JP5335787B2 - 要素が機械加工されている間に該要素の厚さ寸法をチェックするための装置および方法 - Google Patents
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- 研削機械(6)での機械加工中に半導体ウエハ(1)の厚さ寸法をチェックするための装置であって、
赤外線帯域の光源(11)と、反射ビームの検出器(12)と、光学プローブ(3)とを有し、機械加工されるウエハ(1)の第1の表面(2)へ向けて赤外線ビームを長手方向経路(4)に沿って放射するとともに、前記第1の表面(2)と機械加工されるウエハ(1)によって画定される少なくとも1つの異なる表面(2’、2’’、2’’’)とによって反射されるビームを前記長手方向経路(4)にほぼ沿って受けるために前記光源(11)および前記検出器(12)が光学プローブ(3)に接続される検出システムと、
光学プローブ(3)を支持・位置決めするための支持・位置決め要素(7)と、
検出システムに接続される制御・処理ユニット(10)と、
液体(27)の外部液体源に接続されるとともに、光学プローブ(3)と機械加工されるウエハ(1)の前記第1の表面(2)との間に液体(27)のクッション(30)を形成するようになっている液圧ダクト(22)と
を含む装置において、
前記液圧ダクト(22)は、前記支持・位置決め要素(7)にあり、
前記液圧ダクト(22)は、
入口開口(23)と、
前記長手方向経路(4)に対して径方向に配置されるとともにウエハ(1)の前記第1の表面(2)と対向して配置されるようになっている出口穴(17)と連通し、光学プローブ(3)と前記第1の表面(2)との間に層流状態の液体(27)の前記クッション(30)を形成するようになっている複数の径方向の内部チャンネル(25)と
を含み、
前記長手方向経路(4)の空気(15)を通り抜ける経路の部分と前記液体(27)の前記クッション(30)を通り抜ける短経路の部分とを分離するガラス(20)を有し、前記複数の内部チャンネル(25)は前記ガラス(20)に接するように配置される
ことを特徴とする装置。 - 前記内部チャンネル(25)は、4つであり、それらが互いに対して90°の角度を成すように配置される、請求項1に記載の装置。
- 支持・位置決め要素(7)が本体(14)と閉塞プレート(16)とを含み、前記液圧ダクト(22)が閉塞プレート(16)に設けられる、請求項1から2のいずれか一項に記載の装置。
- 支持・位置決め要素(7)が軸方向開口(15)を形成し、長手方向経路(4)が前記軸方向開口(15)を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
- 軸方向開口(15)が前記ガラス(20)によって液圧ダクト(22)からシール分離される、請求項4に記載の装置。
- 前記液体(27)が脱塩水である、請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記液体(27)が研削機械によるウエハ(1)の機械加工でも使用される、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記検出器(12)は、受けられる反射ビームに対応する電気信号を発するようになっており、制御・処理ユニット(10)は、検出器(12)に接続され且つ前記電気信号を受けて干渉タイプの処理を実行するようになっている回路を含む、請求項1に記載の装置。
- 研削機械(6)での機械加工中に赤外線光学プローブ(3)と関連する支持・位置決め要素(7)とによって半導体ウエハ(1)の厚さ寸法をチェックするための方法であって、
赤外線ビームを発生させるとともに、該赤外線ビームを光学プローブ(3)を通じて長手方向経路(4)に沿って機械加工されるウエハ(1)の第1の表面(2)へ向けて伝送するステップと、
前記第1の表面(2)と機械加工されるウエハ(1)によって画定される少なくとも1つの異なる表面(2’、2’’、2’’’)とによって反射されて長手方向経路(4)および光学プローブ(3)を通じて受けられるビームを検出するステップと、
機械加工されるウエハ(1)の厚さ寸法に関する情報を得るために干渉システムを用いて反射ビームを処理するステップと、
液圧ダクト(22)を通じて液体(27)を送るとともに、光学プローブ(3)と機械加工されるウエハ(1)の前記第1の表面(2)との間に前記液体(27)のクッション(30)を形成するステップと
を含む方法において、
前記液圧ダクト(22)は前記支持・位置決め要素(7)に配置され、
前記液体(27)の前記クッション(30)は光学プローブ(3)と前記第1の表面(2)との間に層流を有し、
前記液体(27)は、前記液体(27)の規則的な流れおよび前記層流状態の前記液体(27)の維持が向上されるように、前記液圧ダクト(22)の複数の径方向の内部チャンネル(25)に送られ、
前記長手方向経路(4)は空気(15)を通り抜ける経路の部分と前記液体(27)の前記クッション(30)を通り抜ける短経路の部分を含み、
前記長手方向経路(4)の空気(15)を通り抜ける経路の部分と前記液体(27)の前記クッション(30)を通り抜ける短経路の部分とを分離するガラス(20)を有し、前記複数の内部チャンネル(25)は前記ガラス(20)に接するように配置される
ことを特徴とする方法。 - 前記液体(27)は、研削機械によるウエハ(1)の機械加工で使用される冷却剤である、請求項9に記載の方法。
- ウエハによって画定される前記少なくとも1つの異なる表面は、前記第1の表面(2)と反対側のウエハ(1)の外面(2’)である請求項9から10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ウエハ(1)が少なくとも2つの層(1’、1’’、1’’’)から形成され、ウエハによって画定される前記少なくとも1つの異なる表面は、前記少なくとも2つの層(1’、1’’、1’’’)を分離する不連続面(2’’、2’’’)である請求項9から10のいずれか一項に記載の方法。
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