JP5460068B2 - レーザ光状態検査方法及び装置並びにソーラパネル製造方法 - Google Patents
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さらに、ソーラパネルを製造する過程でレーザ光の光軸がずれた場合、従来は、レーザ加工後にスクライブ線を目視にて確認して光軸ずれそのままを判定していたのが現状である。
上述の実施の形態では、光軸検査用CCDカメラ96を用いてビームサンプラ93で分岐出力されたレーザ光の一部(サンプリングビーム)を直接受光して、それを画像処理することによって、光軸ずれを検査する場合について説明したが、高速フォトダイオード94の受光面の中央にレーザ光が受光した状態を示す画像を被検査画像として光軸検査用CCDカメラ96で取得しすることによって光軸ずれを検査するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、レーザ光の光軸ずれ及びパルス抜けを検査する場合について説明したが、光軸ずれ、パルス抜け、パルス幅及びパルス高さのそれぞれを適宜組み合わせてレーザ光の状態を検査するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、薄膜の形成されたワーク1の表面からレーザ光を照射して薄膜にスクライブ線(溝)を形成する場合について説明したが、ワーク1の裏面からレーザ光を照射して、ワーク表面の薄膜にスクライブ線を形成するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、ソーラパネル製造装置を例に説明したが、本発明はELパネル製造装置、ELパネル修正装置、FPD修正装置などのレーザ加工を行なう装置にも適用可能である。
10…台座
20…XYテーブル
30…スライドフレーム
31…ベース板
33,35…反射ミラー
37…挿通穴
40…レーザ発生装置
50…光学系部材
500…位相型回折光学素子(DOE)
511〜513…ハーフミラー
521〜528…反射ミラー
531〜534…シャッター機構
541〜544…集光レンズ
52,54…オートフォーカス用測長システム
60…アライメントカメラ装置
70…リニアエンコーダ
80…制御装置
81…分岐手段
82…パルス抜け判定手段
83…アラーム発生手段
84…基準CCD画像記憶手段
85…光軸ずれ量計測手段
86…レーザコントローラ
92,93…ビームサンプラ
94…高速フォトダイオード
96…光軸検査用CCDカメラ
Claims (2)
- ワークに対してレーザ光を相対的に移動させながら照射することによって前記ワークに所定の加工を施すレーザ加工時に、前記レーザ光の光路中に前記レーザ光の一部を分岐抽出し、抽出されたレーザ光に基づいて前記レーザ光の状態を検査するレーザ光状態検査方法であって、
保持手段を用いて前記ワークを保持し、
レーザ光照射手段を用いて前記ワークに前記レーザ光を照射して所定の加工処理を施し、
抽出手段を用いて前記レーザ光の光路中に前記レーザ光の一部を分岐抽出し、
前記抽出手段によって抽出された前記レーザ光を光電変換手段を用いて受光し、受光した前記レーザ光強度に対応した信号を出力し、
前記抽出手段によって抽出された前記レーザ光を画像取得手段を用いて受光し、その受光画像を取得し、
前記光電変換手段からの信号に基づいて前記レーザ光のパルス幅、パルス高さ及びパルス抜けを検査すると共に前記画像取得手段からの画像に基づいて前記レーザ光の光軸ずれを検査する
ことを特徴とするレーザ光状態検査方法。 - ワークを保持する保持手段と、
前記ワークにレーザ光を照射して所定の加工処理を施すレーザ光照射手段と、
前記レーザ光の光路中に前記レーザ光の一部を分岐抽出する抽出手段と、
前記抽出手段によって抽出された前記レーザ光を受光し、受光した前記レーザ光強度に対応した信号を出力する光電変換手段と、
前記抽出手段によって抽出された前記レーザ光を受光し、その受光画像を取得する画像取得手段と、
前記光電変換手段からの信号に基づいて前記レーザ光のパルス幅、パルス高さ及びパルス抜けを検査すると共に前記画像取得手段からの画像に基づいて前記レーザ光の光軸ずれを検査する検査手段と
を備えたことを特徴とするレーザ光状態検査装置。
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