JP5234652B2 - レーザ加工状態検査装置、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法 - Google Patents
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Description
レーザ光によるスクライブ線の加工は、レーザ発生装置から出射されたレーザ光を基板上の薄膜の加工面に略垂直に照射することによって行なわれる。このスクライブ線の加工によって薄膜が切断されたか否かは、スクライブ線の両側の薄膜間の電気抵抗を測定することによって容易に行うことができる。そこで、この発明では、プレート部材の両端にプラグ挿入部材を設け、この2個のプラグ挿入部材を回転軸として自在に回転する円板状接触子部材を設け、この円板状接触子部材をスクライブ線の両側の薄膜に接触させながらその接触位置を回転移動させるようにした。これによって、スクライブ線の両側の薄膜間の抵抗を容易に測定することができる。また、ワーク上に複数のスクライブ線が形成された場合でも、円板状接触子部材を回転移動することによって、複数のスクライブ線の抵抗を容易に測定することができる。
上述の実施の形態では、レーザ光の光軸ずれ及びパルス抜けを検査する場合について説明したが、光軸ずれ、パルス抜け、パルス幅及びパルス高さのそれぞれを適宜組み合わせてレーザ光の状態を検査するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、薄膜の形成された基板1の表面からレーザ光を照射して薄膜にスクライブ線(溝)を形成する場合について説明したが、基板1の裏面からレーザ光を照射して、基板表面の薄膜にスクライブ線を形成するようにしてもよい。
上述の実施の形態では、ソーラパネル製造装置を例に説明したが、本発明はELパネル製造装置、ELパネル修正装置、FPD修正装置などのレーザ加工を行なう装置にも適用可能である。
10…台座
13,13a,13b,13c…スクライブ加工状態検査装置
131,132…円板状接触子部材
133,134…プレート部材
135,136…プラグ挿入部材
20…XYテーブル
21,〜23…位置決めピン
27a,29a,27b,29b…画像
26…集光レンズ高さ測長システム
28…フォーカス及び光軸調整用CCDカメラ
30…スライドフレーム
31…ベース板
33…ガルバノミラー
331…ガルバノ制御裝置
332…ビームサンプラ
333…4分割フォトダイオード
33xy,33zy…モータ
34,35…ミラー
37…貫通穴
40…レーザ発生装置
50…光学系部材
500…位相型回折光学素子(DOE)
511〜513…ハーフミラー
521〜528…反射ミラー
531〜534…シャッター機構
541〜544…集光レンズ
52,54…オートフォーカス用測長システム
60…アライメントカメラ装置
70…リニアエンコーダ
80…制御装置
81…分岐手段
82…パルス抜け判定手段
83…アラーム発生手段
84…基準CCD画像記憶手段
85…光軸ずれ量計測手段
86…レーザコントローラ
87…レンズ変位量計測手段
88…レンズ高さ調整手段
89…照射レーザ状態検査手段
8A…照射レーザ調整手段
8B…抵抗測定手段
8C…表示手段
94…高速フォトダイオード
96…光軸検査用CCDカメラ
Claims (7)
- ワーク上の薄膜にレーザ光を照射してスクライブ線の加工を施し、その直後に前記スクライブ線の両側の薄膜に電気的接触子を接触させて前記スクライブ線の抵抗値を測定するレーザ加工状態検査装置であって、前記電気的接触子はプラグ挿入部材を回転軸として回転自在に取り付けられている回転ローラ方式の第1及び第2の円板状接触子部材で構成され、前記第1及び第2の円板状接触子部材は絶縁材からなるプレート部材によって保持され、前記スクライブ線の両側の薄膜に接触しながらその接触位置を回転移動するように構成したことを特徴とするレーザ加工状態検査装置。
- 請求項1に記載のレーザ加工状態検査装置において、前記第1及び第2の円板状接触子部材の回転軸間の距離が前記スクライブ線のピッチ幅に対応した長さとなるような長尺板で前記プレート部材を構成したことを特徴とするレーザ加工状態検査装置。
- 請求項1又は2に記載のレーザ加工状態検査装置において、前記レーザ加工状態検査装置を前記ワークの両面に配置したことを特徴とするレーザ加工状態検査装置。
- ワークを保持する保持手段と、
前記ワーク上の薄膜にレーザ光を照射して所定の加工処理を施すレーザ光照射手段と、
前記レーザ光照射による加工後に前記スクライブ線の両側の薄膜に電気的接触子を接触させて前記スクライブ線の抵抗値を測定するためのレーザ加工状態検査手段であって、前記電気的接触子はプラグ挿入部材を回転軸として回転自在に取り付けられている回転ローラ方式の第1及び第2の円板状接触子部材で構成され、前記第1及び第2の円板状接触子部材は絶縁材からなるプレート部材によって保持され、前記スクライブ線の両側の薄膜に接触しながらその接触位置を回転移動するように構成されたレーザ加工状態検査手段と
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項4に記載のレーザ加工装置において、前記第1及び第2の円板状接触子部材の回転軸間の距離が前記スクライブ線のピッチ幅に対応した長さとなるような長尺板で前記プレート部材を構成したことを特徴とするレーザ加工装置。
- 請求項4又は5に記載のレーザ加工装置において、前記レーザ加工状態検査手段を前記ワークの両面に配置したことを特徴とするレーザ加工装置。
- 請求項1から3までのいずれか1に記載のレーザ加工状態検査装置又は請求項4から6までのいずれか1に記載のレーザ加工装置を用いて、ソーラパネルを製造することを特徴とするソーラパネル製造方法。
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