JP5379197B2 - グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
図1及び図2を参照すると、本実施例のグラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体10の製造方法は、第一表面102及び該第一表面102に対向する第二表面104を有する金属基材100を提供するステップS11と、前記金属基材100の第一表面102にグラフェン構造体110を成長させるステップS12と、自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体14を提供して、前記グラフェン構造体110の、前記金属基材100に隣接する表面とは反対の表面に前記カーボンナノチューブ構造体14を隣接させて、前記グラフェン構造体110を前記金属基材100と前記カーボンナノチューブ構造体14との間に設置して、基材−グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体を形成するステップS13と、前記金属基材の少なくとも一部を除去し、グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体を形成するステップS14と、を含む。
図13及び図14を参照すると、本実施例のグラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体20の製造方法は、第一表面202及び該第一表面202に対向する第二表面204を有する金属基材200を提供するステップS21と、前記金属基材200の第一表面202にグラフェン構造体210を成長させるステップS22と、自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体24を提供して、前記グラフェン構造体210の、前記金属基材200に隣接する表面とは反対の表面に前記カーボンナノチューブ構造体24を隣接させて、前記グラフェン構造体210を前記金属基材200と前記カーボンナノチューブ構造体24との間に設置して、基材−グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体を形成するステップS23と、高分子材料層230を前記カーボンナノチューブ構造体24の、前記グラフェン構造体210隣接する表面とは反対の表面に被覆して、基材−グラフェン−カーボンナノチューブ−高分子材料複合構造体に形成するステップS24と、エッチングによって、前記金属基材200をパターニングするステップS25と、を含む。実施例1と比べると、本実施例において、グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体20の製造方法の異なる点は、前記ステップS24において、前記カーボンナノチューブ構造体24の、前記グラフェン構造体210に隣接する表面とは反対の表面に高分子材料層230を被覆することである。
図16を参照すると、実施例1と比べると、本実施例におけるグラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体30の製造方法の異なる点は、金属基材200がエッチングによって形成された複数の帯状電極306が、相互に交差してネットワーク状構造体を形成することである。
図17及び図18を参照すると、本実施例のグラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体40の製造方法は、第一表面402及び該第一表面402に対向する第二表面404を有する金属基材400を、提供するステップS41と、前記金属基材400の第一表面402にグラフェン構造体410を成長させるステップS42と、高分子材料層430を前記グラフェン構造体410の、前記金属基材400に隣接する表面とは反対の表面に被覆するステップS43と、前記金属基材400をエッチングして、複数の帯状電極406に形成し、基材−グラフェン−高分子材料複合構造体450に形成するステップS44と、自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体44を提供して、前記高分子材料層の、前記グラフェン構造体410に隣接する表面とは反対の表面に被覆するステップS45と、含む。
14、24、34、44 カーボンナノチューブ構造体
100、200、400 金属基材
102、202、402 第一表面
104、204、404 第二表面
106、206、306、406 帯状電極
110、210、310、410 グラフェン構造体
120、220、420 犠牲層
124、424 溝
230、330、430 高分子材料層
140、340、143a カーボンナノチューブフィルム
142、143b カーボンナノチューブセグメント
144 帯状カーボンナノチューブ構造体
145 カーボンナノチューブ
146 超配列カーボンナノチューブアレイ
148、348 微孔
50 熱圧装置
52 加圧装置
460 支持体
450 基材−グラフェン−高分子材料複合構造体
Claims (2)
- 第一表面及び該第一表面に対向する第二表面を有する金属基材を提供する第一ステップと、
前記金属基材の第一表面にグラフェン構造体を成長させる第二ステップと、
自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、前記グラフェン構造体の、前記金属基材に隣接する表面とは反対の表面に前記カーボンナノチューブ構造体を隣接させて、前記グラフェン構造体を前記基材と前記カーボンナノチューブ構造体との間に設置して、基材−グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体を形成する第三ステップと、
前記基材の少なくとも一部を除去し、グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体を形成する第四ステップと、
を含むことを特徴とするグラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法。 - 第一表面及び該第一表面に対向する第二表面を有する金属基材を提供する第一ステップと、
前記金属基材の第一表面にグラフェン構造体を成長させる第二ステップと、
自立構造を有するカーボンナノチューブ構造体を提供して、前記グラフェン構造体の、前記基材に隣接する表面とは反対の表面に前記カーボンナノチューブ構造体を隣接させて、前記グラフェン構造体を前記基材と前記カーボンナノチューブ構造体との間に設置して、基材−グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体を形成する第三ステップと、
高分子材料層を前記カーボンナノチューブ構造体の、前記グラフェン構造体に隣接する表面とは反対の表面に被覆して、前記基材−グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体と結合する第四ステップと、
エッチングによって、前記金属基材をパターニングする第五ステップと、
を含むことを特徴とするグラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法。
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