JP5352940B2 - 樹脂組成物、積層体、配線板および配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
また、各種被着体への密着性が低いため、実装信頼性や、接続信頼性も課題となっている。そのため環状オレフィン系樹脂の密着性を向上させるため、プライマー処理を施し被着体の方面処理する方法がある。(例えば、特許文献2、3参照。)
また、本発明の目的は、加工性に優れる積層体を提供することである。
また、本発明の目的は、電気特性に優れた配線板およびその製造方法を提供することである。
(1)回路基板の樹脂層を構成する樹脂組成物であって、(A)2−ノルボルネン/5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネン共重合体、2−ノルボルネン/5−トリメトキシシリル−2−ノルボルネン共重合体、および5−メチル−2−ノルボルネン/2−ノルボルネン−5−メチルアクリレート共重合体からなる群から選択される少なくとも1種類の付加型ノルボルネン系樹脂と、(B)4,4'−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル、メタクリル酸(3−エチル−3−オキセタニル)メチルエステル、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン、3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、および1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼンからなる群から選択される少なくとも1種類のオキセタン基を有する化合物とを含み、
前記樹脂組成物は、さらに反応開始剤を含んでおり、
前記反応開始剤は、光または熱により酸を発生する化合物であることを特徴とする樹脂組成物。
(3)前記充填材は、シリカである(2)項に記載の樹脂組成物。
(4)前記充填材は、フッ素樹脂で構成される粒子である(2)項に記載の樹脂組成物。
(5)前記充填材は、無機多孔体である(2)項に記載の樹脂組成物。
(6)配線板に用いる積層体であって、(1)ないし(5)項のいずれか1つに記載の樹脂組成物より構成される樹脂層と、キャリアフィルムとを積層してなることを特徴とする積層体。
(7)(1)ないし(5)項のいずれか1つに記載の樹脂組成物を用いて絶縁層を形成する工程と、回路層を形成する工程と、前記絶縁層をレーザー照射により開孔する工程とを含む配線板の製造方法。
(8)前記絶縁層を形成する工程は、前記樹脂組成物を用いて得られたフィルムをラミネートして形成する工程を含む(7)項に記載の配線板の製造方法。
(9)前記絶縁層を形成する工程におけるフィルムは、(6)項に記載の積層体である(7)または(8)項に記載の配線板の製造方法。
(10)前記絶縁層を180℃以下の温度で加熱硬化する工程を含む(7)ないし(9)項のいずれか1つに記載の配線板の製造方法。
(11)(7)ないし(10)項のいずれか1つに記載の製造方法により得られる配線板。
(12)(6)項に記載の積層体を用いて形成された樹脂層を有することを特徴とする配線板。
また、本発明によれば、加工性に優れる積層体を提供することができる。
また、本発明によれば、電気特性に優れた配線板およびその製造方法を提供することができる。
本発明の樹脂組成物は、配線板の絶縁層を構成する樹脂組成物であって、環状エーテル基、反応性二重結合を有する有機基、アルコキシシリル基の群から選択される少なくとも1種類の架橋可能な基を有する付加型ノルボルネン系樹脂と、オキセタン基を有する化合物とを含むことを特徴とする。
また、本発明の積層体は、上記に記載の樹脂組成物がキャリアフィルム(キャリア材料)の少なくとも片面に形成されていることを特徴とする。
また、本発明の配線板は、上記に記載の樹脂組成物で絶縁層を構成することを特徴とする。
本発明の樹脂組成物は、配線板の絶縁層を構成するものである。電気信号の高速伝送化が要求される配線板に、電気特性が優れる絶縁層を提供するためである。
前記樹脂組成物は、 環状エーテル基、反応性二重結合を有する有機基、及びアルコキシリル基からなる群から選択される少なくとも1種類の架橋可能な基を有する下記式(1)に表される付加型ノルボルネン系樹脂を含む。これにより、絶縁層を形成した場合に耐熱性および電気特性が優れる。
また、前記樹脂組成物は、オキセタン基を有する化合物を含む。これにより、絶縁層を形成する場合にフィルム状にした樹脂組成物をラミネートすることができる。さらには、高耐熱性のオキセタン基を含む化合物との組合わせにより、ラミネート性などの加工性と耐熱性を兼ね備えることができる。
アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基およびドデシル基等が、アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、ブチニル基およびシクロヘキセニル基等が、アルキニル基の具体例としては、エチニル基、1−プロピニル基、2−プロピニル基、1−ブチニル基および2−ブチニル基等が、環状脂肪族基の具体例として、シクロペンチル基、シクロヘキシル基およびシクロオクチル基等が、アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基およびアントラセニル基等が、アラルキル基の具体例としてはベンジル基およびフェネチル基等がそれぞれ挙げられるが、本発明は何らこれらに限定されない。
配位重合に用いる金属触媒として代表的なニッケルと白金触媒は、PCT WO 9733198とPCT WO 00/20472に述べられている。配位重合用金属触媒の例としては、(トルエン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(メシレン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(ベンゼン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(テトラヒドロ)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(エチルアセテート)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(ジオキサン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケルなどの公知の金属触媒が挙げられる。
一般的にはラジカル重合はラジカル開始剤の存在下、温度を50℃〜150℃に上げ、モノマーを溶液中で反応させる。ラジカル開始剤としてはアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウリル、アゾビスイソカプトロニトリル、アゾビスイソレロニトリル、t−ブチル過酸化水素などである。
前記付加型ノルボルネン系樹脂の分子量分布[重量平均分子量:Mwと、数平均分子量:Mnとの比(Mw/Mn)]は、特に限定されないが、5以下が好ましく、特に4以下が好ましく、特に1〜3が好ましい。分子量分布が前記範囲内であると、機械強度に特に優れる。
また、上記方法で重量平均分子量や分子量分布が測定できない付加型ノルボルネン系樹脂の場合には、通常の溶融加工法により樹脂層を形成し得る程度の溶融粘度や重合度を有するものを使用することができる。前記付加型ノルボルネン系樹脂のガラス転移温度は、使用目的に応じて適宜制御できるが、好ましくは150℃以上、より好ましくは200℃以上、さらに好ましくは250℃以上である。
さらには、ホスフィン化合物は、ホスホニウム塩が好ましい。これにより、十分な潜在性と架橋速度を併せ持つことができる。これらは、単独または2種類以上を併用してもよい。
また、アゾビスイソブチロニトリル、イソブチリルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカルボナート、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、ジクミルパーオキサイド、t−ブチルクミルパーオキサイド、t−ブチルヒドロパーオキサイド等の有機過酸化物を挙げることができる。
4,4’−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムトリフレート、4,4’,4“−トリス(t−ブチルフェニル)スルフォニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリフェニルスルフォニウムジフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、4,4‘−ジ−t−ブチルフェニルヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリス(t−ブチルフェニル)スルフォニムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、(4−メチルフェニル)(4−(1−メチルエチル)フェニル)ヨードニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、4−(2−メチルプロピル)フェニル(4−メチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロフォスフェイトとそれらの混合物である。
PTFEの結晶度は、少なくとも50%以上、好ましくは60%以上であり、更に好ましくは、70%〜90%であってよい。
図1は、本発明の積層体の一例を模式的に示す断面図である。
積層体1は、上記の樹脂組成物で構成される樹脂層3と、キャリアフィルム2とを積層してなるものである。
上記樹脂組成物で構成される樹脂層により、電子機器の高速伝送化を可能とする。また、電気特性およびレーザー加工性に優れる特性を有する絶縁層として用いることができる。
樹脂組成物で構成される樹脂層3の厚さは、特に限定されないが、0.1〜60μmが好ましく、特に1〜40μmが好ましい。樹脂組成物で構成される樹脂層の厚さは、絶縁信頼性を向上させる上で前記下限値以上が好ましく、多層配線板における目的の一つである薄膜化を達成する上で前記上限値以下が好ましい。
図2は、本発明の配線板の一例を示す断面図である。
図2に示すように、配線板10は、コア基板5と、コア基板5の両面に設けられた樹脂層3とで構成されている。
コア基板5には、ドリル機で開口された開口部51が形成されている。また、コア基板5の両表面には導体回路52が形成されている。
開口部51の内部はメッキ処理されており、コア基板5の両表面の導体回路52が導通されている。
また、樹脂層3の両表面には、第2導体回路32が形成されている。
導体回路52と、導体回路32とは、開口部31を介して導通されている。
また、キャリア材料として金属層を用いた場合、該金属層を導体回路として加工することができる。
次に、導体ポストを形成する(図3(e))。導体ポスト107の形成方法としては、公知の方法である電解メッキ等で形成することができる。例えば、導体回路106を電解メッキ用リードとして、銅電解メッキを行ない、銅で充填し銅ポストを形成することができる。これの方法により、配線板を得ることができる。
上記配線板を得る工程において、上記図3(a)〜図3(d)で示した工程を繰り返すことにより、さらに多層の配線板を得ることができる。
付加型ノルボルネン系樹脂として2−ノルボルネン/5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネン(70/30)モノマーの付加共重合体(A−1、Mw=200,000)を用いた。なお、付加型ノルボルネン系樹脂(A−1)は、下記の方法で合成した。
[付加型ノルボルネン系樹脂(A−1)の合成]
重合系の雰囲気を不活性ガスの窒素で十分に満たした反応容器中に、2−ノルボルネン13.2g(0.14mol)、5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネン10.8g(0.06mol)、重合溶剤としてエチルアセテート170g、シクロヘキサン147g(0.53M)を仕込んだ。次いで、遷移金属触媒(η6−トルエンニッケルビス(ペンタフルオロフェニル)1.39g(2.86×10-3mol)をトルエン10gに溶解させた触媒溶液を反応容器に投入した。室温で4時間攪拌重合させた後、氷酢酸94ml、30%過酸化水素水174ml、純水600mlの混合液に前記重合溶液を投入し、2時間攪拌した。水層の遷移金属触媒と樹脂溶液の有機層とに分離した溶液の水層を除去した。更に有機層を数回純水で洗浄した、そして、樹脂溶液をメタノール中に投入し環状オレフィン系樹脂を析出させた。固形分を濾過後、減圧乾燥し溶剤を除き環付加型ノルボルネン系樹脂を得た。
充填材として、以下のものを60重量%にした以外は、実施例1と同じした。
充填材として、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランで表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SE−2030、平均粒径0.5μm、粗粒3μmカット)を用いた。
用いた
オキセタン基を有する化合物として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
オキセタン基を有する化合物として、テレフタル酸ビス(3−エチル−3−オキセタニル)メチルエステル(宇部興産社製)を用いた。
オキセタン基を有する化合物として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
オキセタン基を有する化合物として、メタクリル酸(3−エチル−3−オキセタニル)メチルエステル(宇部興産社製、ETERNACOLL OXMA)を用いた。
オキセタン基を有する化合物として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
オキセタン基を有する化合物として、3−エチル−3−(フェノキシメチル) オキセタン(東亜合成社製、OXT−211)を用いた。
オキセタン基を有する化合物として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
オキセタン基を有する化合物として、3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン(東亜合成社製、OXT−221)を用いた。
オキセタン基を有する化合物として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
オキセタン基を有する化合物として、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン(東亜合成社製、OXT−212)を用いた。
オキセタン基を有する化合物として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
オキセタン基を有する化合物として、1,4−ビス{[(3-エチルー3−オキセタニル)メ トキシ]メチル}ベンゼン(東亜合成社製、アロンオキセタンOXT−121)を用いた。
充填材として、以下のPTFE粒子を10重量%、球状シリカ50重量%とした以外は、実施例1と同じにした。
充填材として、フッ素樹脂(PTFE)からなるもの(喜多村社製、KD−0600AS、トルエン分散溶液)を、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランで表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SE−2030、平均粒径0.5μm、粗粒3μmカット)を用いた。
充填材として、以下の無機多孔体を30重量%、球状シリカ30重量%とした以外は、実施例1と同じにした。
充填材として、無機多孔体(触媒化成社製、シリカマイクロビードP500、空隙率30%)を、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランで表面処理された球状シリカ(アドマテックス社製、SE−2030、平均粒径0.5μm、粗粒3μmカット)を用いた。
付加型ノルボルネン系樹脂として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
付加型ノルボルネン系樹脂として2−ノルボルネン/5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネン(90/10)モノマーの付加共重合体(A−2、Mw=200,000)を用いた。なお、付加型ノルボルネン系樹脂(A−2)は、下記の方法で合成した。
[付加型ノルボルネン系樹脂(A−2)の合成]
重合系の雰囲気を不活性ガスの窒素で十分に満たした反応容器中に、2−ノルボルネン16.95g(0.18mol)、5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネン3.60g(0.02mol)、重合溶剤としてエチルアセテート170g、シクロヘキサン147g(0.53M)を仕込んだ。次いで、遷移金属触媒(η6−トルエンニッケルビス(ペンタフルオロフェニル)1.39g(2.86×10-3mol)をトルエン10gに溶解させた触媒溶液を反応容器に投入した。室温で4時間攪拌重合させた後、氷酢酸94ml、30%過酸化水素水174ml、純水600mlの混合液に前記重合溶液を投入し、2時間攪拌した。水層の遷移金属触媒と樹脂溶液の有機層とに分離した溶液の水層を除去した。更に有機層を数回純水で洗浄した、そして、樹脂溶液をメタノール中に投入し環状オレフィン系樹脂を析出させた。固形分を濾過後、減圧乾燥し溶剤を除き付加型ノルボルネン系樹脂を得た。
付加型ノルボルネン系樹脂として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
付加型ノルボルネン系樹脂として2−ノルボルネン/5−トリメトキシシリル−2−ノルボルネン(90/10)モノマーの付加共重合体(A−3、Mw=200,000)を用いた。なお、付加型ノルボルネン系樹脂(A−3)は、下記の方法で合成した。
[付加型ノルボルネン系樹脂(A−3)の合成]
重合系の雰囲気を不活性ガスの窒素で十分に満たした反応容器中に、2−ノルボルネン16.95g(0.18mol)、5−トリメトキシシリル−2−ノルボルネン4.3g(0.02mol)、重合溶剤としてエチルアセテート170g、シクロヘキサン147g(0.53M)を仕込んだ。次いで、遷移金属触媒(η6−トルエンニッケルビス(ペンタフルオロフェニル)1.39g(2.86×10-3mol)をトルエン10gに溶解させた触媒溶液を反応容器に投入した。室温で4時間攪拌重合させた後、氷酢酸94ml、30%過酸化水素水174ml、純水600mlの混合液に前記重合溶液を投入し、2時間攪拌した。水層の遷移金属触媒と樹脂溶液の有機層とに分離した溶液の水層を除去した。更に有機層を数回純水で洗浄した、そして、樹脂溶液をメタノール中に投入し環状オレフィン系樹脂を析出させた。固形分を濾過後、減圧乾燥し溶剤を除き環状オレフィン系樹脂を得た。
付加型ノルボルネン系樹脂として以下のものを用いた以外は、実施例2と同じにした。
付加型ノルボルネン系樹脂として5−メチル−2−ノルボルネン/2−ノルボルネン−5−メチルアクリレート(90/10)モノマーの付加共重合体(A−4、Mw=200,000)を用いた。なお、付加型ノルボルネン系樹脂(A−4)は、下記の方法で合成した。
[付加型ノルボルネン系樹脂(A−4)の合成]
重合系の雰囲気を不活性ガスの窒素で十分に満たした反応容器中に、5−メチルー2−ノルボルネン16.23g(0.15mol)、2−ノルボルネン−5−メチルアクリレート9.62g(0.05mol)、重合溶剤としてメシチレン115g、を仕込んだ。次いで、遷移金属触媒([(アセチル)ビス(トリイソプロピルホスフィン)(アセトニトリル)パラジウム])0.0193g(1.60×10-5mol)、ルイス酸としてジメチルフェニルアンモニウムテトラキス(パーフルオロフェニル)ボレート0.0256g(3.20×10-5mol)、分子量調節剤としてトリエトキシシラン0.116gとを、トルエン1gに溶解させ、触媒溶液を反応容器に投入した。70℃で3時間攪拌重合させた後、樹脂溶液をメタノール中に投入し環状オレフィン系樹脂を析出させた。固形分を濾過後、減圧乾燥し溶剤を除き環状オレフィン系樹脂を得た。
オキセタン基を有する化合物を用いない以外は、実施例2と同じにした。
付加型ノルボルネン系樹脂として、架橋可能な基を持たない以下のホモポリマー(A−5)を用いた以外は実施例2と同じにした。
付加型ノルボルネン系樹脂として2−ノルボルネンのホモポリマー(A−5、Mw=200,000)を用いた。なお、付加型ノルボルネン系樹脂(A−5)は、下記の方法で合成した。
[付加型ノルボルネン系樹脂(A−5)の合成]
重合系の雰囲気を不活性ガスの窒素で十分に満たした反応容器中に、2−ノルボルネン18.8g(0.20mol)、重合溶剤としてエチルアセテート170g、シクロヘキサン147g(0.53M)を仕込んだ。次いで、遷移金属触媒(η6−トルエンニッケルビス(ペンタフルオロフェニル)1.39g(2.86×10-3mol)をトルエン10gに溶解させた触媒溶液を反応容器に投入した。室温で4時間攪拌重合させた後、氷酢酸94ml、30%過酸化水素水174ml、純水600mlの混合液に前記重合溶液を投入し、2時間攪拌した。水層の遷移金属触媒と樹脂溶液の有機層とに分離した溶液の水層を除去した。更に有機層を数回純水で洗浄した、そして、樹脂溶液をメタノール中に投入し環状オレフィン系樹脂を析出させた。固形分を濾過後、減圧乾燥し溶剤を除き環状オレフィン系樹脂を得た。
付加型ノルボルネン系樹脂の代わりに、以下の開環型ノルボルネン系樹脂を用いた以外は実施2と同じにした。
開環型ノルボルネン系樹脂として、テトラシクロドデセンと8−メチルテトラシクロドデセンを特開平4−363312号公報記載の公知の方法により開環重合水素添加物(Mw=52,000、水素化率95%)を用い、続いて、アリルグリシジルエーテル10部、2,5−ジメチル−2,5(t−ブチルパーオキシ)ヘキシンー3を5部加えて230℃で溶融混錬することによって、エポキシ変性を得た。
周波数1GHzにおける誘電率、誘電正接を測定した。測定機器は、円筒空洞共振機(アジレント・テクノロジー社製、マイクロ波ネットワークアナライザ HP8510B)を用いた。なお積層体よりキャリアフィルムを除去し、続いて窒素雰囲気下の乾燥機により200℃で1時間熱処理した樹脂組成物をサンプルとした。
熱歪測定装置(セイコーインスツルメント社製、EXSTAR6000 TMA/SS)を用いて、荷重20mN、昇温速度5℃/min、温度範囲−50〜350℃で測定した。ガラス転移温度は、熱変形量の変曲点とし、熱膨張率は0〜100℃での平均熱線膨張係数を算出した値とした。また。なお積層体よりキャリアフィルムを除去し、続いて窒素雰囲気下の乾燥機により200℃で1時間熱処理した樹脂組成物をサンプルとした。
各符号は以下の通りである。
◎:30ppm未満
○:30〜60ppm以下
△:60〜90ppm以下
×:90ppm以上
(実施例1A)
1.内層回路および絶縁層の形成
総厚さが0.2mmで銅箔厚さが12μmの両面銅張り積層板(住友ベークライト(株)製ELC−4785GS)を用いて、ドリル機で開孔後、無電解めっきで上下銅箔間の導通を図り、前記両面の銅箔をエッチングすることにより内層導体回路を両面に形成した。
次に内層導体回路に過酸化水素水と硫酸を主成分とする薬液(旭電化工業(株)製テックSO−G)をスプレー吹きつけすることにより粗化処理による凹凸形成を行い、実施例1で得られた積層体をベクレル式積層装置(名機製作所社製、MVLP500/600−II−A型)により温度150℃、圧力1MPa、時間1分の条件でラミネートした後、180℃で120分間のベーキング処理を行い、絶縁層を形成した。
次に、UV−YAGレーザー装置(三菱電機(株)製ML605LDX)を用いてφ40μmの開口部(ブラインド・ヴィアホール)を形成し、デスミア処理(日本マクダーミッド(株)製マキュダイザーシリーズ)を施した後、無電解銅めっき(上村工業(株)製スルカップPRX)を15分間行い、厚さ0.5μmの給電層を形成した。次に、この給電層表面に、厚さ25μmの紫外線感光性ドライフィルム(旭化成(株)製AQ−2558)をホットロールラミネーターにより貼り合わせ、最小線幅/線間が20/20μmのパターンが描画されたクロム蒸着マスク((株)トウワプロセス製)を使用して、位置合わせ、露光装置(ウシオ電機(株)製UX−1100SM−AJN01)により露光した。炭酸ソーダ水溶液にて現像し、めっきレジストを形成した。
実施例1で得られた積層体に替えて、実施例2〜12および参考例1で得た積層体を用いて、実施例1Aと同様にしてそれぞれ配線板を得た。
実施例1で得られた積層体に替えて、比較例1〜3で得た積層体を用いて、実施例1Aと同様にしてそれぞれ配線板を得た。
加工性は、回路厚みが12μmで配線ピッチ40μm(L/S=40/40)パターンの基板を用いて、絶縁層の充填性及び絶縁層厚みバラツキを走査型電子顕微鏡で断面を観察して確認した。なお積層体をベクレル式積層装置(名機製作所社製、MVLP500/600−II−A型)により温度150℃、圧力1MPa、時間1分の条件で上記回路基板上にラミネートした後、キャリアフィルムを剥離し180℃で60分間のベーキング処理して絶縁層を形成したもをサンプルとした。
各符号は以下の通りである。
◎:98%以上絶縁樹脂が充填され、かつ厚みバラツキは±2.5%以内
○:98%以上絶縁樹脂が充填されているか、
あるいは膜厚バラツキはが±2.5%より大きく±5%以内
△:95%以上98%未満絶縁樹脂が充填され、
かつ膜厚バラツキはが±2.5%より大きく±5%以内
×:95%未満絶縁樹脂が充填されているか、
あるいはあるいは膜厚バラツキはが±5%より大きい
接続信頼性は、温度30℃、湿度70%の雰囲気下で196時間放置後260℃リフローを3回行い、温度サイクル試験(−40℃、125℃各30分、さらしなし)を行ない、100サイクル毎に導通テストして、不良発生サイクルで評価した。
各符号は以下の通りである。
◎:800サイクル以上
○:500〜800サイクル
△:100〜500サイクル
×:100サイクル未満
絶縁信頼性は、温度100℃、湿度85%の雰囲気下で電圧DC5V、配線ピッチ20μm(L/S=40/40)パターンの基板を用いて、100時間放置後の導体間の絶縁抵抗値をデジタル絶縁抵抗値で評価した。各符号は以下の通りである。
◎:絶縁抵抗値1010Ω以上
○:絶縁抵抗値108〜109Ω
△:絶縁抵抗値107〜108Ω
×:絶縁抵抗値107未満
これに対し比較例1はオキセタン基を有する化合物が含まれていないため、熱膨張率が大きく、また加工性、接続信頼性、絶縁信頼性が特に劣っていた。比較例2は、付加型ノルボルネン系樹脂が架橋可能な基を有しないため、接続信頼性、絶縁信頼性が特に劣っていた。比較例3は、開環型ノルボルネン形樹脂を用いたため、ガラス転移温度が低く、接続信頼性が特に劣っていた。
2 キャリアフィルム
3 樹脂層
5 コア基板
10 配線板
31 樹脂層の開口部
32 導体回路
51 コア基板の開口部
52 導体回路
101 導体回路
102 開口部
103 コア基板
104 樹脂層
105 開口部
106 導体回路
107 導体ポスト
Claims (12)
- 回路基板の樹脂層を構成する樹脂組成物であって、
(A)2−ノルボルネン/5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネン共重合体、2−ノルボルネン/5−トリメトキシシリル−2−ノルボルネン共重合体、および5−メチル−2−ノルボルネン/2−ノルボルネン−5−メチルアクリレート共重合体からなる群から選択される少なくとも1種類の付加型ノルボルネン系樹脂と、(B)4,4'−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル、メタクリル酸(3−エチル−3−オキセタニル)メチルエステル、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン、3−エチル−3{[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]メチル}オキセタン、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、および1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼンからなる群から選択される少なくとも1種類のオキセタン基を有する化合物とを含み、
前記樹脂組成物は、さらに反応開始剤を含んでおり、
前記反応開始剤は、光または熱により酸を発生する化合物であることを特徴とする樹脂組成物。 - 前記樹脂組成物は、さらに充填材を含む請求項1に記載の樹脂組成物。
- 前記充填材は、シリカである請求項2に記載の樹脂組成物。
- 前記充填材は、フッ素樹脂で構成される粒子である請求項2に記載の樹脂組成物。
- 前記充填材は、無機多孔体である請求項2に記載の樹脂組成物。
- 配線板に用いる積層体であって、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の樹脂組成物より構成される樹脂層と、キャリアフィルムとを積層してなることを特徴とする積層体。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の樹脂組成物を用いて絶縁層を形成する工程と、回路層を形成する工程と、前記絶縁層をレーザー照射により開孔する工程とを含む配線板の製造方法。
- 前記絶縁層を形成する工程は、前記樹脂組成物を用いて得られたフィルムをラミネートして形成する工程を含む請求項7に記載の配線板の製造方法。
- 前記絶縁層を形成する工程におけるフィルムは、請求項6に記載の積層体である請求項7または8に記載の配線板の製造方法。
- 前記絶縁層を180℃以下の温度で加熱硬化する工程を含む請求項7乃至9のいずれか一項に記載の配線板の製造方法。
- 請求項7乃至10のいずれか一項に記載の製造方法により得られる配線板。
- 請求項6に記載の積層体を用いて形成された樹脂層を有することを特徴とする配線板。
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