JP5380366B2 - 透過型干渉顕微鏡 - Google Patents
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Description
電子線検出器22にて検出された干渉縞は即座にD/A変換器23を介し制御PC15で再生処理され、再生像がモニタ16に映し出される。再生処理は既に確立された方法が既知であるためここでは詳細を記載しない。
Claims (9)
- 荷電粒子線の光源と、前記光源から放出された電子線を試料に照射するための照射光学系と、前記光源と前記試料の間に照射系バイプリズムを備え、試料位置において真空位置と試料位置を独立に照射する機能を有し、前記試料を保持する機構と、前記試料の像を形成するための結像レンズ系と、前記結像レンズ系に1段以上の結像系バイプリズムを備え、試料位置において真空位置を通過した電子線と試料を透過した電子線の干渉縞を観察もしくは記録するための装置を備えることを特徴とする透過型干渉顕微鏡。
- 請求項1において、
二穴を有する対物絞りを備えることを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項1において、
照射系レンズ電流と連動し、前記照射系バイプリズムを光軸で回転させる機能を有することを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項2において、
照射系レンズ電流と連動し、前記対物絞りを光軸で回転させる機能を有することを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項2において、
前記二穴の位置関係は異なり、前記試料位置において真空位置を通過した電子線と試料を透過した電子線それぞれを通過させる位置であることを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項1において、
真空位置を通過した電子線と試料を透過した電子線の偏向角度を変化させることで、干渉縞の間隔を変化させる機能を有することを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項3において、
照射系レンズ電流と前記照射系バイプリズムの光軸回転を連動させる際に、特定の目的で、決められた連動動作をさせるための情報を記録する記憶部と、記録した情報を元に決められた連動動作を行わせることが可能な制御装置とを備えたことを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項4において、
照射系レンズ電流と、前記対物絞りの光軸回転を連動させる際に、特定の目的で、決められた連動動作をさせるための情報を記録する記憶部と、記録した情報を元に決められた連動動作を行わせることが可能な制御装置とを備えたことを特徴とする透過型干渉顕微鏡。 - 請求項1において、
結像系レンズ電流と前記結像系バイプリズムの光軸回転を連動させる際に、特定の目的で、決められた連動動作をさせるための情報を記録する記憶部と、記録した情報を元に決められた連動動作を行わせることが可能な制御装置とを備えたことを特徴とする透過型干渉顕微鏡。
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