JP5351598B2 - 除電装置 - Google Patents
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Description
本発明によれば、特定のガスの混入により放電空間で発生する正負イオンのバランスに偏りが生じても、これに伴う正味の電荷(電圧)の変動は、放電電極と対向電極との間に形成される実質的な容量と、この容量に直列に挿入したコンデンサの容量とによって分圧されることにより、対向電極に誘導される電位の大きさを所望の感度で制御可能となる。また、これによって対向電極を抜け出るイオンのバランスを所望の利得で制御可能となる。
一方、例えば特定のガスの混入により放電空間でより多くの正イオンが生成された場合には、該放電空間で正味(平均)の正電荷が増加することになり、この正電荷によって対向電極の電位は負側に誘導される。この負電位によって、より多くの正イオンが対向電極に捕捉されると同時に、負イオンは反発されるためより多くが対向電極を通過する。その結果、対向電極を抜け出る正イオンの増加は抑えられる共に、負イオンの通過は増加し、こうして対向電極を抜け出る正イオンと負イオンのバランスは略均等に保たれる。
逆に、特定のガスの混入により放電空間でより多くの負イオンが生成された場合は、該放電空間で正味(平均)の負電荷が増加することになり、この負電荷によって対向電極の電位は正側に誘導される。この正電位によって、より多くの負イオンが対向電極に捕捉されると同時に、正イオンは反発されるためより多くが対向電極を通過する。その結果、対向電極を抜け出る負イオンの増加は抑えられる共に、正イオンの通過は増加し、こうして対向電極を抜け出る正イオンと負イオンのバランスは略均等に保たれる。
かくして、本発明によれば、この除電装置を様々な放電雰囲気の下で使用しても、簡単な構成により均等なイオンバランスが自動的に保たれるため、常に除電対象物における電位の中和を促進でき、除電対象物表面の残留電位を小さくできる。
本発明の第7の態様では、前記出力制御回路による2系統の高周波電圧の切換周波数は10乃至100Hzの範囲である。
D=(1インチ/メッシュ数)−t
t:ハニカム構造の実質的な板厚
により求められる。
5 対向電極
10 高電圧発生回路
20 放電電極
30 ファン
60 ガード電極
70 除電対象物
Claims (7)
- 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n(nは自然数)個の放電針が、n個ずつ2つのグループに分けて構成された放電電極と、
前記各グループの放電針に対して互いに逆極性の直流高電圧を一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、
前記高電圧発生回路の高圧側共通端子と対向電極との間に直列に接続されたコンデンサと、
前記イオンが送出される前方空間を適宜の形状で遮る対向電極とを備え、
前記高電圧発生回路の2つの高圧側出力端子をそれぞれ各グループの放電針に接続し、かつそれらの高圧側共通端子を非接地の状態で前記対向電極に接続したことを特徴とする除電装置。 - 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n(nは自然数)個の放電針が、n個ずつ2つのグループに分けて構成された放電電極と、
前記各グループの放電針に対して互いに逆極性の直流高電圧を一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、
前記高電圧発生回路の高圧側共通端子と接地との間に直列に接続された第1、第2のコンデンサと、
前記第2のコンデンサの端子電圧を検出する高電圧異常検出回路と、
前記イオンが送出される前方空間を適宜の形状で遮る対向電極とを備え、
前記高電圧発生回路の2つの高圧側出力端子をそれぞれ各グループの放電針に接続し、かつそれらの高圧側共通端子を非接地の状態で前記対向電極に接続したことを特徴とする除電装置。 - 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n(nは自然数)個の放電針が、n個ずつ2つのグループに分けて構成された放電電極と、
前記各グループの放電針に対して互いに逆極性の直流高電圧を一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、
前記イオンが送出される前方空間を適宜の形状で遮る対向電極とを備え、
前記高電圧発生回路の2つの高圧側出力端子をそれぞれ各グループの放電針に接続し、かつそれらの高圧側共通端子を非接地の状態で前記対向電極に接続し、
前記対向電極の電位は、放電空間において正イオンが多い放電雰囲気であるときには負側に誘導され、放電空間において負イオンが多い放電雰囲気であるときには正側に誘導されることを特徴とする除電装置。 - 前記放電電極は矩形状平面の対角線上に向き合って配置された少なくとも4つの針電極を備え、一方の対角線上で向き合う放電針が一方のグループを構成し、かつ他方の対角線上で向き合う放電針が他方のグループを構成することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一つに記載の除電装置。
- 前記対向電極は、前記放電電極の下流側に所定間隔離れて設けられ、該放電電極と平行な面に多数の通風孔を有する導電性の電極であることを特徴とする請求項4記載の除電装置。
- 前記高電圧発生回路は、
直流電源回路と、
前記直流電源回路の直流電圧を高周波電圧に変換して2系統の出力ラインに一定期間毎に交互に切り換えて出力する出力制御回路と、
前記出力制御回路から出力された2系統の高周波電圧をそれぞれ高周波高電圧に昇圧して出力する絶縁型の変圧回路と、
前記変圧回路の出力の一方の高周波高電圧を互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換して各グループの放電針に印加し、次に他方の高周波高電圧を前記と逆極性の2つの直流高電圧に変換して前記各グループの放電針に印加する極性反転回路とを備えることを特徴とする請求項4又は5記載の除電装置。 - 前記出力制御回路による2系統の高周波電圧の切換周波数は10乃至100Hzの範囲であることを特徴とする請求項6記載の除電装置。
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