JP5445464B2 - コンデンサ用電極体およびコンデンサ - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係るコンデンサ用電極体を含むコンデンサの構造を示す断面図である。コンデンサ10は、陽極用基材20、誘電体層22、陽極体30、誘電体層32、陰極体40および陰極用基材50を備える。
ここで、実施の形態1で用いられるコンデンサ用電極体の製造方法について説明する。まず、10nmから1μmの粒径のNiTi合金をNiTi薄膜(陽極用基材20に相当)の上にコールドスプレー法を用いて堆積する。これにより、NiTi合金同士が連結し、多孔質で高表面積のネットワーク構造が形成され、空隙率(気孔率)の大きなNiTi合金層(陽極体30に相当)が形成される。なお、コールドスプレー法とは、材料粒子あるいは材料粉末を所定の高温・高速の流れにして被覆対象物の表面に吹き付けて、被覆対象物の表面に材料粒子を堆積させて、被覆対象物をコーティングする加工法である。コールドスプレー法は、焼結法に比べると表面積の大きい多孔質層を形成することができるため、コンデンサの容量密度の増加を図ることができる。
図2は、二酸化ケイ素基板上に設けられたNiTi(合金)層の表面を酸化したサンプルのラザフォード後方散乱スペクトルである。なお、NiTi層は、実施の形態1のNiTi合金層またはNiTi薄膜に相当する。ラザフォード後方散乱スペクトルは、RBS(Rutherford Backscattering Spectrometry)測定装置を用いて測定された。主な測定条件を以下に示す。
エネルギー分解能:20keV、入射イオン:4He++、入射エネルギー:2.3MeV、入射角:0deg、試料電流:20nA、入射ビーム径:2mm、試料回転:0deg、照射量:240μC、チャンバー真空度:5.1×10−5Pa、検出器の散乱角:160deg、検出器のアパーチャ径:8mm
図2における領域A−Eの各領域の成分を下記に示す。
領域A:酸化チタン層
領域B:酸化チタン層からNiTi層へ変化する中間層
領域C:NiTi層
領域D:NiTi層から二酸化ケイ素層へ変化する中間層
領域E:二酸化ケイ素層(二酸化ケイ素基板)
図3は、実施の形態2に係るコンデンサ用電極体を含むコンデンサの構造を示す断面図である。実施の形態2に係るコンデンサ用電極体では、コア部、すなわち、陽極用基材20および陽極体30の材料としてNiが用いられている。より詳しくは、陽極体30は多数のNi粒子が結合することにより形成されている。なお、Niに代わる仕事関数が大きい材料として、Ru、Pt、Irなどの金属を用いてもよい。
ここで、実施の形態2で用いられるコンデンサ用電極体の製造方法について説明する。まず、CVD法などを用いてNi薄膜(陽極用基材20に相当)上にTa層を成膜する。続いて、10nmから1μmの粒径のTa被膜(厚さ:たとえば10nm)で覆われたNi粒子をTa層の上にコールドスプレー法を用いて堆積する。これにより、Ta被膜を介してNi粒子同士が連結し、多孔質で高表面積のネットワーク構造が形成され、空隙率の大きなNi金層(陽極体30に相当)が形成される。このとき、Ni粒子同士の間に介在するTa被膜は、Ni粒子同士が衝突する際の圧力により、堆積前に比べて薄膜化する。同様に、Ni粒子とNi薄膜とは、Ta被膜およびTa層を介して接続される。
図4は、実施の形態3に係るコンデンサ用電極体を含むコンデンサの構造を示す断面図である。実施の形態3に係るコンデンサ用電極体では、コア部、すなわち、陽極用基材20および陽極体30の材料としてNiが用いられている。より詳しくは、陽極体30は多数のNi粒子が結合することにより形成されている。なお、Niに代わる仕事関数が大きい材料として、Ru、Pt、Irなどの金属を用いてもよい。
ここで、実施の形態3で用いられるコンデンサ用電極体の製造方法について説明する。まず、10nmから1μmの粒径のNi粒子をNi薄膜(陽極用基材20に相当)の上にコールドスプレー法を用いて堆積する。これにより、Ni粒子同士が連結し、多孔質で高表面積のネットワーク構造が形成され、気孔率の大きなNi層(陽極体30に相当)が形成される。
Claims (5)
- ニッケルとチタンの合金を含むコア部と、
前記コア部の周囲を被覆する酸化チタンを含む誘電体膜と、
を備え、
前記コア部と前記誘電体膜との界面の一部または全部に、ニッケル層または前記コア部よりニッケルの濃度が高いニッケルチタン合金層が形成されていることを特徴とするコンデンサ用電極体。 - 前記コア部と前記誘電体膜とが多孔質層を形成している請求項1に記載のコンデンサ用電極体。
- 請求項1又は2に記載の前記コンデンサ用電極体が陽極側に用いられ、
前記誘電体膜を挟んで前記コア部と反対側に形成された陰極体とを備えることを特徴とするコンデンサ。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の前記コンデンサ用電極体が陰極側に用いられ、
前記誘電体膜を挟んで前記コア部と反対側に形成された陽極体とを備えることを特徴とするコンデンサ。 - 前記陰極体が、導電性ポリマーを含むことを特徴とする請求項3に記載のコンデンサ。
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