JP2015015234A - 除電装置 - Google Patents
除電装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015015234A JP2015015234A JP2014097652A JP2014097652A JP2015015234A JP 2015015234 A JP2015015234 A JP 2015015234A JP 2014097652 A JP2014097652 A JP 2014097652A JP 2014097652 A JP2014097652 A JP 2014097652A JP 2015015234 A JP2015015234 A JP 2015015234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode needle
- discharge electrode
- needle group
- power supply
- needles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
【解決手段】 第1の電極針グループの放電電極針2aと、第2の電極針グループの放電電極針2bとを配置するとともに、上記第1の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第1の電源回路5aと、上記第2の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第2の電源回路5bとを備え、上記第1及び第2の電源回路5a,5bは互いにその極性が反転した交番電圧を出力し、各放電電極針2a,2bの先端に発生する放電によってイオンを生成して処理対象を除電する。
【選択図】 図1
Description
例えば特許文献1に示す除電装置は、複数の放電電極針を備え、これら複数の放電電極針に同時に正の高電圧と、負の高電圧とを交互に印加することで、正イオンと負イオンとを交互に生成するものである。
このような除電装置を用いれば、例えば正に帯電した面は負イオンによって除電され、負に帯電した面は正イオンによって除電される。
その結果、処理対象の表面電位を0に近づけることができる。
例えば、半導体チップなどの静電気敏感デバイスは、その製造プロセスにおいて静電気帯電とこれに起因する放電によって損傷する可能性がある。このような静電気帯電による損傷を防止するため、静電気敏感デバイスの製造工程に除電装置を設置している。
また、上記交流成分を含んだ空間電位によって新たに正負に帯電してしまう物体もある。
このような定常状態における交流成分の電位は通常それほど高くならない。
しかし、高密度化が進んだ電子デバイスは特に静電気帯電に敏感で、それほど高くない帯電電位差によっても損傷してしまう可能性がある。
そのため、上記特許文献1のような除電装置は、静電気敏感デバイスの静電気帯電による損傷を防止することができないという問題があった。
また、処理対象が、両電極バーの中央位置から外れると、極性の偏りが大きくなるという問題もあった。
そのため、この特許文献2のような除電装置を用いても、静電気敏感デバイスを静電気帯電から守ることは難しかった。
なお、上記交番電圧は、時間的に極性が反転する電圧のことである。そして、この交番電圧には、交流電圧だけでなく、矩形波電圧も含まれる。
上記環状の配置には、放電電極針を円周に沿って配置することのほか、多角形の輪郭に沿って配置するものも含むものとする。
また、直線状に配置する放電電極針の本数を増減するだけで、様々な大きさの除電対象エリアに対応することができる。
図1に示すこの実施形態は、装置本体1内に8本の放電電極針2a、2bを環状に配置した除電装置である。これらの放電電極針2a、2bに高電圧を印加し、その先端側で生成されたイオンを風に乗せて放出させるようにしている。
なお、図1は、この除電装置の回路図であるが、上記放電電極針2a、2bの配置を示すために、装置本体1の輪郭及びイオン風が放出される送風窓1aを太線で示している。
また、上記送風窓1aには図示しない金属製のグリッドを設けて開口を覆うとともに、このグリッドを接地している。したがって、このグリッドが接地電極となり、上記送風窓1aがこの発明のイオン吹き出し口である。そして、上記放電電極針2a,2bのすべての先端はこの送風窓1aから同一距離になるように配置され、各放電電極針2a,2bの先端近傍で生成されたイオンがいずれも同様に上記送風窓1aから放出されるようにしている。
また、上記装置本体1内には、図示しない送風ファンを組み込み、図1の裏面側である装置の裏側から前面に向かって風を送り、上記イオンを乗せた風が上記送風窓1aから吹き出すようにしている。
上記トランス4の二次側は、その中点Pを接地させて、この中点Pを境にして一方側を第1の電源回路5aとし、他方側を第2の電源回路5bとしている。
このように上記中点Pを接地させたため、上記第1の電源回路5aと第2の電源回路5bとは、図2に示すように、位相を180°ずらして極性を反転させた電圧を出力することになる。
なお、図2中、実線で示したグラフaが第1の電源回路5aからの出力電圧であり、破線で示したグラフbが第2の電源回路5bからの出力電圧である。そして、上記図2の出力電圧は、それぞれ図1の出力端子6a,6bで計測した値である。
また、この第1実施形態では、放電電極針2a,2bに高電圧を印加したとき、放電電極針2a,2bの先端から上記送風窓1aに設けた図示しない接地グリッドに向かって放電が発生するように構成している。
上記のようなコンデンサ11を挿入すると、放電電極針2a,2bを接続した回路に流れる直流電流が阻止され、上記回路に流れる時間平均の正・負の電流、すなわち,正・負イオン電流が同じになり、結果的にイオンバランスが保たれることになる。そのメカニズムは以下のとおりである。
ただし、イオンバランスを保つために最適なコンデンサ11の容量は、他の条件に合わせて設定する必要がある。
この試験は、図1に示す除電装置の送風窓1aから一定距離、ここでは300〔mm〕離れた位置に、帯電していないテスト用の帯電プレートを設置し、上記除電装置を動作させたときの帯電プレートの表面電位を非接触型の電位計で検出するものである。
また、比較のため、8本全ての放電電極針を第1の電源回路5aに接続し、図2に示す実線aの電圧を印加する従来の放電装置を用いて同じ試験を行った。
図3には、上記実施形態の除電装置を動作させた場合のテスト用の帯電プレートの帯電電位の変化を実線のグラフAで示し、従来装置を動作させた場合の帯電プレートの帯電電位の変化を破線のグラフBで示している。
図3から明らかなように、この発明の除電装置を用いた場合と従来装置を用いた場合とでは、帯電プレートの表面電位のグラフA,Bに大きな差がある。
どちらの場合も交流成分を含んではいるが、グラフAはピーク間の電位差が約1〔V〕であるのに対し、グラフBは約23〔V〕であった。しかも、グラフAはその平均値が−0.33〔V〕であり、直流成分もほとんどなかった。
上記のように、第1実施形態の除電装置が、定常状態の表面電位の平均値をほぼ0にするとともに交流成分もほぼ0にできたのは、第1の電極針グループに印加する交流電圧と第2の電極針グループに印加する交流電圧の極性が逆極性になるように制御して、各放電電極から放出されるイオンの極性を正、負交互に切り換えながら、全体として正と負のイオンが同時に生成されるようにしたためである。
しかし、上記第1実施形態では、各放電電極針で生成されるイオンの極性が正、負交互になるとともに、第1の電極針グループと第2の電極針グループで生成されるイオンが逆極性になるようにしているので、全放電電極針で生成されるイオンの極性の時間的及び空間的な偏りが小さいイオン分布が実現できたものと考えられる。
また、上記全ての放電電極針2a,2bの先端を、上記送風窓1aの開口から等距離になるように配置することで、上記放電電極針2a,2bで生成された正負のイオンが偏りなく放出されることになる。
また、放電電極針2a,2bを配置する形状も、円や多角形などどのようなものでも構わないし、環状でなくてもかまわない。ただし、全放電電極針の間隔を等しく配置した方が、空間のイオン分布をより均一にして空間電位の交流成分を小さくすることができる。
また、上記放電電極針2aと2bとを交互に一直線状に配置した電極部13を、バー状に形成した装置本体に設けた点が上記第1実施形態と異なる。
ただし、第1の電極針グループを構成する放電電極針2aと、第2の電極針グループを構成する放電電極針2bとを備え、第1,2の電極針グループにそれぞれ交番電圧を印加する第1,2の電源回路を備える点は、上記第1実施形態と同じである。
そして、この第2実施形態では、図4に示した制御装置12以外の回路を全て同一装置本体内に設けるものとする。
また、上記各トランスT1〜T4の一次側にはそれぞれ発振回路14が接続され、この発振回路14が上記制御装置12から出力された直流電圧を図5に示す高周波電圧に変換して各トランスT1〜T4に入力する。
また、各トランスT1〜T4の二次側には、それぞれダイオードDとコンデンサCとの組を複数段備えた倍電圧整流回路15,16,17,18を接続している(図6参照)。
そして、各トランスT1〜T4の二次側に交互に発生した高周波状の高電圧を、上記倍電圧整流回路15〜18でさらに昇圧して、出力端子19、20及び21,22に矩形波の高電圧として出力するようにしている。
したがって、上記第1の電極針グループの放電電極針2aに接続された、上記トランスT1、T2、上記倍電圧整流回路15,16がこの発明の第1の電源回路を構成し、上記第2の電極針グループの放電電極針2bに接続された、上記トランスT3、T4、倍電圧整流回路17,18がこの発明の第2の電源回路を構成している。
ただし、上記出力端子19、20に出力される正、負の高電圧は、それぞれ上記スイッチS1、S2がオンになったときに出力される。すなわち、スイッチS1がオンのとき出力端子19から正の高電圧が出力され、スイッチS2がオンのとき出力端子20から負の高電圧が出力される。これらの合成電圧は図7(a)に実線で示す矩形波の交番電圧cとして出力端子23から出力される。
したがって、この第2実施形態においても、第1の電極針グループの放電電極針2aに印加される交番電圧cと第2の電極針グループの放電電極針2bに印加される交番電圧dとは逆極性になる。そのため、放電電極2a,2bからなる電極部13では常時、正のイオンと負のイオンとが同時に生成され、空間電位が正極性あるいは負極性に大きく偏ることがない。
そこで、この第2実施形態の除電装置も、定常状態における空間電位の交流成分を小さくでき、静電気敏感デバイスなどが静電気帯電で破損することを防止できる。
また、上記RC並列回路を構成する段のコンデンサCの容量を、他の段のコンデンサCの容量よりも大きくすれば、上記出力される矩形波の立ち上がりをさらによくすることができる(特許文献1及び2012−195193号公報参照)。
特に、上記第1の電極針グループと、第2の電極針グループとを、装置本体に設けたイオン吹き出し口から等距離に配置すれば、極性の偏りがより小さいイオン空間を生成でき、空間電位の交流成分をより小さくできる。
さらに、第2実施形態の電源回路は、バー状の装置本体だけでなく、様々な形状の除電器に用いることができる。例えば、第1実施形態のように放電電極針2a,2bを環状に配置した装置にも適用することができる。
また、上記第1実施形態のような交流電源をバー状の除電装置に用いてもよい。
1a (接地した金属グリッドを備えた)送風窓
2a (第1の電極針グループを構成する)放電電極針
2b (第2の電極針グループを構成する)放電電極針
3 交流電源
4 トランス
5 高電圧電源回路
5a 第1の電源回路
5b 第2の電源回路
12 制御装置
T1〜T4 トランス
15〜18 倍電圧整流回路
Claims (6)
- 複数の放電電極針と、
上記各放電電極針に、正または負の高電圧を印加するための高電圧電源回路とを備え、
上記各放電電極針の先端に発生する放電に基づいて生成されるイオンによって処理対象を除電する除電装置において、
上記放電電極針は、第1の電極針グループと、第2の電極針グループとからなり、
これら第1の電極針グループと第2の電極針グループとを本体内に備えるともに、
上記高電圧電源回路は、
上記第1の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第1の電源回路と、
上記第2の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第2の電源回路とを備え、
上記第1及び第2の電源回路は互いにその極性が反転した交番電圧を出力することを特徴とする除電装置。 - 上記放電電極針を環状に配置した請求項1に記載の除電装置。
- 本体には、イオン吹き出し口を備え、
上記第1の電極針グループと、第2の電極針グループとを、上記イオン吹き出し口から等距離に配置したことを特徴とする請求項1又は2に記載の除電装置。 - 上記第1の電極針グループの放電電極針の先端と、第2の電極針グループの放電電極針の先端とを交互に配置したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1に記載の除電装置。
- 上記第1の電極針グループの放電電極針と、第2の電極針グループの放電電極針とを同数にしたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1に記載の除電電極。
- 上記第1の電極針グループの放電電極針と、第2の電極針グループの放電電極針とをそれぞれ直線状に配置したことを特徴とする請求項1、3〜5のいずれか1に記載の除電装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014097652A JP2015015234A (ja) | 2013-06-05 | 2014-05-09 | 除電装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013118498 | 2013-06-05 | ||
JP2013118498 | 2013-06-05 | ||
JP2014097652A JP2015015234A (ja) | 2013-06-05 | 2014-05-09 | 除電装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015015234A true JP2015015234A (ja) | 2015-01-22 |
Family
ID=52436814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014097652A Pending JP2015015234A (ja) | 2013-06-05 | 2014-05-09 | 除電装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015015234A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019197616A (ja) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | 株式会社 資生堂 | 人体静電気制御装置及び人体静電気制御システム |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51128537A (en) * | 1974-03-27 | 1976-11-09 | Canon Inc | Ditchargcl for simultaneons exposure |
JPH08301607A (ja) * | 1995-05-10 | 1996-11-19 | Seiji Baba | 極性を選択してイオンをオゾンと共存状態で発生させる装置 |
JP2001297898A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Keyence Corp | プラズマ表面処理装置 |
JP2002093823A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2004253193A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Keyence Corp | 除電装置 |
JP2007087932A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-04-05 | Yamanashi Gijutsu Kobo:Kk | 高電圧発生回路およびイオナイザー |
WO2007122742A1 (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Hugle Electronics Inc. | イオナイザ |
JP2008226647A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Shishido Seidenki Kk | イオン生成装置 |
WO2008126725A1 (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-23 | Midori Anzen Co., Ltd. | 除電装置、イオンバランス調整回路、及び、イオンバランス調整電極 |
JP2009059590A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Sunx Ltd | 除電装置 |
JP2011060537A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Three M Innovative Properties Co | 除電装置 |
-
2014
- 2014-05-09 JP JP2014097652A patent/JP2015015234A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51128537A (en) * | 1974-03-27 | 1976-11-09 | Canon Inc | Ditchargcl for simultaneons exposure |
JPH08301607A (ja) * | 1995-05-10 | 1996-11-19 | Seiji Baba | 極性を選択してイオンをオゾンと共存状態で発生させる装置 |
JP2001297898A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Keyence Corp | プラズマ表面処理装置 |
JP2002093823A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-29 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2004253193A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Keyence Corp | 除電装置 |
JP2007087932A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-04-05 | Yamanashi Gijutsu Kobo:Kk | 高電圧発生回路およびイオナイザー |
WO2007122742A1 (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Hugle Electronics Inc. | イオナイザ |
JP2008226647A (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-25 | Shishido Seidenki Kk | イオン生成装置 |
WO2008126725A1 (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-23 | Midori Anzen Co., Ltd. | 除電装置、イオンバランス調整回路、及び、イオンバランス調整電極 |
JP2009059590A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Sunx Ltd | 除電装置 |
JP2011060537A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Three M Innovative Properties Co | 除電装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019197616A (ja) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | 株式会社 資生堂 | 人体静電気制御装置及び人体静電気制御システム |
JP7233172B2 (ja) | 2018-05-08 | 2023-03-06 | 株式会社 資生堂 | 人体静電気制御装置及び人体静電気制御システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6018088B2 (ja) | コロナ放電式マイクロパルスバイポーライオナイザー及び方法 | |
US6088211A (en) | Safety circuitry for ion generator | |
JP4818093B2 (ja) | 除電装置 | |
JP5351598B2 (ja) | 除電装置 | |
US7986505B2 (en) | Dual power source pulse generator for a triggering system | |
JP4519333B2 (ja) | パルスac式除電装置 | |
KR20030003523A (ko) | 고주파 교류 고전압을 이용한 정전기 제거장치 | |
KR20120085204A (ko) | 제전기 | |
JP5022775B2 (ja) | 除電装置 | |
JP5069491B2 (ja) | イオンバランス調整電極およびこれを備えた除電装置 | |
JP2007087932A (ja) | 高電圧発生回路およびイオナイザー | |
KR101876917B1 (ko) | 고전압 생성 회로 | |
JP2015015234A (ja) | 除電装置 | |
KR102474592B1 (ko) | 이오나이저 | |
KR101122710B1 (ko) | 제전장치, 이온 밸런스 조정회로 및 이온 밸런스 조정전극 | |
RU2621386C1 (ru) | Способ увеличения скорости электрического ветра и устройство для его осуществления | |
JP2789187B2 (ja) | 移動体の除電方法 | |
JP5794061B2 (ja) | 除電装置 | |
KR100206774B1 (ko) | 전기집진장치 | |
JP5069495B2 (ja) | イオンバランス調整回路および除電装置 | |
JP4245761B2 (ja) | 静電応用機器用パルス重畳型高電圧発生装置及び静電応用機器 | |
RU2288011C1 (ru) | Ионизатор воздуха и газов | |
KR101417899B1 (ko) | 이온 밸런스 조정 장치 | |
JP4508497B2 (ja) | 静電塗装装置 | |
KR101156603B1 (ko) | 방전관을 위한 펄스 전원용 공급장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180723 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181030 |