JP5376338B2 - 回転角検出装置 - Google Patents

回転角検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5376338B2
JP5376338B2 JP2010260233A JP2010260233A JP5376338B2 JP 5376338 B2 JP5376338 B2 JP 5376338B2 JP 2010260233 A JP2010260233 A JP 2010260233A JP 2010260233 A JP2010260233 A JP 2010260233A JP 5376338 B2 JP5376338 B2 JP 5376338B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
value
predetermined
actual output
correction
output value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010260233A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012112711A (ja
Inventor
彰利 水谷
久保田  貴光
龍生 田村
河野  禎之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2010260233A priority Critical patent/JP5376338B2/ja
Publication of JP2012112711A publication Critical patent/JP2012112711A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5376338B2 publication Critical patent/JP5376338B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

本発明は、回転角検出装置に関する。
従来、磁石などの磁気発生手段およびホール素子などの磁束密度検出手段の一方を検出対象に設置し、検出対象が回転移動したときの磁気発生手段の磁気を磁束密度検出手段で検出することにより、検出対象の回転角度を検出する回転角検出装置が知られている。
例えば特許文献1に開示される回転角検出装置は、磁気発生手段としての磁石、磁束密度検出手段としての磁束密度センサ、および、処理部としての信号処理部を備え、信号処理部で補正演算を行う。信号処理部は、予め設定された補正点に対応する所定値(電圧レベル)に基づいて、磁束密度センサの出力信号に基づいた実出力電圧を補正する。ここで、予め設定された各種補正点は、等間隔で設定されている。
特開2002−206911
ところで、補正点の間隔が一定である場合、出力信号の非線形性は改善されず、実出力電圧の誤差は回転角度の直線性誤差として残される。また、補正点を増やし、補正点の間隔を狭くすることで実出力電圧の非線形性は補正されるが、補正点の数が増えることで、回路規模の大型化につながり、部品コスト等が増大する。
本発明は上記の問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、非線形性を改善し、直線性誤差を低減する回転角検出装置を提供することにある。
請求項1に係る発明による回転角検出装置は、磁気発生手段、磁気検出手段、処理部、および、記憶手段を備える。磁気検出手段は、磁気発生手段に対して相対回転することにより生じる磁束密度の変化に応じた信号を出力する。処理部は、磁気検出手段の信号に対応する実出力値を補正し、補正された値に基づいて磁気検出手段と磁気発生手段との相対回転角を算出して出力する。記憶手段は、処理部で使われるデータを記憶する。
処理部は、所定範囲内で予め設定されたn(nは自然数)個の補正点に対応する所定値、および、所定値に対応する所定補正値に基づいて実出力値を補正する。また、n個の補正点のうち互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率を表す曲線は、実出力値に対応する正弦波曲線の位相を180°ずらした正弦波曲線の一部に近似する。
これにより、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率は徐々に小さくなる。このため、補正点は、値が小さい所定値間の差よりも値が大きい所定値の差が小さくなるよう設定される。よって、実出力値の最小値側よりも実出力値の最大値側に補正点が多く設定されている。
ところで、実出力値に対応する正弦波曲線は、実出力値の最小値側よりも実出力値の最大値側のカーブが大きい。そのため、補正点は正弦波曲線のカーブが比較的大きい実出力値の最大値側に多く設定され、正弦波曲線の非線形性の増加する傾向が相殺される。したがって、このように補正点を設定することで実出力値に対する非線形性を改善し、直線性誤差を効果的に低減することができる。よって、回転角検出装置の補正精度を向上させることができる。
請求項2に係る発明によると、処理部は、実出力値に補正値を加算または減算することで実出力値を補正する。実出力値と補正点の所定値とが一致する場合、補正値として所定補正値を代入して、実出力値を補正する。
また、実出力値と補正点の所定値とが異なる場合、補正値として、実出力値に最も近い二つの補正点、および、等該二つの補正点に対応する所定補正値に基づいて算出された演算補正値を代入して、実出力値を補正する。
これにより、実出力値が補正点の間の値であっても、補正を行うことができる。
請求項3に係る発明によると、実出力値に基づき、所定補正値を算出する所定補正値算出手段をさらに備える。
これにより、回転角検出装置内で所定補正値を更新することで、例えば、磁気発生手段と磁気検出手段との位置がずれたとしても、所定補正を適切な値にすることができる。したがって、回転角検出装置の補正精度を長期に亘り回転角検出装置のみで維持することができる。
請求項4に係る発明によると、磁気発生手段に対して相対回転することにより生じる磁束密度の変化に応じて磁気検出手段が出力する実出力値は正弦波曲線である。
本発明の第1実施形態の回転角検出装置を示す模式図。 本発明の第1実施形態の回転角検出装置の処理回路を示す模式図。 本発明の第1実施形態の回転角検出装置の記憶手段に記憶されたデータを示す図。 本発明の第1実施形態の回転角検出装置の磁気検出手段の実出力値に対応する正弦波を示す図。 図4の正弦波を180°ずらした正弦波を示す図。 本発明の第1実施形態の回転角検出装置の補正点に対応する所定値の差の変化率を表す図。 (a)は本発明の第1実施形態の回転角検出装置の磁気検出手段の実出力値、および、実出力値の理想補正結果となる値の集合を表す図、(b)は(a)の枠b内の内容を拡大して示した図。 本発明の第1実施形態の回転角検出装置の検出結果の直線性誤差を示す図。 従来の回転角検出装置の補正点に対応する所定値の差の変化率を示す図。 従来の回転角検出装置の検出結果の直線性誤差を示す図。
以下、本発明の複数の実施形態による回転角検出装置を図面に基づいて説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態による回転角検出装置を図1に示す。回転角検出装置1は、検出対象としての例えばスロットルの弁軸の回転角度を検出する装置である。回転角検出装置1は、永久磁石20、および、ホール素子11とデジタルシグナルプロセッサ(以下、DSPという)12とメモリ13とを含むホールIC10等を備えている。
永久磁石20は、スロットルの弁軸に設けられたヨーク30に取り付けられている。ここで、永久磁石20は特許請求の範囲における「磁気発生手段」に相当する。永久磁石20は、検出対象の回転に伴ってホールIC10に対して相対的に回転可能に設けられている。
ホール素子11は、半導体薄膜で形成されており、特許請求の範囲における「磁気検出手段」に相当する。また、ホール素子11は、磁束密度の変化に対応する信号を出力する。
DSP12は、デジタル信号処理に特化したものであり、ホール素子11から出力され、デジタル信号に変換された値に対し補正処理および回転角演算処理等の処理を行う。DSP12は特許請求の範囲における「処理部」に相当する。
メモリ13は、例えば、読み出し専用メモリ、および、書き込みおよび消去可能なメモリを含み、DSP12で使われる各種データが記憶されている。メモリ13は特許請求の範囲における「記憶手段」に相当する。
本実施形態の場合、ホールIC10は、図2に示すように、ホール素子11とDSP12とメモリ13との他に、アナログ−デジタル変換回路(以下、ADCという)14、および、デジタル−アナログ変換回路(以下、DACという)15などを内蔵したICチップである。ホールIC10はホール素子11の感磁面が中心軸O上に位置するよう設けられている(図1参照)。
続いて、回転角検出装置1の作動について説明する。
ホール素子11は、永久磁石20に対して中心軸Oの周りを相対回転することにより生じる磁束密度の変化に応じた信号を出力する。ADC14は、ホール素子11が出力するアナログ値をデジタル値に変換し、DSP12に伝送する。以下、ADC14によって変換されたデジタル値を単に実出力値という。DSP12は、ホール素子11からの出力値に対し補正処理および回転角演算処理等を行う。また、DSP12は、処理結果をDAC15に伝送する。DAC15は、DSP12から伝送されたデジタル値をアナログ値に変換し出力する。
ここで、DSP12による補正処理について詳細に説明する。
本実施形態の場合、予め、例えば16個の補正点を設定し、16個の補正点に対応する所定値に基づいて実出力値を補正する。メモリ13には、各補正点に対応する所定値A(0)〜A(15)および所定補正値K(0)〜K(15)が記憶されている。図3に示すように、所定値A(0)〜A(15)と所定補正値K(0)〜K(15)とはそれぞれ対応付けられている。また、所定値A(0)〜A(15)は、いずれもホール素子11の実出力値(電圧レベル)の範囲内の値である。ここで、特許請求の範囲における「所定範囲」は、ホール素子11の実出力値の範囲に相当する。
DSP12は、所定値A(0)〜A(15)、および、所定補正値K(0)〜K(15)に基づいて、ホール素子11の実出力値を補正する。
実出力値が所定値A(0)〜A(15)のうち、いずれか一個と一致する場合、実出力値と一致する所定値に対応する所定補正値を、実出力値から減算することで実出力値を補正する。例えば、実出力値がA(3)と一致する場合、図3に示すように、A(3)に対応する所定補正値がK(3)であるため、実出力値はA(3)−K(3)と補正される。
また、実出力値が所定値A(0)〜A(15)のいずれとも異なる場合、実出力値に対応する演算補正値を、実出力値から減算することで実出力値を補正する。演算補正値K
は、実出力値を間にとる二つの所定値、および、この二つの所定値に対応する所定補正値を用いて下記の式2によって一次補間を行うことで算出される。
{K(n)−K(n−1)}/{A(n)−A(n−1)}={K−K(n−1)}/{A−A(n−1)} ・・・式1
K={K(n)−K(n−1)}/{A(n)−A(n−1)}×{A−A(n−1)}+K(n−1) ・・・式2
例えば、実出力値が所定値A(3)と所定値A(4)との間の値Aである場合、この実出力値Aに対応する演算補正値をKとする。ここで、実出力値A、所定値A(3)、所定値A(4)、所定補正値K(3)、および、所定補正値K(4)を式1に代入すると、式3がられる。
{K(4)−K(3)}/{A(4)−A(3)}={K−K(3)}/{A−A(3)} ・・・式3
式3により下記の式4が得られる。
K=[{K(4)−K(3)}/{A(4)−A(3)}]×{A−A(3)}+K(3) ・・・式4
また、実出力値はA−Kに補正されるため、実出力値は以下の式5による計算値に補正される。
A−[{K(4)−K(3)}/{A(4)−A(3)}]×{A−A(3)}−K(3) ・・・式5
このように、DSP12は、一次補間処理によって算出された演算補正値を、実出力値から減算することで実出力値を補正し、回転角を算出する。
以下、補正点の設定および所定補正値の算出について詳細に説明する。
本実施形態では、外部のコンピュータを用いて補正点に対応する所定値および所定補正値を算出する。
まず、スロットルの回転角度毎に、ホール素子11から出力された実出力値を取得する。そして、スロットルの回転角度、および、スロットルの回転角度毎に取得した実出力値を用いてホール素子11の実出力値に対応する正弦波を取得する。
本実施形態の場合、ホール素子11が中心軸O上に設けられているため、例えば永久磁石20がホールIC10の周りを360°回転したとき、ホール素子11の実出力値に対応する正弦波は、図4に示す正弦波100のとおりとなる。
また、本実施形態では、検出対象が電子スロットルの弁軸であり、その作動角度範囲は例えば−10°〜80°である。ここで、永久磁石20とホールIC10とは、予め、回転角度が−10°である場合にホール素子11の実出力値が0となるよう、位置関係を設定する(図7(a)参照)。本実施形態の場合、回転角検出装置は、−10〜80°の範囲内で使用される。そのため、ホール素子11の出力は図4の曲線101に対応する。
図4に示した正弦波100の位相を回転角度軸に沿って180°ずらすと、図5に示すような正弦波200が得られる。ここで、正弦波200の−10°〜80°範囲内の曲線を曲線201とする。
曲線201の形状と概ね一致する曲線301を図6に示す。図6に示すように、横軸には、番号M1〜M15が等間隔に設定されている。番号M1〜M15は、互いに隣り合う二つの補正点に対応する所定値の差に対応する番号である。本実施形態では、番号M1が所定値A(1)と所定値A(0)との差に対応し、番号M2が所定値A(2)と所定値A(1)との差に対応し、・・・番号M15が所定値A(15)と所定値A(14)との差に対応する。また、曲線301の上には、番号M1〜M15に対応する点Z1〜Z15が設定されている。点Z1〜Z15は、縦軸の座標値が最も大きい点Z1が番号M1と対応し、縦軸の座標値が最も小さい点Z15が番号M15と対応するよう設定されている。ここで、点Z1は縦軸の座標値が1であり、点Z15は縦軸の座標値が0に近い値に設定されている。
本実施形態では、曲線301の上の点Z1〜Z15の縦軸の座標値は、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率を表す。例えば、点Z1の縦軸の座標値は、所定値A(1)と所定値A(0)との差と、所定値A(1)との比である。また、点Z2の縦軸の座標値は、所定値A(2)と所定値A(1)との差と、所定値A(1)との比である。このように、「互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率」というのは、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差と所定値A(1)との比をいう。本実施形態の場合、0を所定値A(0)とし、永久磁石20とホールIC10との相対回転角度が0°である場合、ホール素子11の実出力値を所定値A(1)とする。
所定値A(1)、および、点Z1〜Z15の縦軸の変化率を出力座標軸に割り付けて所定値A(2)〜A(15)を算出し、これらの所定値A(0)〜A(15)に対応する補正点がそれぞれ設定される。また、補正点に対応する所定値A(0)〜A(15)をメモリに書き込む。
図7(a)は、曲線101を拡大して示した図である。図7(a)に示すように、曲線101の両端の点P0とP15を直線で結ぶと、直線102が得られる。直線102は、実出力値の理想補正結果とする値に対応する直線である。曲線101の上の点P0〜P15の出力値軸の座標値は、所定値A(0)〜A(15)と一致する。ここで、特許請求の範囲における「補正点」は、点P0〜P15に相当する。直線102の上の点P16〜P29と点P1〜P14とは、同じ回転角度を有する。ここで、点P1〜P14の出力値軸の座標値と、点P16〜P29の出力値軸の座標値との差が、所定値A(1)〜A(14)に対応する所定補正値K(1)〜K(14)に相当する。また、本実施形態の場合、曲線101と直線102とは、出力値軸の座標値がA(0)である点P0、および、出力値軸の座標値がA(15)である点P15で重なる。よって、所定値A(0)に対応する所定補正値K(0)、および、所定値A(15)に対応する補正値K(15)は0となる。
所定補正値K(0)〜K(15)は、所定値A(0)〜A(15)に対応付けられて、メモリ13に書き込まれる。
以上説明したように本実施形態では、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率を表す曲線301は、実出力値に対応する正弦波100を180°ずらして得られた正弦波200の−10°〜80°範囲内の曲線201と概ね一致する。これにより、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率は徐々に小さくなる。このため、所定値A(0)〜A(15)は、値が小さい所定値間の差よりも値が大きい所定値間の差が小さくなるよう設定される。よって、実出力値の最小値側よりも実出力値の最大値側に所定値が多く設定されている。
ところで、正弦波曲線である実出力値に対応する曲線101は、実出力値の最小値側よりも実出力値の最大値側のカーブが大きい。そのため、補正点は曲線101のカーブが比較的大きい実出力値の最大値側に多く設定され、曲線101の非線形性の増加する傾向が相殺される。特に、実出力値の正弦波曲線に対応するように互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率を出力軸に割付けて補正点を設定することで正弦波曲線である実出力値に対する非線形性を改善し、直線性誤差を効果的に低減することができる。よって、実出力値に対する補正精度を向上させることができる。
図7(b)に示すように、点Pは曲線101の上の点であり、点PLは直線102の上の点である。ここで、点Pの出力軸の座標値はAであり、点PHの出力軸の座標値は式5である。つまり、点PHの出力軸の座標値は、点Pの出力軸の座標値はAに対して一次補間処理を行って得られた値である。図7(b)に示すように、点PHと点PLとは略重なっている。このように、本実施形態の補正点に対応する所定値A(0)〜A(15)に基づいて、回転角検出装置1の実出力値に対して非線形性を低減可能に補正することができる。
図8は、本実施形態の補正点に対応する所定値A(0)〜A(15)および所定補正値K(0)〜K(15)を用いて実出力値を補正し、回転角度を算出するときの直線性誤差を示す。図8に示すように、本実施形態の場合、直線性誤差は±0.2%以内に抑制され、70°以下では0.1%以内に抑制されている。図9は等間隔で設定された従来の補正点の所定値の差の変化率を示している。図10は補正点を等間隔に設定した従来の回転角検出装置1の直線性誤差を示している。ここで、図8と図10とを比較すると、本実施形態の回転角検出装置1は、従来の回転角検出装置より、直線性誤差を抑制する効果が高いことがわかる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態の回転角検出装置について説明する。
本実施形態では、メモリ13の中に所定補正値K(0)〜K(15)を算出するプログラムが書き込まれている。第1実施形態のDSPの代わりにマイクロコンピュータを設置し、メモリに書き込まれているプログラムによって、必要な時に所定補正値を更新することができる。
これにより、例えば、予め設定された永久磁石20とホール素子11との相対位置関係がずれた場合、新しい相対位置関係に対応する新しい所定補正値を算出することで誤差を抑制することができる。したがって、回転角検出装置の高い補正精度を長期に亘り、維持することができる。
(他の実施形態)
第1の実施形態では、DSPが補正演算するとしているが、DSPの代わりにマイクロコンピュータを設置し、メモリに記憶された補正演算等のプログラムを読み出して、マイクロコンピュータで補正演算してもよい。
上記実施形態では、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率は、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差と、所定値A(1)との比と定義されている。これに対し、他の実施形態では、互いに隣り合う二つの補正点の所定値の差の変化率は、例えば、n個の補正点のうち、第(n+1)補正点の所定値と第n補正点の所定値との差と、第n補正点の所定値と第(n−1)補正点の所定値との差との比と定義する構成としても良い。
上記実施形態では、16個の補正点を設定し、メモリに16個の所定値が記憶されている。これに対し、他の実施形態では補正点および所定値の数を増やしても良いし、減らしても良い。
また上記実施形態では、実出力値が所定値A(0)〜A(15)のうち、いずれか一個と一致する場合、実出力値と一致する所定値に対応する所定補正値を、実出力値から減算することで実出力値を補正するとしているが、実出力値である正弦波曲線の使用範囲が負側の角度へ拡大した場合や、メモリに保存する補正値Kの符号をマイナスにする場合などでは、補正値を加算することで実出力値を補正してもよい。
上記実施形態では、補正点の変化率の最小値が0に近い値に設定されている。これに対し他の実施形態では、補正点の変化率の最小値を0に設定する構成としても良い。
以上説明した本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
1 ・・・磁気検出装置
11・・・ホール素子(磁気検出手段)
12・・・DSP(処理部)
13・・・メモリ(記憶手段)
20・・・永久磁石(磁気発生手段)

Claims (4)

  1. 磁気発生手段と、
    前記磁気発生手段に対して相対回転することにより生じる磁束密度の変化に応じた信号を出力する磁気検出手段と、
    前記磁気検出手段の前記信号に対応する実出力値を補正し、補正された値に基づいて前記磁気検出手段と前記磁気発生手段との相対回転角を算出して出力する処理部と、
    前記処理部で使われる各種プログラムおよびデータを記憶する記憶手段と、
    を備え、
    前記処理部は、所定範囲内で予め設定されたn(nは自然数)個の補正点に対応する所定値、および、前記所定値に対応する所定補正値に基づいて前記実出力値を補正し、
    n個の前記補正点のうち互いに隣り合う二つの前記補正点の前記所定値の差の変化率を表す曲線は、前記実出力値に対応する正弦波曲線の位相を180°ずらした正弦波曲線の一部に近似することを特徴とする回転角検出装置。
  2. 前記処理部は、前記実出力値に補正値を加算または減算することで前記実出力値を補正し、
    前記実出力値と前記所定値とが一致する場合、前記補正値として前記所定補正値を代入して、前記実出力値を補正し、
    前記実出力値と前記所定値とが異なる場合、前記補正値として、前記実出力値に最も近い二つの前記所定値、および、当該二つの所定値に対応する前記所定補正値に基づいて算出された演算補正値を代入して、前記実出力値を補正することを特徴とする請求項1に記載の回転角検出装置。
  3. 前記実出力値に基づき、前記所定補正値を算出する所定補正値算出手段をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の回転角検出装置。
  4. 前記磁気発生手段に対して相対回転することにより生じる磁束密度の変化に応じて前記磁気検出手段が出力する実出力値は正弦波曲線であることを特徴とする請求項1、2、3のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
JP2010260233A 2010-11-22 2010-11-22 回転角検出装置 Active JP5376338B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010260233A JP5376338B2 (ja) 2010-11-22 2010-11-22 回転角検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010260233A JP5376338B2 (ja) 2010-11-22 2010-11-22 回転角検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012112711A JP2012112711A (ja) 2012-06-14
JP5376338B2 true JP5376338B2 (ja) 2013-12-25

Family

ID=46497096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010260233A Active JP5376338B2 (ja) 2010-11-22 2010-11-22 回転角検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5376338B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5692607B2 (ja) 2012-07-05 2015-04-01 株式会社デンソー 位置検出装置、およびその製造方法
JP5839238B2 (ja) * 2013-04-11 2016-01-06 株式会社デンソー 回転角検出装置
JP6406091B2 (ja) * 2015-03-27 2018-10-17 株式会社デンソー 可変バルブシステム

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3491577B2 (ja) * 1999-10-27 2004-01-26 株式会社デンソー 回転角検出装置
JP3777096B2 (ja) * 2001-01-11 2006-05-24 矢崎総業株式会社 回転位置センサ
JP5262126B2 (ja) * 2008-01-21 2013-08-14 セイコーエプソン株式会社 トランスデューサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012112711A (ja) 2012-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4713123B2 (ja) エンコーダ出力信号補正装置
JP6484008B2 (ja) エンコーダ及び回転角度位置算出方法
JP6005781B2 (ja) レゾルバ装置
JP4858837B2 (ja) 回転角度検出装置
JP7381707B2 (ja) 検出装置、方法、システム、算出装置、および算出方法
JP2010216961A (ja) エンコーダ出力信号補正装置及び方法
JP6624446B2 (ja) 内挿方法及び内挿装置
JP2014025871A (ja) エンコーダ出力信号補正装置
JP5376338B2 (ja) 回転角検出装置
JP6352540B2 (ja) 検出装置、回転角度検出装置、検出方法、およびプログラム
JP5176208B2 (ja) 回転角度検出方法および回転角度センサ
JP5327656B2 (ja) 物理量検出装置、および物理量検出装置の検査方法
JP2008304249A (ja) エンコーダ信号処理装置およびその信号処理方法
JP2007218667A (ja) エンコーダのオフセット補正回路
JP5842334B2 (ja) エンコーダ装置、及び駆動装置
JP5857347B2 (ja) エンコーダ
JP2010071783A (ja) 光学式エンコーダ
JP5190644B2 (ja) エンコーダの誤差補正方法
JP2013238431A (ja) レゾルバ装置
JP2013205366A (ja) 位置検出器
JP2004333156A (ja) エンコーダ信号内挿分割器
JP5125320B2 (ja) エンコーダの補正値制御方法
US20220412782A1 (en) Calibration apparatus, calibration method, and non-transitory computer readable medium having recorded thereon calibration program
JP2010014646A (ja) 計測装置
JP2004108774A (ja) 光学式エンコーダの位置検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130129

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130823

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130830

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130912

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5376338

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250