JP5371534B2 - レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 - Google Patents
レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 Download PDFInfo
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ワークであるガラス基板上にレーザ光を照射して加工を行なうと、基板上の膜が気化し、集光レンズ付近に気化した金属粒子(イオン)が浮遊し、この粒子が集光レンズ付近に巻き上がるが、集光レンズを保持する気密型容器手段内は陽圧に維持されているので、この金属粒子、金属蒸気などが気密型容器手段内に侵入することがなくなり、気密型容器手段内の集光レンズに金属粒子などが蒸着するということはなくなり、金属粒子などの蒸着による集光レンズの透過率の低下を抑制し、集光レンズを常にクリーンに維持することが可能となる。
これは、レーザ光を気密型容器手段内で複数に分割し、分割されたレーザ光毎に集光レンズを設けるようにしたものである。そして、この発明では、各集光レンズに金属粒子などが蒸着しないように、密閉型容器手段内を陽圧に維持している。
レーザ光は、最終的にワークの加工面に垂直に照射される。この発明では、ハーフミラー及び反射ミラーからなる分岐手段をこの垂直に向かう垂直レーザ光の途中に設けてレーザ光を分岐している。このとき、分岐手段の回転中心軸と垂直レーザ光の進行方向とを一致させて、分岐手段全体を回転できるように構成することによって、分岐方向とレーザ光の走査方向とのなす角度を容易に可変制御することができるものである。
一般的に、ソーラパネル製造工程においては、レーザ光としてガウスビームを使用し、ビーム径を規定の幅にしぼり、基板を移動させて、スクライブ加工を行なっている。レーザ光としてガウスビームを用いると、加工形状がすり鉢状になり、中央部の膜が飛び過ぎるという問題があり、また、スクライブ加工を行なった場合、レーザ光をパルス照射しているため、スクライブ線の両側稜線が波打ってしまうという問題がある。そこで、レーザ光の光路中に、位相型回折光学素子(DOE:Diffractive Optical Element)を配置して、ガウスビームをトップハット(TopHat)ビームに変換して、レーザ光をワークに照射するようにした。DOEは、レーザ光の配光特性を変換/整形する機能を持つ素子であり、主にレーザ光のガウシアン強度分布をフラットトップ(トップハット)強度分布に変換し、レーザー加工などの精度向上に使われるものである。このDOEを使用することによって、レーザ光の照射形状はほぼ正方形状とすることができ、スクライブ線の両側稜線を滑らかに形成することができる。ところが、レーザ光の分岐方向とレーザ光の走査方向とのなす角度を可変制御した場合、照射形状がほぼ正方形状であることから、スクライブ線の両側稜線がガウシアン強度分布の場合よりも逆に波打ってしまう可能性がある。そこで、この発明では、レーザ光の分岐方向とレーザ光の走査方向とのなす角度を可変制御した場合でも、レーザ光の相対的な移動方向に対して位相型回折光学素子手段は回転させないようにした。これによって、スクライブ線の両側稜線を滑らかに形成することができる。
これは、レーザ加工時にワークと密閉型容器手段との間にエアーを吹き付け、ワーク表面から発生する金属粒子などをパージし、金属粒子、金属蒸気などが集光レンズに蒸着するのを防止するようにしたものである。
これは、レーザ加工時にワークと密閉型容器手段との間でワーク表面から発生する金属粒子、金属蒸気などを吸引除去し、金属粒子などが集光レンズに蒸着するのを防止するようにしたものである。なお、金属粒子、金属蒸気などのパージと金属粒子、金属蒸気などの吸引を同時に行なうことによってその効果は倍増する。
上述の実施の形態では、パルス抜けの発生だけを見ているが、パルス抜けが発生した箇所の座標データ(位置データ)を取得して記憶することによって、スクライブ線のリペア処理を行なうことが可能となる。
上述の実施の形態では、光軸検査用CCDカメラ96を用いてビームサンプラ93で分岐出力されたレーザ光の一部(サンプリングビーム)を直接受光して、それを画像処理することによって、光軸ずれを検査する場合について説明したが、高速フォトダイオード94の受光面の中央にレーザ光が受光した状態を示す画像を被検査画像として光軸検査用CCDカメラ96あるいは分割型フォトダイオードで取得することによって光軸ずれを検査するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、レーザ光の光軸ずれ及びパルス抜けを検査する場合について説明したが、光軸ずれ、パルス抜け、パルス幅及びパルス高さのそれぞれを適宜組み合わせてレーザ光の状態を検査するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、薄膜の形成されたワーク1の表面からレーザ光を照射して薄膜にスクライブ線(溝)を形成する場合について説明したが、ワーク1の裏面からレーザ光を照射して、ワーク表面の薄膜にスクライブ線を形成するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、ソーラパネル製造装置を例に説明したが、本発明はELパネル製造装置、ELパネル修正装置、FPD修正装置などのレーザ加工を行なう装置にも適用可能である。
10…台座
20…XYテーブル
30…スライドフレーム
31…ベース板
33,35…反射ミラー
37…貫通穴
40…レーザ発生装置
50…光学系部材
500…位相型回折光学素子(DOE)
511〜513…ハーフミラー
521〜528…反射ミラー
531〜534…シャッター機構
541〜544…集光レンズ
52,54…オートフォーカス用測長システム
60…アライメントカメラ装置
70…リニアエンコーダ
80…制御装置
81…分岐手段
82…パルス抜け判定手段
83…アラーム発生手段
84…基準CCD画像記憶手段
85…光軸ずれ量計測手段
86…レーザコントローラ
87…レンズ変位量計測手段
88…レンズ高さ調整手段
89…照射レーザ状態検査手段
8A…照射レーザ調整手段
92,93…ビームサンプラ
94…高速フォトダイオード
96…光軸検査用CCDカメラ
100…エアパージ装置
102…フレキシブル管
106…エアカーテン装置
108…金属粒子吸引装置
Claims (3)
- 気密型容器手段の側壁部から入射するレーザ光を、前記気密型容器手段の他の側壁部に保持された集光レンズで集光して相対的に移動するワークに照射することによって前記ワークに所定の加工を施すレーザ加工方法であって、
前記気密型容器手段内に設けられたハーフミラー及び反射ミラーからなる分岐手段を用いて、前記ワークの加工面に対して垂直に向かう垂直レーザ光を複数のレーザ光に分岐し、
分岐された複数のレーザ光のそれぞれに対応するように前記気密型容器手段の前記側壁部に前記集光レンズを設け、前記気密型容器手段内を陽圧にして、前記加工時に前記ワークから発生する金属粒子などが前記気密型容器手段内へ混入するのを防止し、
前記垂直レーザ光の進行方向を中心軸として前記分岐手段を含む前記気密型陽気手段を回転させることによって、前記レーザ光の分岐方向と前記レーザ光の前記ワークに対する相対的な移動方向とのなす角度を可変制御し、
前記分岐手段によって分岐される前のレーザ光の光路中に位相型回折光学素子手段を配置して前記レーザ光をトップハット強度分布に変換し、
変換後のレーザ光が前記ワークに照射されるまでのそれぞれの光路長が同じになるように前記レーザ光を複数に分岐して前記ワークに照射すると共に前記レーザ光の分岐方向と前記レーザ光の相対的な移動方向とのなす角度が回転制御された場合でも前記レーザ光の相対的な移動方向に対して前記位相型回折光学素子手段は回転させないようにしたことを特徴とするレーザ加工方法。 - 請求項1に記載のレーザ加工方法において、前記加工時に前記ワークと前記密閉型容器手段との間にエアーを吹き付けることによって、前記ワークから発生する金属粒子などをパージすることを特徴とするレーザ加工方法。
- 請求項1又は2に記載のレーザ加工方法において、前記加工時に前記ワークと前記密閉型容器手段との間で前記ワークから発生する金属粒子などを吸引することを特徴とするレーザ加工方法。
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