JP5403987B2 - 雰囲気炉 - Google Patents
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Description
バッチ式の炉本体と、
前記炉本体と連通する第1の排気ダクトと、
前記第1の排気ダクトを閉塞状態から連続的に開放し、前記第1の排気ダクトから排気する排気ガスの流量を調整する第1のダンパー機構と、
前記炉本体と連通する第2の排気ダクトと、
前記第2の排気ダクトを閉塞状態から連続的に開放し、前記第2の排気ダクトから排気する排気ガスの流量を調整する第2のダンパー機構とから構成され、
第1のダンパー機構と第2のダンパー機構を、それぞれ制御するように構成した雰囲気炉であって、
さらに、炉本体の炉内圧力を測定する圧力センサーと、
前記圧力センサーが測定した圧力情報に基づき、第2のダンパー機構の開度制御を行う制御装置を備え、
第1のダンパー機構をシーケンス制御するとともに、第2のダンパー機構を前記制御装置でフィードバック制御することにより、炉本体の炉内圧の変動を所定範囲内に制御するように構成したことを特徴とするものである。
前記炉本体と連通する第1の排気ダクトと、
前記第1の排気ダクトを閉塞状態から連続的に開放し、前記第1の排気ダクトから排気する排気ガスの流量を調整する第1のダンパー機構と、
前記炉本体と連通する第2の排気ダクトと、
前記第2の排気ダクトを閉塞状態から連続的に開放し、前記第2の排気ダクトから排気する排気ガスの流量を調整する第2のダンパー機構とから構成され、
第1のダンパー機構と第2のダンパー機構を、それぞれ制御するように構成したことを特徴とする。
このため、第1の排気ダクトから排気する排気ガスの流量と、第2の排気ダクトから排気する排気ガスの流量をそれぞれ制御することにより、炉本体の炉内圧の変動をより少なくすることが可能となる。
また、排気ガスを排気する排気ダクトを、第1の排気ダクトと第2の排気ダクトから構成したので、排気ダクトの内径を大きくしなくても、十分に排気ガスを排気することができ、雰囲気炉の高さが大きくなることがない。
前記圧力センサーが測定した圧力情報に基づき、第2のダンパー機構の開度制御を行う制御装置を設け、第1のダンパー機構をシーケンス制御するとともに、第2のダンパー機構を前記制御装置でフィードバック制御することにより、炉本体の炉内圧の変動を所定範囲内に制御するように構成したことを特徴とする。
このため、第1の排気ダクトを開放することにより、雰囲気炉の炉内ガスの置換時間や排気時間や冷却時の置換時間を短くしつつ、第2のダンパー機構を制御装置でフィードバック制御することにより、炉本体の炉内圧の変動を所定範囲内に制御することが可能となる。
以下に、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施の形態を示す。
図1は本発明の実施の形態を示す雰囲気炉40の側面図であり、図2は図1の正面図である。1は炉本体であり、耐火材・断熱材で構成されている。炉本体1は、バッチ式であり、セラミックコンデンサー等の電子部品やPDPパネル等の被処理物を熱処理(セラミックコンデンサー等の脱バインダー処理を含む)や焼成するためのものである。炉本体1の天井には、炉本体1内を加熱する赤外線ヒータ等の加熱装置が設けられている。なお、加熱装置は天然ガスや重油等の化石燃料を熱源とするものであっても差し支えない。
図3に運転時間と雰囲気炉の炉内温度との関係を表した制御曲線を示す。以下、セラミックコンデンサーを脱バインダー処理し、脱バインダー処理後に焼成する実施形態について説明する。図3に示されるように、セラミックコンデンサーを脱バインダー処理し、焼成する場合には、炉内温度をt0(室温)からt2まで昇温させ、所定時間(h2〜h3までの時間)炉内温度をt2に保持し、その後、炉内温度をt0まで冷却する。また、図3の運転時間h1は、炉本体1内が窒素ガスに置換される時間である。
なお、以上説明した実施形態では、第1の排気ダクト3、第1のダンパー機構4、第2の排気ダクト13、第2のダンパー機構14が、それぞれ1つの実施形態について本発明を説明したが、それぞれ複数で構成した雰囲気炉にも本発明を適用することができることは言うまでもない。
2 チャンバー
3 第1の排気ダクト
3a 開口面
4 第1のダンパー機構
5 シール弁(第1のダンパー機構)
6 ブラケット(第1のダンパー機構)
7 アクチュエータ(第1のダンパー機構)
7a 回動軸(第1のダンパー機構)
8 回動腕(第1のダンパー機構)
9 リンク棒(第1のダンパー機構)
13 第2の排気ダクト
13a 開口面
14 第2のダンパー機構
15 シール弁(第2のダンパー機構)
16 ブラケット(第2のダンパー機構)
17 アクチュエータ(第2のダンパー機構)
17a 回動軸(第2のダンパー機構)
18 回動腕(第2のダンパー機構)
19 リンク棒(第2のダンパー機構)
20 排気フード
21 圧力センサー
22 制御装置
25 熱交換器
26 連結ダクト
27 気体送給装置
28 連結ダクト
29 連結ダクト
30 電磁弁
31 フィルターボックス
32 連結管
33 電磁弁
34 ガスタンク
35 連結管
36 電磁弁
37 流量調整弁
40 雰囲気炉
50 従来の雰囲気炉
51 炉本体
52 ダンパー機構
52a シール弁
53 排気口
53a 開口面
55 シール弁(従来のダンパー機構)
56 ブラケット(従来のダンパー機構)
57 アクチュエータ(従来のダンパー機構)
58 回動腕(従来のダンパー機構)
59 リンク棒(従来のダンパー機構)
Claims (1)
- バッチ式の炉本体と、
前記炉本体と連通する第1の排気ダクトと、
前記第1の排気ダクトを閉塞状態から連続的に開放し、前記第1の排気ダクトから排気する排気ガスの流量を調整する第1のダンパー機構と、
前記炉本体と連通する第2の排気ダクトと、
前記第2の排気ダクトを閉塞状態から連続的に開放し、前記第2の排気ダクトから排気する排気ガスの流量を調整する第2のダンパー機構とから構成され、
第1のダンパー機構と第2のダンパー機構を、それぞれ制御するように構成した雰囲気炉であって、
さらに、炉本体の炉内圧力を測定する圧力センサーと、
前記圧力センサーが測定した圧力情報に基づき、第2のダンパー機構の開度制御を行う制御装置を備え、
第1のダンパー機構をシーケンス制御するとともに、第2のダンパー機構を前記制御装置でフィードバック制御することにより、炉本体の炉内圧の変動を所定範囲内に制御するように構成したことを特徴とする雰囲気炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008266211A JP5403987B2 (ja) | 2008-10-15 | 2008-10-15 | 雰囲気炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008266211A JP5403987B2 (ja) | 2008-10-15 | 2008-10-15 | 雰囲気炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010096389A JP2010096389A (ja) | 2010-04-30 |
JP5403987B2 true JP5403987B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=42258204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008266211A Active JP5403987B2 (ja) | 2008-10-15 | 2008-10-15 | 雰囲気炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5403987B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101530700B1 (ko) * | 2013-05-28 | 2015-06-22 | 주식회사 피케이지 | 알루미늄 용해로 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5544314B2 (ja) * | 1973-03-26 | 1980-11-11 |
-
2008
- 2008-10-15 JP JP2008266211A patent/JP5403987B2/ja active Active
Also Published As
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JP2010096389A (ja) | 2010-04-30 |
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