押し込み力によって他方のＶ字溝１４６に対する他方のプランジャ１４４の係止が解除され、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って図１２（ｂ）上の右側に向かって摺動する。

このとき、取付部材１１６のピン１２７が切り欠き部１１９内に入り込むように取付部材１１６が回転される。

摺動部材１１３の摺動に応動してミラー保持部１３４上のピン１３４が摺動部材１１３の長溝１３２内で移動する。これにより、ミラー保持部１３４は、図１４（ａ）（ｂ）に示すように嵌合溝１３３内と回転支持孔１４０内とで回転する。このミラー保持部１３４の回転によりミラー５８は、嵌合軸１３７を中心に矢印Ｃ方向に回転する。

さらに、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って摺動すると、一方のプランジャ１４３がＶ字溝１４５に落ち込んで係止する。これにより、摺動部材１１３の摺動が停止し、ミラー保持部１３４の回転も停止する。この結果、ライトガイドからの光束がミラー５８で反射され光軸Ｌ_１と一致するようにミラー５８が配置される。

一方、ライトガイド４５を顕微鏡本体２０の左側側面に取り付ける場合、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６を他方の嵌合部１１５に取り付ける。この取付けでは、取付部材１１６の嵌合部１２３を嵌合面１２０内に挿入する。この挿入により取付部材１１６の当て付け面１２６が嵌合部１１５の当て付け面１２１に当て付けられる。

取付部材１１６の嵌合部１２３を嵌合面１２０内に押し込むと、この押し込み力によって一方のＶ字溝１４５に対する一方プランジャ１４３の係止が解除され、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って図１５上の左側に向かって摺動する。

このとき、取付部材１１６のピン１２７が切り欠き部１２２内に入り込むように取付部材１１６が回転される。

摺動部材１１３の摺動に応動してミラー保持部１３４上のピン１３４が摺動部材１１３の長溝１３２内で移動する。これにより、ミラー保持部１３４は、嵌合溝１３３内と回転支持孔１４０内とで回転し、このミラー保持部１３４の回転によりミラー５８は、嵌合軸１３７を中心に矢印Ｄ方向に回転する。

さらに、摺動部材１１３が光軸Ｌ_２に沿って摺動すると、他方のプランジャ１４４がＶ字溝１４６に落ち込んで係止する。これにより、摺動部材１１３の摺動が停止し、ミラー保持部１３４の回転も停止する。この結果、ライトガイドからの光束がミラー５８で反射され光軸Ｌ_１と一致するようにミラー５８が配置される。

絞り装置１５２は、はね保持部１５４ａの両端に各バネ１５９、１６０を設けてあるので、このはね保持部１５４ａは、各バネ１５９、１６０の付勢力により両側に引っ張られて保持されている。

この絞り装置１５２において例えば各芯出し用のビス１６８、１６９側から芯出しを行う場合、オサエカン１６５を通してビス１６１に工具を挿入し、この工具によってビス１６１を回転させてビス１６１を当て付け環１６４に当て付けられるまで捩じ込む。これにより、各バネ１５９、１６０の付勢力が弱くなる。各芯出し用のビス１６６、１６７も緩める。

ここで、芯出しを行いたい側のバネ１６０をビス１６２により引っ張る。これにより、はね保持部１５４ａは、芯出し用の各ビス１６８、１６９側に引き込まれ、これら芯出し用のビス１６８、１６９側に引き込みによって各ビス１６８、１６９での芯出しができる。

一方、絞り装置１５２において例えば各芯出し用のビス１６６、１６７側から芯出しを行う場合、顕微鏡本体２０の左側における不図示のオサエカンを通してビス１６２に工具を挿入し、この工具によってビス１６２を回転させてビス１６２を不図示の当て付け環に当て付けられるまで捩じ込む。これにより、各バネ１５９、１６０の付勢力が弱くなる。各芯出し用のビス１６８、１６９も緩める。

ここで、芯出しを行いたい側のバネ１５９をビス１６１により引っ張る。これにより、はね保持部１５４ａは、芯出し用の各ビス１６６、１６７側に引き込まれ、これら芯出し用のビス１６６、１６７側に引き込みによって各ビス１６６、１６７での芯出しができる。

次に、透過照明ユニット１１０による標本２２への透過照明について説明する。

光源４６から出射された光束は、ライトガイド４５により顕微鏡本体２０内部に導かれ、このライトガイド４５の光出射端部４５ａに設けられた各光学素子５６、５７を通ってミラー５８に入射する。この光束は、このミラー５８で光軸Ｌ_１に向かって反射し、光学素子６６、絞り装置１５２を通ってミラー９０に入射する。ここで、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子を保持したスライダ枠がスライダ挿入部６９内に挿入されていれば、光束は、光学素子６６、例えばポラライザ、フィルタ等の光学素子、絞り装置１５２を通ってミラー９０に入射する。この光束は、このミラー９０で観察光軸Ｌに向かって反射し、集光レンズユニット３７に入射し、この集光レンズユニット３７により透過照明光として標本２２を照明する。

このように上記第３の実施の形態によれば、枠体１１１内に摺動部材１１３を摺動可能に設け、この摺動部材１１３の左又は右側にライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６を挿入可能とし、当該取付部材１１６を摺動部材１１３の左又は右側に挿入したときの押し込みによる摺動部材１１３の摺動に応動してミラー保持部１３４を回転させるようにした。

これにより、透過照明ユニット１１０を顕微鏡本体２０内から取り外す必要なく、顕微鏡本体２０内に収納した状態で、ライトガイド４５を取り付けるための取付部材１１６を顕微鏡本体２０の左側又は右側の側面に取り付けることができる。従って、簡単な操作でライトガイド４５の取付け方向をユーザの要求する顕微鏡本体２０の左又は右側に選択できる。

又、絞り装置１５２を付け替えなくても芯出しのための工具の挿入方向を顕微鏡本体２０の左又は右側に変更できる。さらに、コマ１５７を長手方向に移動させるためのツマミ１５８を着脱可能にしたので、芯出し操作を行いたい顕微鏡本体２０の左又は右側からツマミ１５８を挿入してコマ１５７に捩じ込むことができる。従って、透過照明ユニット１１０を顕微鏡本体２０内から取り外すことなく、絞り装置１５２のツマミ１５８及び芯出し用のビス１６６〜１６９の操作方向を選択できる。

本発明に係る顕微鏡の第１の実施の形態を示す構成図。同顕微鏡における顕微鏡本体の下部を右側面から見た内部の部分断面図。同顕微鏡における透過照明ユニットの一部断面を有する上面図。同顕微鏡における透過照明ユニットの一部断面を有する側面図。同顕微鏡におけるライトガイドの固定機構を示す構成図。同顕微鏡における絞り装置の正面構成図。同顕微鏡における絞り装置の側面構成図。本発明に係る顕微鏡の第２の実施の形態における透過照明ユニットを示す構成図。同顕微鏡における回転支持孔に対する回転枠の回転支持の構成図。同顕微鏡における各回転規制面による回転枠の回転規制を示す図。本発明に係る顕微鏡の第３の実施の形態における透過照明ユニットを示す構成図。同顕微鏡におけるライトガイドを取付ける部分の構成図。同顕微鏡におけるミラー保持部の構成図。同顕微鏡におけるライトガイドの右側側面への取り付けを示す図。同顕微鏡におけるライトガイドの左側側面への取り付けを示す図。同顕微鏡における絞り装置の構成図。同顕微鏡の絞り装置におけるツマミを左右側に捩じ込み可能な構造を示す図。従来の顕微鏡の構成図。

符号の説明

２０：顕微鏡本体、２１：焦準台、２２：標本、２３：ステージ、２４：焦準ハンドル、２５：レボルバ、２６：対物レンズ、２７：観察鏡筒、２８：接眼レンズ、２９：落射照明装置、３０：光源、３１，３２：投光レンズ、３３：ハーフミラー、３４：開口部、３５：蓋、３６：ビス、３７：集光レンズユニット、３８：枠体、３９ａ〜３９ｄ：光学素子、４０：投光ユニット、４１：ユニット用ベース、４２：オスアリ部、４３：メスアリ部、４４：光学素子、４５：ライトガイド、４５ａ：ライトガイドの光出射端部、４６：光源、４７：第１の枠体、４８：嵌合部、４９：取付部材、５０：ライトガイド挿入口、５１：固定用穴、５２：コマ、５３：押え端部、５４：テーパ面、５５：ビス、５６，５７：光学素子、５８：ミラー、５９，６０：第１の取付け面、６１，６２：ピン、６３：第２の取付け面、６４：回転規制面、６５：取り付け孔、６６：光学素子、６７：第２の枠体、６８：ビス、６９：スライダ挿入部、７０：絞り装置、７１：枠体、７２：絞りはね、７３，７４：はね保持部、７５，７６：ピン、７７：ピン保持部、７８：コマ、７９：ツマミ、８０：バネ、８１：ネジ孔、８２：芯出し用ビス、８３：ビス、８４：押さえ板、８５：ビス、８６：枠体、８７，８８：中空部、８９：傾斜面、９０：ミラー、９１〜９４，９５〜９８：孔、１００：透過照明ユニット、１０１：第１の枠体、１０１ａ：ベース体、１０１ｂ：支持板、１０１ｃ：ネジ孔、１０１ｄ：ビス、１０２：回転支持孔、１０２ａ：嵌合部、１０２ｂ：当て付け面、１０３：回転枠、１０４：回転支持枠、１０４ａ：嵌合部、１０４ｂ：当て付け面、１０４ｃ：ネジ部、１０４ｄ：Ｖ字溝、１０５：ライトガイド挿入口、１０６：オサエカン、１０７，１０８：回転規制面、１１０：透過照明ユニット、１１１：枠体、１１２：摺動孔、１１３：摺動部材、１１４，１１５：嵌合部、１１６：取付部材、１１７：嵌合面、１１８：当て付け面、１１９：切り欠き部、１２０：嵌合面、１２１：当て付け面、１２２：切り欠き部、１２３：嵌合部、１２４：中間円筒、１２５：取付枠、１２６：当て付け面、１２７：ピン、１２８：取り付け面、１２９：ビス用孔、１３０：ライトガイド挿入口、１３１：長孔、１３２：長溝、１３３：嵌合溝、１３４：ミラー保持部、１３５：円筒本体、１３６：切り欠き面、１３７：嵌合軸、１３８：ネジ部、１３９：ピン、１４０：回転支持孔、１４１，１４２：プランジャ用ネジ部、１４３，１４４：プランジャ、１４５，１４６：Ｖ字溝、１４７：オサエカン、１４８：レンズ枠、１４９，１５０：摺動部材の両端部、１５１：摺動部材の中間部、１５２：絞り装置、１５３：枠体、１５４ａ：はね保持部、１５４ｂ：はね保持枠、１５５：ピン、１５６：ピン保持部、１５７：コマ、１５８：ツマミ、１５９，１６０：バネ、１５９ａ，１５９ｂ，１６０ａ，１６０ｂ：フック、１６１，１６２：ビス、１６３：ネジ孔、１６１ａ：当て付け面、１６４：当て付け環、１６５：オサエカン、１６６〜１６９：芯出し用のビス、１７０：ネジ部、１７１，１７２：ネジ孔。

Claims

標本を載置するステージを有する顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体の外部に設けられ、光束を出射する光源と、前記光源から出射された前記光束を導くライトガイドと、前記ライトガイドにより導かれた前記光束を投光する投光ユニットと、前記投光ユニットにより投光された前記光束を透過照明光として前記標本に導く集光レンズユニットとを有する顕微鏡において、
前記ライトガイドの光束出射端を取り付け可能とする取付部材を備え、
前記投光ユニットは、前記取付部材を前記顕微鏡本体の左右両側面側からそれぞれ取り付け、取り外し可能とする嵌合部を設け、かつ前記取付部材を取り付けた状態で前記顕微鏡本体の内部に収納可能に設けられた、
ことを特徴とする顕微鏡。
標本を載置するステージを有する顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体の外部に設けられ、光束を出射する光源と、前記光源から出射された前記光束を導くライトガイドと、前記ライトガイドにより導かれた前記光束を投光する投光ユニットと、前記投光ユニットにより投光された前記光束を透過照明光として前記標本に導く集光レンズユニットとを有する顕微鏡において、
前記ライトガイドの光束出射端を取り付け可能とする取付部材を備え、
前記投光ユニットは、前記顕微鏡本体の内部に収納可能に設けられ、かつ前記取付部材が回転可能に設けられ、前記取付部材の回転により前記ライトガイドを前記顕微鏡本体の左側又は右側の側面に取り付け可能である、
ことを特徴とする顕微鏡。
標本を載置するステージを有する顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体の外部に設けられ、光束を出射する光源と、前記光源から出射された前記光束を導くライトガイドと、前記ライトガイドにより導かれた前記光束を投光する投光ユニットと、前記投光ユニットにより投光された前記光束を透過照明光として前記標本に導く集光レンズユニットとを有する顕微鏡において、
前記ライトガイドの光束出射端を取り付け可能とする取付部材を備え、
前記投光ユニットは、前記ライトガイドから出射された前記光束を偏向する第１の偏向素子と、
前記第１の偏向素子により偏向された前記光束を前記集光レンズユニットに向けて偏向する第２の偏向素子と、
前記第１の偏向素子を回転可能に保持するミラー保持部材と、
前記顕微鏡本体の左側又は右側の側面から前記取付部材を取り付け、取り外し可能とし、かつ前記第１の偏向素子と前記第２の偏向素子との間の光軸に対して垂直方向に摺動して前記ミラー保持部材を回転させる摺動部材と、
を有し、前記顕微鏡本体の内部に収納可能に設けられた、
ことを特徴とする顕微鏡。
前記取付部材は、前記ライトガイドの前記光束出射端を挿入して固定するライトガイド挿入口を設けたことを特徴とする請求項１、２又は３のうちいずれか１項記載の顕微鏡。
前記投光ユニットは、前記ライトガイドから出射された前記光束を偏向する第１の偏向素子と、
前記第１の偏向素子により偏向された前記光束を前記集光レンズユニットに向けて偏向する第２の偏向素子と、
を有することを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡。
前記嵌合部は、前記第１の偏向素子を位置決めするための第１の取付け面を設け、
前記取付部材は、前記第１の偏向素子を位置決めするための第２の取付け面を設け、
前記取付部材の前記第２の取付け面を前記第１の取付け面に当て付けて固定することにより前記第１の偏向素子を前記標本側からの光束が前記第２の偏向素子で反射した光軸上に配置する、
ことを特徴とする請求項５記載の顕微鏡。
前記投光ユニットは、各種光学素子を前記顕微鏡本体の左右両側からそれぞれ前記第１の偏向素子と前記第２の偏向素子との間の光軸上に挿脱可能とするスライダ挿入部を設けたことを特徴とする請求項３又は５記載の顕微鏡。
前記各種光学素子は、少なくともポラライサ又はフィルタを有することを特徴とする請求項７記載の顕微鏡。
前記投光ユニットは、前記第１の偏向素子と前記第２の偏向素子との間の光軸上に、前記光束に対する絞り径を調整する絞り装置を設けたことを特徴とする請求項３又は５記載の顕微鏡。
前記絞り装置は、前記顕微鏡本体の左右両側のいずれか一方から前記絞り径の芯出しを可能とすることを特徴とする請求項９記載の顕微鏡。
前記絞り装置は、前記顕微鏡本体の左右両側のいずれか一方から前記絞り径を調整可能とすることを特徴とする請求項９記載の顕微鏡。
前記投光ユニットは、前記ライトガイドの前記光束出射端を取り付けた前記取付部材の回転を規制する回転規制面を有し、前記回転規制面により前記取付部材の回転を規制して前記ライトガイドを前記顕微鏡本体の左側又は右側の側面に取り付けることを特徴とする請求項２記載の顕微鏡。
前記ライトガイドの前記光束出射端を取り付けた前記取付部材の回転軸は、前記第１の偏向素子と前記第２の偏向素子との間の光軸と同軸に設けられた、
ことを特徴とする請求項５記載の顕微鏡。
前記ミラー保持部材を回転させる機構は、前記ミラー保持部材に設けられた回転軸と、
前記ミラー保持部材に設けられた係止部材と、
前記摺動部材に当該摺動部材の摺動方向と同一方向に設けられ、前記回転軸を移動可能に支持する長孔と、
前記摺動部材に当該摺動部材の摺動方向に対して略垂直方向に設けられ、前記係止部材を移動可能に支持する長溝と、
を有することを特徴とする請求項３記載の顕微鏡。
前記ライトガイドの前記光束出射端を取り付けた前記取付部材を前記顕微鏡本体の左側又は右側の側面から取り付けたときの前記摺動部材の摺動を規制し、前記第１の偏向素子の光軸を前記第２の偏向素子の光軸に一致させる角度で前記ミラー保持部材の回転を規制する摺動規制部、
を有することを特徴とする請求項３記載の顕微鏡。
前記摺動規制部は、前記摺動部材に設けられた前記左側及び前記右側の各溝と、
前記各溝内に係止する前記左側及び前記右側の各係止部材と、
を有することを特徴とする請求項１５記載の顕微鏡。
前記ミラー保持部材の回転軸は、前記第１の偏向素子と前記第２の偏向素子との間の光軸上にあることを特徴とする請求項３記載の顕微鏡。