JPS62264588A - 赤外線ヒ−タ - Google Patents
赤外線ヒ−タInfo
- Publication number
- JPS62264588A JPS62264588A JP10814486A JP10814486A JPS62264588A JP S62264588 A JPS62264588 A JP S62264588A JP 10814486 A JP10814486 A JP 10814486A JP 10814486 A JP10814486 A JP 10814486A JP S62264588 A JPS62264588 A JP S62264588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- infrared
- infrared heater
- ceramic heating
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 54
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 claims description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910007948 ZrB2 Inorganic materials 0.000 description 4
- VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N boron;zirconium Chemical compound B#[Zr]#B VWZIXVXBCBBRGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910025794 LaB6 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- -1 St C Chemical compound 0.000 description 2
- 229910008814 WSi2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019752 Mg2Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910008479 TiSi2 Inorganic materials 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- DFJQEGUNXWZVAH-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)titanium Chemical compound [Si]=[Ti]=[Si] DFJQEGUNXWZVAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- NFYLSJDPENHSBT-UHFFFAOYSA-N chromium(3+);lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Cr+3].[La+3] NFYLSJDPENHSBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分野)
本発明は、赤外線ヒータに関し、詳しくは、物質の加熱
或いは暖房等に好適であると共に作業上安全な赤外線ヒ
ータに係る。
或いは暖房等に好適であると共に作業上安全な赤外線ヒ
ータに係る。
(従来の技術)
赤外線放射エネルギは、物質の加熱あるいは暖房等、産
業上広い利用性を有する。このため、かかる赤外線放射
エネルギを有効利用すべく、種々の赤外線ヒータが提案
されてきた。例えば、電力をエネルギ源とする場合、従
来は赤外線放射率の高いセラミックス等よりなる放射体
と、ニクロム線のような金属抵抗体、ガラス繊維にカー
ボンを塗布した抵抗体又はSt C,ランタンクロマイ
ト等のセラミックス等よりなる発熱体とを組み合わせて
赤外線ヒータを構成することが一般的であった。しかし
ながら、これら従来の赤外線ヒータにおいては、放射体
と発熱体とが構造的に一体化していないために、熱伝達
性が低く速熱性に欠けると共に熱効率も低く、更に使用
中に構造上の変化を生じたり、それに伴う劣化を生じた
りする等の問題があった。
業上広い利用性を有する。このため、かかる赤外線放射
エネルギを有効利用すべく、種々の赤外線ヒータが提案
されてきた。例えば、電力をエネルギ源とする場合、従
来は赤外線放射率の高いセラミックス等よりなる放射体
と、ニクロム線のような金属抵抗体、ガラス繊維にカー
ボンを塗布した抵抗体又はSt C,ランタンクロマイ
ト等のセラミックス等よりなる発熱体とを組み合わせて
赤外線ヒータを構成することが一般的であった。しかし
ながら、これら従来の赤外線ヒータにおいては、放射体
と発熱体とが構造的に一体化していないために、熱伝達
性が低く速熱性に欠けると共に熱効率も低く、更に使用
中に構造上の変化を生じたり、それに伴う劣化を生じた
りする等の問題があった。
このようなことから、特開昭60−33249号公報に
おいては、赤外線放射材成分と導電材成分とを混合して
赤外線ヒータを構成することが提案され、具体的にはそ
の焼結体が開示されている。
おいては、赤外線放射材成分と導電材成分とを混合して
赤外線ヒータを構成することが提案され、具体的にはそ
の焼結体が開示されている。
かかる赤外線ヒータは、上述した問題、つまり速熱性、
熱効率及び構造上の経時変化等の問題を解消する上では
効果的であり、更に赤外線ヒータ自身が導電性を冑する
ため、直接通電が可能であるという利点を備えている。
熱効率及び構造上の経時変化等の問題を解消する上では
効果的であり、更に赤外線ヒータ自身が導電性を冑する
ため、直接通電が可能であるという利点を備えている。
しかしながら、その反面、通電された赤外線ヒータ表面
が露出された状態にあるため、作業者が該ヒータに接触
することができない等の作業安全面での問題が新たに生
じてくる。更に、かかる混合生成物よりなる赤外線ヒー
タは機械的な強度を確保するために、ある程度の厚みを
持った形状に加工することが必要で、その加工形態が自
ずと制約を受ける。また、赤外線ヒータ面を大面積にす
る場合、不可避的に熱容量が大きくなる等の問題があっ
た。
が露出された状態にあるため、作業者が該ヒータに接触
することができない等の作業安全面での問題が新たに生
じてくる。更に、かかる混合生成物よりなる赤外線ヒー
タは機械的な強度を確保するために、ある程度の厚みを
持った形状に加工することが必要で、その加工形態が自
ずと制約を受ける。また、赤外線ヒータ面を大面積にす
る場合、不可避的に熱容量が大きくなる等の問題があっ
た。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は、従来の問題点を解決するためになされたもの
で、速熱性及び熱効率が良好で構造的に安定であると共
に直接通電が可能で、しかも作業安全性に優れ、更に加
工形態及び寸法等において自由度の大きい赤外線ヒータ
を提供しようとするものである。
で、速熱性及び熱効率が良好で構造的に安定であると共
に直接通電が可能で、しかも作業安全性に優れ、更に加
工形態及び寸法等において自由度の大きい赤外線ヒータ
を提供しようとするものである。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
本発明は、導電性を有するセラミックス発熱体並びに該
セラミックス発熱体の表面の少なくとも一部を被覆する
絶縁性赤外線放射物質からなる赤外線ヒータにおいて、
前記セラミックス発熱体が、LaB6、ZrB2、Mo
Si2、WSiz、Ta512、TlSi2、MgzS
i、TINの少なくとも一種からなることを特徴とする
赤外線ヒータである。
セラミックス発熱体の表面の少なくとも一部を被覆する
絶縁性赤外線放射物質からなる赤外線ヒータにおいて、
前記セラミックス発熱体が、LaB6、ZrB2、Mo
Si2、WSiz、Ta512、TlSi2、MgzS
i、TINの少なくとも一種からなることを特徴とする
赤外線ヒータである。
上記LaB6、ZrB2等の成分からなるセラミックス
発熱体は、通電加熱時に安定して存在すると共に抵抗率
が10°5〜10Ωcmの範囲にあるという特性を有す
る。
発熱体は、通電加熱時に安定して存在すると共に抵抗率
が10°5〜10Ωcmの範囲にあるという特性を有す
る。
上記絶縁性赤外線放射物質としては、特に限定されるも
のではないが、例えばその熱膨張係数が上記セラミック
ス発熱体と大差ないものであることが望ましい。具体的
には、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウ
ム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化クロムの
うち少なくとも一種の焼結体により構成することが好ま
しい。
のではないが、例えばその熱膨張係数が上記セラミック
ス発熱体と大差ないものであることが望ましい。具体的
には、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化ジルコニウ
ム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化クロムの
うち少なくとも一種の焼結体により構成することが好ま
しい。
なお、本発明の赤外線ヒータは前記セラミックス発熱体
並びにこの発熱体表面の少なくとも一部を被覆する赤外
線放射物質とから構成すれば充分であるが、更に該セラ
ミックス発熱体の残る表面を絶縁性基体で被覆した構造
にしてもよい。一方、赤外線ヒータの形状等は特に制限
されるものではないが、前記絶縁性基体をヒータの支持
体として用いると、赤外線ヒータの機械的強度を確保す
る上で有益である。即ち、セラミックス発熱体を棒状に
構成し、その周辺部の少なくとも一部を絶縁性赤外線放
射物質で被覆し、残るセラミックス発熱体の周辺部を絶
縁性基体で被覆した構造、中心軸を絶縁性基体で構成し
、その表面にセラミックス発熱体の薄膜を形成し、この
セラミックス発熱体の表面を絶縁性赤外線放射物質で被
覆した構造、或いは板状の絶縁性基体にセラミックス発
熱体を薄膜に形成し、その露出面を絶縁性赤外線放射物
質と該絶縁性基体とで適宜被覆した、いわゆる板状積層
構造等を挙げることができる。特に、セラミックス発熱
体を薄膜で構成すると、同一熱容量のセラミックス発熱
体については、その赤外線放射面を大面積とすることが
できる利点を有する。
並びにこの発熱体表面の少なくとも一部を被覆する赤外
線放射物質とから構成すれば充分であるが、更に該セラ
ミックス発熱体の残る表面を絶縁性基体で被覆した構造
にしてもよい。一方、赤外線ヒータの形状等は特に制限
されるものではないが、前記絶縁性基体をヒータの支持
体として用いると、赤外線ヒータの機械的強度を確保す
る上で有益である。即ち、セラミックス発熱体を棒状に
構成し、その周辺部の少なくとも一部を絶縁性赤外線放
射物質で被覆し、残るセラミックス発熱体の周辺部を絶
縁性基体で被覆した構造、中心軸を絶縁性基体で構成し
、その表面にセラミックス発熱体の薄膜を形成し、この
セラミックス発熱体の表面を絶縁性赤外線放射物質で被
覆した構造、或いは板状の絶縁性基体にセラミックス発
熱体を薄膜に形成し、その露出面を絶縁性赤外線放射物
質と該絶縁性基体とで適宜被覆した、いわゆる板状積層
構造等を挙げることができる。特に、セラミックス発熱
体を薄膜で構成すると、同一熱容量のセラミックス発熱
体については、その赤外線放射面を大面積とすることが
できる利点を有する。
前記絶縁性基体としては、アルミナ、石英、マイカ、マ
グネシウム等の酸化物や窒化アルミニウム、窒化シリコ
ン等の窒化物が好ましい。
グネシウム等の酸化物や窒化アルミニウム、窒化シリコ
ン等の窒化物が好ましい。
次に、本発明の赤外線ヒータ、例えば前述した板状積層
型の赤外線ヒータの製造方法について第1図を参照して
説明する。
型の赤外線ヒータの製造方法について第1図を参照して
説明する。
まず、厚さ0.5〜5 mmの絶縁性基板1を用意する
。この絶縁性基板1に大気中、赤外線放射温度で安定な
厚さ20〜100μmのセラミックス発熱体2をペース
ト状にして印刷塗布した後、焼付けて形成する。この際
、絶縁性基板1の厚さを0.5〜5羽とするのは、形成
する赤外線ヒータの機械的強度を保つためであり、赤外
線ヒータの熱容量からすれば、できる限り薄い程好まし
い。
。この絶縁性基板1に大気中、赤外線放射温度で安定な
厚さ20〜100μmのセラミックス発熱体2をペース
ト状にして印刷塗布した後、焼付けて形成する。この際
、絶縁性基板1の厚さを0.5〜5羽とするのは、形成
する赤外線ヒータの機械的強度を保つためであり、赤外
線ヒータの熱容量からすれば、できる限り薄い程好まし
い。
前記セラミックス発熱体2の厚さを20〜100μmと
するのは、該セラミックス発熱体2を通電加熱時に安定
に存在させるためである。次いで、前記セラミックス発
熱体2の表面に赤外線放射物質3の被膜を積層させ、焼
結させる。その後、セラミックス発熱体2の両端に長通
電性の金属からなるリード端子4を付設することにより
、赤外線ヒータを製造する。
するのは、該セラミックス発熱体2を通電加熱時に安定
に存在させるためである。次いで、前記セラミックス発
熱体2の表面に赤外線放射物質3の被膜を積層させ、焼
結させる。その後、セラミックス発熱体2の両端に長通
電性の金属からなるリード端子4を付設することにより
、赤外線ヒータを製造する。
(作用)
本発明の赤外線ヒータ(例えば第1図図示の積層型赤外
線ヒータ)によれば、リード端子4間に電流を流すこと
により、セラミックス発熱体2を発熱させ、赤外線放射
物質3を通して、例えば物質の加熱および暖房に好適な
3〜50μmの遠赤外線を放射することができる。また
、この積層型赤外線ヒータによれば、絶縁性基板1上に
セラミックス発熱体2及び赤外放射物質3を薄く固着さ
せであるので、熱容量が小さく、従来のシーズヒーター
型の赤外線ヒータに比較して昇温速度が速くなり、熱効
率が高くなる。更に、La B6゜ZrB2.MoSi
2.WSi2.Ta5iz。
線ヒータ)によれば、リード端子4間に電流を流すこと
により、セラミックス発熱体2を発熱させ、赤外線放射
物質3を通して、例えば物質の加熱および暖房に好適な
3〜50μmの遠赤外線を放射することができる。また
、この積層型赤外線ヒータによれば、絶縁性基板1上に
セラミックス発熱体2及び赤外放射物質3を薄く固着さ
せであるので、熱容量が小さく、従来のシーズヒーター
型の赤外線ヒータに比較して昇温速度が速くなり、熱効
率が高くなる。更に、La B6゜ZrB2.MoSi
2.WSi2.Ta5iz。
Ti S+2.Mg2 Si、Ti N等の高温でも安
定な導電体を含むセラミックス発熱体2を使用している
ために、モリブデン等のペーストを導電発熱体として使
用した場合に比較して発熱体の抵抗値の変動を防止する
ことができ、耐用寿命を向上できる。
定な導電体を含むセラミックス発熱体2を使用している
ために、モリブデン等のペーストを導電発熱体として使
用した場合に比較して発熱体の抵抗値の変動を防止する
ことができ、耐用寿命を向上できる。
(発明の実施例)
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
実施例1〜8
まず、LaB6.ZrB2.MoSi2゜WSi2.T
a S12.Ti Si2.Mg25l。
a S12.Ti Si2.Mg25l。
TiNの粉末にガラスフリットを夫々4重量%混合し、
更にエチルセルロース、テレピネオールを加えて混練し
、8種の発熱体用ペーストを調製した。
更にエチルセルロース、テレピネオールを加えて混練し
、8種の発熱体用ペーストを調製した。
次いで、厚さlI/JI!の酸化アルミニウム基板(熱
膨張係数;3〜7X10−6/’C)上に前記発熱体用
ペーストを夫々スクリーン印刷し、100℃で30分間
予備乾燥した後、大気中、700〜800°Cで30分
間焼成して基板上にセラミックス発熱体を形成した。か
かる各発熱体の抵抗率を直流四端子法で測定した。その
結果を下記表に示す。
膨張係数;3〜7X10−6/’C)上に前記発熱体用
ペーストを夫々スクリーン印刷し、100℃で30分間
予備乾燥した後、大気中、700〜800°Cで30分
間焼成して基板上にセラミックス発熱体を形成した。か
かる各発熱体の抵抗率を直流四端子法で測定した。その
結果を下記表に示す。
次いで、前記各セラミックス発熱体の両端に銀ペースト
を焼付けて電極を形成し、更に各セラミックス発熱体の
表面に赤外線放射、物質ペーストを印刷した後、大気中
400℃で焼結して同表に示す赤外線放射物質を形成し
、10αX20αの長尺板状をなす8種の赤外線ヒータ
を製造した。
を焼付けて電極を形成し、更に各セラミックス発熱体の
表面に赤外線放射、物質ペーストを印刷した後、大気中
400℃で焼結して同表に示す赤外線放射物質を形成し
、10αX20αの長尺板状をなす8種の赤外線ヒータ
を製造した。
□
得られた赤外線ヒータのうち実施例2のヒータについて
、約20Vの電圧を印加し、通電開始と同時に赤外線ヒ
ータの表面温度を測定し、昇温速度を求めた。その結果
を第2図に実線で示した。
、約20Vの電圧を印加し、通電開始と同時に赤外線ヒ
ータの表面温度を測定し、昇温速度を求めた。その結果
を第2図に実線で示した。
なお、比較のために実施例2の赤外線ヒータと同じワッ
ト数のシーズヒーター型で表面に酸化アルミニウムより
なる放射体を有する従来の赤外線ヒータについて昇温時
の表面温度の測定を行なった。
ト数のシーズヒーター型で表面に酸化アルミニウムより
なる放射体を有する従来の赤外線ヒータについて昇温時
の表面温度の測定を行なった。
その結果を同第2図に破線で示した。
第2図より明らかなように、本実施例2の赤外線ヒータ
の表面温度は、約2分で300℃に達し、優れた速熱性
を有することがわかる。これに対し、従来の赤外線ヒー
タは表面温度が300℃に達するまでに約10分間の時
間を要した。
の表面温度は、約2分で300℃に達し、優れた速熱性
を有することがわかる。これに対し、従来の赤外線ヒー
タは表面温度が300℃に達するまでに約10分間の時
間を要した。
また、本実施例2の赤外線ヒータについて、放射される
赤外線の波長分布を調べたところ、第3図に示す特性図
を得た。この第3図より本実施例2の赤外線ヒータは、
放射特性が3〜30μmの遠赤外領域で特に良好である
ことが確認された。
赤外線の波長分布を調べたところ、第3図に示す特性図
を得た。この第3図より本実施例2の赤外線ヒータは、
放射特性が3〜30μmの遠赤外領域で特に良好である
ことが確認された。
更に、本実施例1〜8の積層型赤外線ヒータは、構造が
簡単で、かつ印刷、焼結工程により容易に製造でき、し
かも面積を大きくできるという利点を有する。
簡単で、かつ印刷、焼結工程により容易に製造でき、し
かも面積を大きくできるという利点を有する。
[発明の効果]
以上詳述した如く、本発明によれば熱容量が小さく、速
熱性及び熱効率が良好で構造的に安定であると共に直接
通電が可能で、しかも作業安全性に優れ、更に加工形態
及び寸法等において自由度の高い赤外線ヒータを提供で
きる。
熱性及び熱効率が良好で構造的に安定であると共に直接
通電が可能で、しかも作業安全性に優れ、更に加工形態
及び寸法等において自由度の高い赤外線ヒータを提供で
きる。
第1図は、本発明の赤外線ヒータの一構成例を示す断面
図、第2図は本発明の実施例2の赤外線ヒータ及び従来
のシーズヒーター型の赤外線ヒータの昇温速度を示す特
性図、第3図は本実施例2の赤外線ヒータにおける放射
される赤外線の波長分布を示す特性図である。 1・・・絶縁性基板、2・・・セラミックス発熱体、3
・・・絶縁性赤外線放射物質、4・・・リード線。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 +0 20 30璃 長 OA
) 第3図
図、第2図は本発明の実施例2の赤外線ヒータ及び従来
のシーズヒーター型の赤外線ヒータの昇温速度を示す特
性図、第3図は本実施例2の赤外線ヒータにおける放射
される赤外線の波長分布を示す特性図である。 1・・・絶縁性基板、2・・・セラミックス発熱体、3
・・・絶縁性赤外線放射物質、4・・・リード線。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 +0 20 30璃 長 OA
) 第3図
Claims (3)
- (1)、導電性を有するセラミックス発熱体並びに該セ
ラミックス発熱体の表面の少なくとも一部を被覆する絶
縁性赤外線放射物質からなる赤外線ヒータにおいて、前
記セラミックス発熱体が、 LaB_6、ZrB_2、MoSi_2、WSi_2、
TaSi_2、TiSi_2、Mg_2Si、TiNの
少なくとも一種からなることを特徴とする赤外線ヒータ
。 - (2)、セラミックス発熱体が絶縁性基体表面に形成さ
れた薄膜であることを特徴とする特許請求範囲第1項記
載の赤外線ヒータ。 - (3)、絶縁性赤外線放射物質が酸化アルミニウム、酸
化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、酸化
カルシウム、酸化クロムのうちの少なくとも一種の焼結
体からなることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は
第2項記載の赤外線ヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10814486A JPS62264588A (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 | 赤外線ヒ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10814486A JPS62264588A (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 | 赤外線ヒ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62264588A true JPS62264588A (ja) | 1987-11-17 |
Family
ID=14477051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10814486A Pending JPS62264588A (ja) | 1986-05-12 | 1986-05-12 | 赤外線ヒ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62264588A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0668960A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Kawai Musical Instr Mfg Co Ltd | ヒーター |
JPH0668959A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Kawai Musical Instr Mfg Co Ltd | ヒーター |
WO1997042792A1 (fr) * | 1996-05-05 | 1997-11-13 | Seiichiro Miyata | Element chauffant electrique et mandrin electrostatique pourvu d'un tel element |
JP2010230453A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線放射素子 |
-
1986
- 1986-05-12 JP JP10814486A patent/JPS62264588A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0668960A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Kawai Musical Instr Mfg Co Ltd | ヒーター |
JPH0668959A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Kawai Musical Instr Mfg Co Ltd | ヒーター |
WO1997042792A1 (fr) * | 1996-05-05 | 1997-11-13 | Seiichiro Miyata | Element chauffant electrique et mandrin electrostatique pourvu d'un tel element |
US6486447B2 (en) | 1996-05-05 | 2002-11-26 | Seiichiro Miyata | Method of manufacturing an electric heating element |
JP2010230453A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 赤外線放射素子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO1984000275A1 (en) | Panel heater | |
GB2179530A (en) | Ceramic heaters | |
CA1157166A (en) | Composite thermistor component | |
US4806739A (en) | Plate-like ceramic heater | |
JPH09190873A (ja) | 面状発熱体の製造法 | |
JPS62264588A (ja) | 赤外線ヒ−タ | |
JPS62291881A (ja) | 赤外線放射体 | |
JPH09245946A (ja) | セラミックヒータ | |
JP2646083B2 (ja) | セラミツクヒータ | |
JPH0420868B2 (ja) | ||
JPS61225801A (ja) | 遠赤外線放射発熱体 | |
JP2537606B2 (ja) | セラミツクヒ−タ | |
JP2003327419A (ja) | オゾン発生用放電体 | |
JP2004342622A (ja) | セラミックヒータ | |
JPS6217976A (ja) | 遠赤外線放射体 | |
CN107135558A (zh) | 一种适用于曲面加热的新型ptc陶瓷加热元件 | |
JPH09139278A (ja) | ヒーター用抵抗体ペースト | |
JP3366546B2 (ja) | セラミックヒータ | |
KR200360205Y1 (ko) | 세라믹 히터 | |
JPS6337587A (ja) | セラミツクヒ−タ | |
JP2001267043A (ja) | 半導体製造・検査装置用セラミックヒータ | |
JPS6256386A (ja) | 赤外線放射体 | |
KR950009661Y1 (ko) | 면상 원적외선 세라믹 방사체 | |
JP2001313156A (ja) | 薄板状遠赤外線ヒータの電極構造 | |
KR20050092275A (ko) | 세라믹 히터 및 그 제조방법 |