JP5401514B2 - 低減されたインデックスタイムのための検査システム及び方法 - Google Patents
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Description
図1を参照して、装置102を検査する従来のシステム100は、テスター104、テスター104に接続され、検査下にある装置102に対するといったリソース(たとえば検査プロトコル、信号、及びテスターにより実行される手順)をテスター104が利用可能にするインタフェースボード106、及びロボット式のハンドラー108を含む。装置102は、単一の装置であるか、又は同時の動作のためにテスター及びテスターリソースに同時に接続される複数の装置であることを理解されたい。または、単数の用語「装置“device”」は、そのように同時に接続され、同時に検査される装置を示すために本明細書では使用されることを理解されたい。ロボット式のハンドラー108は、テスター104に通信可能に接続される。インタフェースボード106は、テスター104に通信可能に接続される。インタフェースボード106は、検査の間に装置102を受けて保持するための1つのテストソケット110を含む。
1.半導体装置の自動化された検査装置(ATE)−例示的な実施の形態:
図6を参照して、デジタルデバイス検査装置600は、半導体チップ等を検査するために使用することができる。システム600は、従来の自動化された検査装置(ATE)602を含む。ATE602は、電源(図示せず)により駆動され、ATE602を介して適用可能な検査を制御及び実行するためにテストコンピュータ603を含む。ATE602は、電源604、グランド606、及びデジタルピンエレクトロニクス608,610,612,614,616のためのコネクタポートを有する。ATE602は、ATE602のコミュニケーションポート619でのコネクタ618を介して、デュアルマニピュレータアームを有するロボット式デバイスマニピュレータ630に通信可能に接続される。ロボット式デバイスハンドラー620は、コネクタ618を介して、ATE602からの信号及び検査情報を受信及び処理するためのロボット式のコントローラ622を含む。
図11を参照して、光デバイスを検査する別の検査システム1100は、テスター1102による連続的な検査を実行するため、類似のリレーエレメントを利用する。テスター1102は、CCDリセプタ及びCCDイメージプロセッサを有するイメージキャプチャ1104を含んでいる。イメージキャプチャ1104は、テスター1102のテストコンピュータ1108に接続される。また、テスター1102は、電源1106及びコネクション1110,1112,1114を含む。
Claims (2)
- 検査対象物を検査するテスターと、
検査を開始するために検査開始の信号を前記テスターに送出するコントローラと、
検査対象物が検査のために配置される第一のソケットを有する第一のインタフェースボードと、
検査対象物が検査のために配置される第二のソケットを有する第二のインタフェースボードと、
前記コントローラにより制御され、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第一のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第一のソケットに移動する第一のマニピュレータアームと、
前記コントローラにより制御され、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第二のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第二のソケットに移動する第二のマニピュレータアームと、
前記コントローラにより制御され、前記第一のインタフェースボード及び前記第二のインタフェースボードのそれぞれと、前記テスターとの間に設けられるスイッチであって、前記第一のソケットでの検査と前記第二のソケットでの検査との間で切替えを行うスイッチとを備え、
前記テスターは、それぞれの検査対象物の検査の終了時に、検査対象物が検査されたソケットを識別することなしに、検査終了の信号と共に、検査済みの検査対象物の検査結果を前記コントローラに送出し、
前記コントローラは、前記テスターからの検査終了の信号の受信に応答して、前記コントローラにより検出された前記第一のソケット又は前記第二のソケットにおける次の準備がされている検査対象物に切り替える制御信号を前記スイッチに送出し、
前記コントローラは、前記第二のソケットでの検査のときに、前記第一のマニピュレータアームを制御して前記第一のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせ、次に検査すべき検査対象物を前記第一のソケットに移動させ、前記第二のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第一のソケットに接続するように前記スイッチを制御し、
前記コントローラは、前記第一のソケットでの検査のときに、前記第二のマニピュレータアームを制御して前記第二のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせて、次に検査すべき検査対象物を前記第二のソケットに移動させ、前記第一のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第二のソケットに接続するように前記スイッチを制御する、
ことを特徴とする検査用システム。 - テスターが、検査対象物を検査するステップと、
コントローラが、検査を開始するために検査開始の信号を前記テスターに送出するステップと、
第一のインタフェースボードの第一のソケットに、検査のために検査対象物を配置するステップと、
第二のインタフェースボードの第二のソケットに、検査のために検査対象物を配置するステップと、
前記コントローラにより制御される第一のマニピュレータアームが、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第一のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第一のソケットに移動するステップと、
前記コントローラにより制御される第二のマニピュレータアームが、前記検査の終了に応じて検査済みの検査対象物を前記第二のソケットから取り除き、次に検査すべき検査対象物を第二のソケットに移動するステップと、
前記コントローラが、前記第一のインタフェースボード及び前記第二のインタフェースボードのそれぞれと、前記テスターとの間に設けられるスイッチを制御して、前記第一のソケットでの検査と前記第二のソケットでの検査との間で切替えを行うステップと、
前記テスターが、それぞれの検査対象物の検査の終了時に、検査対象物が検査されたソケットを識別することなしに、検査終了の信号と共に、検査済みの検査対象物の検査結果を前記コントローラに送出するステップと、
前記コントローラが、前記テスターからの検査終了の信号の受信に応答して、前記コントローラにより検出された前記第一のソケット又は前記第二のソケットにおいて次の準備がされている検査対象物に切り替える制御信号を前記スイッチに送出するステップと、
前記コントローラが、前記第二のソケットでの検査のときに、前記第一のマニピュレータアームを制御して前記第一のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせ、次に検査すべき検査対象物を前記第一のソケットに移動させ、前記第二のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第一のソケットに接続するように前記スイッチを制御するステップと、
前記コントローラが、前記第一のソケットでの検査のときに、前記第二のマニピュレータアームを制御して前記第二のソケットから検査済みの検査対象物を取り除かせて、次に検査すべき検査対象物を前記第二のソケットに移動させ、前記第一のソケットでの検査の終了に応じて、前記テスターを前記第二のソケットに接続するように前記スイッチを制御するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
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