JP5374061B2 - 電子部品用焼成炉とその炉圧制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態を示す概略フロー図である。図において、1は電気炉からなる電子部品を焼成するためのバッチ式の焼成炉本体である。この焼成炉本体1の天井部2には、ガス流量調整用のダンパー機構5を備えた排ガス放出用の排気ダクト3と、熱交換器7に通じる連結ダクト4が設けられている。
なお、10は循環路8に設けられたブロワー、11は循環路8の開閉弁である。
なお、6aは前記炉圧調整弁5aを稼動するためのモータ、6bは排出口シール弁5bを稼動するためのモータである。
本発明では、例えばセラミックチップコンデンサー等の電子部品をバッチ式で焼成する。この際、炉内の雰囲気を均一化するために、炉内圧力を例えば2KPaに制御しながら焼成を行うため、炉内を所定のガス濃度とするように雰囲気ガスの供給を行っている。そして、定常的に排気を行い、この排気量によって炉内圧力の調整をする点は従来の焼成方法と基本的には同じである。
次いで、脱バインダー処理が終了した後は、ダンパー機構5を閉じ、排気ダクト3への排ガスの流入を止めて循環路の流通のみで炉圧の制御を行う。即ち、800℃以上の高温度の排ガスは、連結ダクト4を通じて全て熱交換器7へ導入されることとなり、ここで約60℃まで冷却処理され、その後は循環路8を通じて再び焼成炉本体1に循環供給される。この間、炉圧制御器9は、焼成炉本体1からの炉内圧力値のデータに基いて、循環路内を流通するガス量を調整し、焼成炉本体1の炉圧を一定にするように制御することとなる。この場合、熱交換器7に導入される排ガスにはバインダーガスを含まないため、熱交換器内にタールが発生することがなく、熱交換率を落とすこともない。
焼成が終了したら、焼成炉本体1から電子部品を取り出し、次の新たな被焼成品を入れて、同様にバッチ式処理で焼成する。
炉内圧力は、1.2KPaとなるように設定し、起動時(約30℃)から脱バインダー処理が終了(約800℃)するまでは、循環路8への排ガスの流入を止め、また開閉弁11は閉じて排気ダクト3の排気のみで炉圧の制御を行った。次いで、脱バインダー処理が終了した後は、ダンパー機構5を閉じ、排気ダクト3への排ガスの流入を止めて循環路の流通のみで炉圧の制御を行った。これにより、高温度の排ガスは、連結ダクト4を通じて全て熱交換器7へ導入されることとなり、ここで約60℃まで冷却処理され、その後は循環路8を通じて再び焼成炉本体1に循環供給されるようにした。
炉内圧力と焼成時間の関係のデータを採った結果は、図3の新方式として示すとおり、炉内圧力は、設定値である1.2KPaにほとんど一致し、長期間にわたり安定して炉内圧力を制御することができることが確認できた。
なお、炉内圧力調整用の排気バルブが天井部に1個だけ設置されている従来の焼成炉によって同一の温度条件および同一の雰囲気ガス給気条件で焼成した場合の、炉内圧力と焼成時間の関係のデータを採った結果は、図3の従来方式として示すとおり、設定値の1.2KPaに対して大きくバラツキがあり、炉内圧力の制御が不安定であることが確認できた。
2 天井部
3 排気ダクト
4 連結ダクト
5 ダンパー機構
5a 圧調整弁
5b 排出口シール弁
7 熱交換器
8 循環路
9 炉圧制御器
10 ブロワー
Claims (3)
- 焼成炉本体の天井部に、ガス流量調整用のダンパー機構を備えた脱バインダー処理の終了前でバインダーガスを含んだ排ガス放出用の排気ダクトと、熱交換器に通じて脱バインダー処理の終了後でバインダーガスを含まない排ガス搬送用の連結ダクトを設け、この連結ダクトを通じて導入されたバインダーガスを含まない焼成炉本体の排ガスを熱交換器で冷却した後、この冷却したガスを再び焼成炉本体に戻す循環路を形成するとともに、この循環路には炉圧制御器を設けたことを特徴とする電子部品用焼成炉。
- ダンパー機構が、炉圧調整弁と排出口シール弁を有する2段構造となっている請求項1に記載の電子部品用焼成炉。
- 請求項1に記載の電子部品用焼成炉の炉圧を制御する方法であって、起動時から脱バインダー処理が終了するまでは、循環路への排ガスの流入を止めて排気ダクトの排気のみで炉圧の制御を行い、次いで、脱バインダー処理が終了した後は、排気ダクトへの排ガスの流入を止めて循環路の流通のみで炉圧の制御を行うことを特徴とする電子部品用焼成炉の炉圧制御方法。
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