JP5405492B2 - スイッチ装置、および試験装置 - Google Patents
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- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
Description
20・・・FET
30・・・駆動部
31・・・ゲート容量
32・・・第1電源部
33・・・第1トランジスタ
34・・・第2トランジスタ
35・・・第2電源部
36・・・入力スイッチ
37・・・ベースエミッタ間ダイオード成分
38・・・ダイオード
39・・・抵抗
40・・・変更部
50・・・制御信号入力端子
60・・・第1端子
70・・・第2端子
90・・・タイミング調整部
95・・・キャリブレーション部
10−1・・・高電圧側スイッチ装置
20−1・・・FET
30−1・・・駆動部
32−1・・・第1電源部
40−1・・・変更部
50−1・・・制御信号入力端子
60−1・・・第1端子
70−1・・・第2端子
10−2・・・低電圧側スイッチ装置
20−2・・・FET
30−2・・・駆動部
32−2・・・第1電源部
40−2・・・変更部
50−2・・・制御信号入力端子
60−2・・・第1端子
70−2・・・第2端子
100・・・試験装置
110・・・信号供給部
115・・・出力端子
120・・・信号取得部
130・・・判定部
200・・・被試験デバイス
300・・・高電圧側基準電圧
320・・・電流バッファ回路
322・・・演算増幅器
324・・・抵抗
325・・・抵抗
326・・・トランジスタ
328・・・可変電圧源
340・・・第1トランジスタ
342・・・第2トランジスタ
400・・・電圧源
500・・・負荷
Claims (11)
- 2つの端子間の接続状態を切り替えるスイッチ装置であって、
与えられる制御電圧に応じて前記2つの端子間の接続状態を切り替えるスイッチと、
与えられる制御信号に応じた制御電圧を前記スイッチに与える駆動部と、
指定されたスイッチング時間に応じて、前記駆動部から出力される前記制御電圧を変更する変更部と、
前記スイッチのスイッチング動作に先立って、指定されたスイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出するキャリブレーション部と、
を備え、
前記キャリブレーション部は、前記2つの端子間の電圧、または、前記2つの端子の一方に接続される負荷に印加される電圧が、スイッチング開始タイミングから所定の電圧に達するまでの時間を測定して、指定された前記スイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出して、前記変更部を設定する
スイッチ装置。 - 2つの端子間の接続状態を切り替えるスイッチ装置であって、
与えられる制御電圧に応じて前記2つの端子間の接続状態を切り替えるスイッチと、
与えられる制御信号に応じた制御電圧を前記スイッチに与える駆動部と、
指定されたスイッチング時間に応じて、前記駆動部から出力される前記制御電圧を変更する変更部と、
前記スイッチのスイッチング動作に先立って、指定されたスイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出するキャリブレーション部と、
を備え、
前記キャリブレーション部は、前記2つの端子間の電圧、または、前記2つの端子の一方に接続される負荷に印加される電圧が、スイッチング開始タイミングから所定の電圧に達するまでの時間を測定して、指定された前記スイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出して、
第1電圧値の電源電圧を発生する第1電源部と、
第2電圧値の電源電圧を発生する第2電源部と、を更に備え、
前記駆動部は、前記スイッチを第1状態から第2状態へ切り替える切替指示を受けたことに応じて、前記制御電圧を、前記第1電源部が発生した電力により前記第1電圧値まで変化させた後、前記第2電源部が発生した電力により、前記第1電圧値までの時間変化率より低い時間変化率で同方向に、前記第1電圧値から第2電圧値まで更に変化させる
スイッチ装置。 - 前記変更部は、指定されたスイッチング時間に応じて、前記駆動部に電源として供給される電力を変更する
請求項1または2に記載のスイッチ装置。 - 前記変更部は、前記スイッチのスイッチング動作に先立って前記駆動部から出力される前記制御電圧を変更する
請求項1から3の何れか1項に記載のスイッチ装置。 - 前記スイッチは、電界効果トランジスタであり、
前記駆動部は、前記制御電圧を前記電界効果トランジスタのゲートに与える
請求項1から4の何れか1項に記載のスイッチ装置。 - 前記変更部は、前記制御電圧を、前記電界効果トランジスタのしきい電圧からゲート電圧の最大定格までの範囲で変更する
請求項5に記載のスイッチ装置。 - 前記第1電源部は、第1出力端子から前記第1電圧値の電源電圧を発生し、第2出力端子から第3電圧値の電源電圧を発生し、
前記第2電源部は、第1出力端子から前記第2電圧値の電源電圧を発生し、第2出力端子から第3電圧値の電源電圧を発生し、
前記駆動部は、前記スイッチを第1状態へ切り替える切替指示を受けた場合、前記スイッチの制御端と前記第1電源部および前記第2電源部のそれぞれの第2出力端子とを接続し、前記スイッチを第2状態へ切り替える切替指示を受けた場合、前記スイッチの制御端と前記第1電源部および前記第2電源部のそれぞれの第1出力端子とを接続する
請求項2に記載のスイッチ装置。 - 前記第1電源部は、前記第1電圧値を外部から変更することができ、
前記変更部は、指定されたスイッチング時間に応じて、前記第1電源部が発生する前記第1電圧値の電源電圧を、前記第3電圧値から、前記第2電圧値を超えた前記スイッチの制御電圧の定格電圧までの範囲で変更する
請求項7に記載のスイッチ装置。 - 前記変更部による前記制御電圧の変更に応じて、前記制御信号を前記駆動部に与えるタイミングを調整するタイミング調整部を更に備える
請求項1から8の何れか1項に記載のスイッチ装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに対して試験信号を供給する信号供給部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスから出力される応答信号を取得する信号取得部と、
前記応答信号に基づき前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記信号供給部は、
前記被試験デバイスが接続される出力端子と、
高電圧側基準電圧が与えられる第1端子と、前記出力端子が接続された第2端子との間を、前記被試験デバイスを試験するための試験パターンに応じたポジ側の制御信号に応じて開放または短絡する高電圧側スイッチ装置と、
前記出力端子が接続された第1端子と、低電圧側基準電圧が与えられる第2端子との間を、前記ポジ側の制御信号と論理が反転したネガ側の制御信号に応じて開放または短絡する低電圧側スイッチ装置と、
を有し、
前記高電圧側スイッチ装置および前記低電圧側スイッチ装置のそれぞれは、
与えられる制御電圧に応じて、前記第1端子と前記第2端子との間の接続状態を切り替えるスイッチと、
与えられる制御信号に応じた制御電圧を前記スイッチに与える駆動部と、
指定されたスイッチング時間に応じて、前記駆動部から出力される前記制御電圧を変更する変更部と、
前記スイッチのスイッチング動作に先立って、指定されたスイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出するキャリブレーション部と、
を含み、
前記キャリブレーション部は、前記2つの端子間の電圧、または、前記2つの端子の一方に接続される負荷に印加される電圧が、スイッチング開始タイミングから所定の電圧に達するまでの時間を測定して、指定された前記スイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出して、前記変更部を設定する
試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに対して試験信号を供給する信号供給部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスから出力される応答信号を取得する信号取得部と、
前記応答信号に基づき前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記信号供給部は、
前記被試験デバイスが接続される出力端子と、
高電圧側基準電圧が与えられる第1端子と、前記出力端子が接続された第2端子との間を、前記被試験デバイスを試験するための試験パターンに応じたポジ側の制御信号に応じて開放または短絡する高電圧側スイッチ装置と、
前記出力端子が接続された第1端子と、低電圧側基準電圧が与えられる第2端子との間を、前記ポジ側の制御信号と論理が反転したネガ側の制御信号に応じて開放または短絡する低電圧側スイッチ装置と、
を有し、
前記高電圧側スイッチ装置および前記低電圧側スイッチ装置のそれぞれは、
与えられる制御電圧に応じて、前記第1端子と前記第2端子との間の接続状態を切り替えるスイッチと、
与えられる制御信号に応じた制御電圧を前記スイッチに与える駆動部と、
指定されたスイッチング時間に応じて、前記駆動部から出力される前記制御電圧を変更する変更部と、
前記スイッチのスイッチング動作に先立って、指定されたスイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出するキャリブレーション部と、
を含み、
前記キャリブレーション部は、前記2つの端子間の電圧、または、前記2つの端子の一方に接続される負荷に印加される電圧が、スイッチング開始タイミングから所定の電圧に達するまでの時間を測定して、指定された前記スイッチング時間に対応する前記制御電圧を検出して、
第1電圧値の電源電圧を発生する第1電源部と、
第2電圧値の電源電圧を発生する第2電源部と、を更に備え、
前記駆動部は、前記スイッチを第1状態から第2状態へ切り替える切替指示を受けたことに応じて、前記制御電圧を、前記第1電源部が発生した電力により前記第1電圧値まで変化させた後、前記第2電源部が発生した電力により、前記第1電圧値までの時間変化率より低い時間変化率で同方向に、前記第1電圧値から第2電圧値まで更に変化させる
試験装置。
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