JP7051591B2 - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
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電子線を放出する電子源と、前記電子線が照射される試料を保持する試料保持部と、前記試料を透過した電子線である物体波と前記物体波とは異なる経路の電子線である参照波を重ね合わせて干渉縞を形成させる電子バイプリズムとを備える透過電子顕微鏡であって、前記電子バイプリズムよりも電子線の進行方向の下流側に配置され、前記参照波に含まれる所定の空間周波数よりも高い成分を除去する除去素子を備えることを特徴とする。
干渉縞をフーリエ変換することなく、加減乗除演算により位相差が求められることが縞走査法の特徴である。
Claims (9)
- 電子線を放出する電子源と、
前記電子線が照射される試料を保持する試料保持部と、
前記試料を透過した電子線である物体波と前記物体波とは異なる経路の電子線である参照波を重ね合わせて干渉縞を形成させる電子バイプリズムとを備える透過電子顕微鏡であって、
前記電子バイプリズムよりも電子線の進行方向の下流側に配置され、前記参照波に含まれる所定の空間周波数よりも高い成分を除去する除去素子を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記除去素子は、前記参照波の一部が通過する円形の孔を有する絞り板であることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項2に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記絞り板は、前記物体波が通過する孔をさらに有する絞り板であることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記物体波が通過する孔は、前記参照波の一部が通過する孔よりも大きいことを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記絞り板は、前記物体波が通過する孔と、前記参照波の一部が通過する孔との距離が異なる組合せを複数有することを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項2に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記孔の大きさは、前記所定の空間周波数に応じて定められることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記除去素子は、前記参照波と前記物体波の位相差を変調することを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記除去素子は、前記参照波と前記物体波とが空間的に分離される位置に配置されることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過電子顕微鏡であって、
前記電子バイプリズムよりも電子線の進行方向の下流側に配置され、前記参照波と前記物体波の位相差を変調する変調素子をさらに備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。
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