JP5368847B2 - 赤外線放射素子 - Google Patents
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Description
本実施形態の赤外線放射素子は、図1に示すように、通電により発熱して赤外線を放射する発熱層1および発熱層1の背面を支持する熱絶縁層2を基板3の一表面に備えた構成を有する。ここに、基板3に対する「一表面」の用語は、面自身ではなく、面に接する領域を意味するものとする。したがって、発熱層1および熱絶縁層2は基板3の一表面に形成されていることになる。
μ=(2αp/ωCp)1/2 …(1)
ただし、ω=2πfである。
λ=2898/T …(2)
したがって、発熱層1の温度を変化させることにより、発熱層1から放射される赤外線のピーク波長を変化させることができる。発熱層1の温度を調節するには、発熱層1に印加する電圧の振幅や波形などを調節し、単位時間当たりに発生するジュール熱を変化させる。
E=Eh+Th・Ei …(3)
ここに、熱絶縁層2の放射率Eiは、発熱層1と同温度としたときの放射パワーに対する換算値である。Ei=0.5として、発熱層1のシート抵抗に対する発熱層1の見かけの放射率Eを計算すると図5のようになる。図3と図5とを比較するとわかるように、放射率の最大値は、発熱層1のみを単独で用いる場合よりも、本実施形態のように発熱層1と熱絶縁層2とを組み合わせて赤外線の放射に用いる場合のほうが大幅に向上する。
本実施形態は、発熱層1の背方に放射される赤外線の利用効率をさらに高めるために、熱絶縁層2と基板3との境界面において赤外線を反射させ、反射した赤外線を発熱層1の前方に放射する構成を採用している。熱絶縁層2と基板3との境界面で赤外線を反射させるために、熱絶縁層2の材料として、赤外線に対して透明であり、かつ屈折率が基板3よりも小さい材料を選択している。
E=Eh+Th・Eh・Rs …(3)
いま、反射率Rs=0.8として、発熱層1のシート抵抗に対する発熱層1の見かけの放射率Eを計算すると図8のようになる。図3と図8とを比較するとわかるように、放射率の最大値は、発熱層1のみを単独で用いる場合よりも、発熱層1と熱絶縁層2とを組み合わせて用いるとともに熱絶縁層2と基板3との境界面での反射を利用する場合のほうが大幅に増加する。
n・Lp=(2m−1)λ/4 …(4)
ここに、mは正整数である。たとえば、熱絶縁層2の多孔度を70%とすると、目的とする赤外線の波長が4μmであるときには、屈折率は1.35になるから、m=5に設定すれば、熱絶縁層2の厚み寸法Lpは6.7μmになる。この厚み寸法Lpは、実施形態1に示した駆動条件と熱絶縁層2の熱物性とにおいて、必要な熱絶縁層2の厚み寸法Lpである5.8μm以上を満足する。
上述した各実施形態では、熱絶縁層2を基板3の一表面に形成した例を示したが、本実施形態では、熱絶縁層2の背面に気体が接触する構成を採用している。具体的には、図9(a)のように熱絶縁層2と基板3との間に気体層5を形成するか、図9(b)のように基板3において熱絶縁層2の背面側となる部位に表裏に貫通した開口6を形成する。
n・Lp=mλ/2 …(5)
ただし、mは自然数である。
0.05Lg′<Lg<3Lg′ …(6)
ただし、Lg′=(2αg/ωCg)1/2、ω=2πfである。
2 熱絶縁層
3 基板
4 電極
5 気体層
Claims (8)
- 基板の一表面に形成され通電に伴う発熱により赤外線を放射する発熱層と、一面に発熱層が積層されることにより発熱層を支持するように基板の一表面に形成された熱絶縁層とを備え、熱絶縁層は、熱伝導率が基板よりも小さく、発熱層の通電に伴う発熱層からの伝熱による一部の温度上昇と、発熱層から入射する赤外線の反射との少なくとも一方により、発熱層に向かう向きに赤外線を放射し、発熱層は、熱絶縁層から放射された赤外線を通過させる機能を有し、通電による発熱時の発熱層のシート抵抗は30〜1000Ωsqであることを特徴とする赤外線放射素子。
- 前記熱絶縁層の他面が気体に接触していることを特徴とする請求項1記載の赤外線放射素子。
- 前記熱絶縁層の厚み寸法は、目的波長の赤外線に対する光路長が当該赤外線の半波長の自然数倍となる寸法に設定されていることを特徴とする請求項1記載の赤外線放射素子。
- 前記熱絶縁層の他面は前記基板に接触しており、熱絶縁層と基板との境界面は、熱絶縁層から基板に向かう目的波長の赤外線を反射させる反射面であって、熱絶縁層の厚み寸法は、目的波長の赤外線に対する光路長が当該赤外線の4分の1波長の奇数倍となる寸法に設定されていることを特徴とする請求項1記載の赤外線放射素子。
- 前記熱絶縁層は、加熱時に空洞放射により赤外線を放射するマクロポアがバルク半導体に形成され、かつマクロポア内にナノポアが形成された構造であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の赤外線放射素子。
- 前記熱絶縁層は、半導体の酸化物を含む電気絶縁膜により形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の赤外線放射素子。
- 前記発熱層は、負の抵抗温度係数を持つ材料により形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の赤外線放射素子。
- 前記発熱層は、TaN、TiNから選択されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の赤外線放射素子。
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