JP5402316B2 - フォトマスク、及び光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
12 基板
14 レジスト膜
20、220 小領域
22、222 光透過領域
24、224 遮光領域
30、230 単位領域
240 設定領域
Claims (5)
- 光透過領域及び遮光領域の双方を有し、かつ露光装置の分解能に対応する面積より小さい面積の小領域であって、小領域内の前記光透過領域または前記遮光領域の面積を各々異ならせた複数の小領域を、階調毎に前記光透過領域または前記遮光領域の総面積が異なるように、階調に応じた組み合わせで単位領域内に配列したフォトマスク。
- 前記単位領域内に、組織的ディザ法または誤差拡散法を用いて前記小領域を配列した請求項1記載のフォトマスク。
- 光透過領域及び遮光領域の双方を有し、かつ露光装置の分解能に対応する面積より小さい面積の小領域を配列した単位領域であって、小領域内の前記光透過領域または前記遮光領域の面積を各々異ならせた複数の単位領域のそれぞれについて、前記単位領域内に設けられた階調毎に領域内に含まれる前記光透過領域または前記遮光領域の総面積が異なるように設定された設定領域以外の領域の前記光透過領域及び前記遮光領域を前記光透過領域または前記遮光領域のいずれか一方にしたフォトマスク。
- 前記小領域内に、組織的ディザ法または誤差拡散法を用いて前記光透過領域または前記遮光領域が配列された請求項3記載のフォトマスク。
- 光学素子が形成される基板上に形成された光感受性材料を、請求項1〜請求項4のいずれか1項記載のフォトマスクを透過させた光で露光して現像することにより三次元形状を形成し、
エッチング処理により、前記光感受性材料の三次元形状を前記基板に転写する、
光学素子の製造方法。
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