JP5375503B2 - 屈曲振動片 - Google Patents
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また、緩和層は、その線膨張係数が、屈曲基板および圧電膜のそれぞれの線膨張係数と比べて、小さい方の線膨張係数より大きな値であり、大きい方の線膨張係数より小さな値である中間値となっている。屈曲基板へ圧電膜を直接形成する場合、熱の作用を利用することが多く、屈曲基板と圧電膜との線膨張係数の違いにより、剥離等が生じやすくなる。これに対し、屈曲基板と圧電膜との間に緩和層を設けることにより、熱が作用しても、屈曲基板と圧電膜との線膨張係数の違いによる、境界面での残留応力や歪による位置ズレ等を緩和でき、圧電膜は、緩和層を介して屈曲基板と密着性良く形成することが可能である。なお、この場合中間値が、屈曲基板の線膨張係数と圧電膜の線膨張係数との間における中心値近傍の値であれば、屈曲基板と緩和層との線膨張係数の差と、緩和層と圧電膜との線膨張係数の差と、がほぼ等しくなり、それぞれの境界面において、残留応力や歪等が緩和されてほぼ同等になり、密着性の観点においてはより好ましい。
(実施形態)
Claims (6)
- 基部と、該基部から突出して形成された振動腕と、を有する屈曲基板と、前記振動腕に形成された下部電極と、該下部電極に重ねて形成された圧電膜と、該圧電膜に重ねて形成された上部電極と、を備えている屈曲振動片であって、
少なくとも前記屈曲基板と前記圧電膜との間に緩和層をさらに備え、該緩和層は、前記屈曲基板または前記圧電膜のいずれかを構成する元素を一種以上含み、
前記緩和層の線膨張係数は、前記屈曲基板の線膨張係数と前記圧電膜の線膨張係数との中間値であることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1に記載の屈曲振動片において、
前記緩和層は、前記屈曲基板を構成する元素と前記圧電膜を構成する元素とをそれぞれ一種以上含むことを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1または2に記載の屈曲振動片において、
前記屈曲基板は、水晶であることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の屈曲振動片において、
前記圧電膜は、窒化アルミニウムまたは酸化亜鉛であることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の屈曲振動片において、
前記緩和層は、酸素原子を含む酸化物誘電体であることを特徴とする屈曲振動片。 - 請求項5に記載の屈曲振動片において、
前記緩和層は、酸化チタニウム、二酸化珪素、酸化アルミニウムのいずれかであることを特徴とする屈曲振動片。
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