JP5349735B2 - 複層構造のゲート電極を有する薄膜トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
従来の技術と関連して説明したように、従来の薄膜トランジスタにおいて、ゲート電極として主に使用するCrは、反射率が過度に低く、熱を吸収する性質があった。理想的には、ゲート電極は、反射率が高く、レーザービームをいずれも反射する必要がある。図4は、波長による多様な物質の反射度を表すグラフを示す図面である。図4に示すように、熱処理工程で主に使用する約308nm波長の紫外線領域のレーザービームに対してCrの反射率は50%にも達し得ない。シリコン(Si)の反射率は、約66%程度である。これに対し、Alの場合には、ほぼ100%に近い反射率を示している。
21 バッファ層
22 シリコン層
23,24 ドーピング領域
25 絶縁層
26a,26b ゲート電極
28 ソース
29 ドレイン
Claims (14)
- ゲート電極の下部にあるシリコン層の両側のドーピング領域を熱処理して、ソースとドレインとを形成することによって、薄膜トランジスタを製造する薄膜トランジスタの製造方法において、
前記ゲート電極は、耐熱性材料よりなる第1ゲート電極と前記第1ゲート電極上に形成され、光反射性金属よりなる第2ゲート電極とで構成された複層構造の電極を使用し、
前記シリコン層の上面から全体的にレーザービームを照射して、前記ドーピング領域を熱処理し、
前記第2ゲート電極の厚さは、500Å以下であることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記第1ゲート電極は、Cr、Mo及びドーピングされたシリコンのうち少なくとも1つを使用することを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記第2ゲート電極は、Al及び/又はAl合金を使用することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記シリコン層は、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンよりなることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 基板上にバッファ層及びシリコン層を連続して積層する段階と、
前記シリコン層の上面の中心部に絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層上に耐熱性材料よりなる第1ゲート電極を形成する段階と、
前記第1ゲート電極上に光反射性金属よりなる第2ゲート電極を形成する段階と、
前記シリコン層の両側をドーピングする段階と、
前記シリコン層の上面全体に向かってレーザービームを照射してシリコン層の両側のドーピング領域を熱処理することによって、ソース及びドレインを形成する段階と、
を含み、
前記第2ゲート電極の厚さは、500Å以下であることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記バッファ層及び前記絶縁層は、SiO2を含むことを特徴とする請求項5に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記第1ゲート電極は、Cr、Mo及びドーピングされたシリコンのうち少なくとも1つを使用することを特徴とする請求項5に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記第2ゲート電極は、Al及び/又はAl合金を使用することを特徴とする請求項5ないし請求項7のうちいずれか1項に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- シリコン層の両側をドーピングして形成されたソースとドレイン、前記シリコン層の上面中心に部分的に形成された絶縁層、及び前記絶縁層上に形成されたゲート電極を含む薄膜トランジスタにおいて、
前記ゲート電極は、耐熱性材料よりなる第1ゲート電極と前記第1ゲート電極上に形成され、光反射性金属よりなる第2ゲート電極で構成された複層構造の電極であり、
前記第2ゲート電極の厚さは、500Å以下であることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 前記第1ゲート電極は、Cr、Mo及びドーピングされたシリコンのうち少なくとも1つを使用することを特徴とする請求項9に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記第2ゲート電極は、Al及び/又はAl合金を使用することを特徴とする請求項9または10に記載の薄膜トランジスタ。
- 前記シリコン層は、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンよりなることを特徴とする請求項9に記載の薄膜トランジスタ。
- 基板と、
前記基板上に形成されたバッファ層と、
前記バッファ層上に形成されたシリコン層と、
前記シリコン層の両側をドーピングして形成されたソース及びドレインと、
前記シリコン層の上面中心に部分的に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上に形成された複層構造のゲート電極と、
を備え、
前記複層構造のゲート電極は、耐熱性材料よりなる第1ゲート電極及び前記第1ゲート電極上に形成され、光反射性金属よりなる第2ゲート電極で構成され、
前記第2ゲート電極の厚さは、500Å以下であることを特徴とする薄膜トランジスタ。 - 前記第1ゲート電極は、Cr、Mo及びドーピングされたシリコンのうち少なくとも1つを含み、
前記第2ゲート電極は、Al及び/又はAl合金を含むことを特徴とする請求項13に記載の薄膜トランジスタ。
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