JP5333538B2 - 弾性表面波センサ - Google Patents
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Description
歪みおよび温度の測定対象である測定物(20)の一面(201)上に配置され、一部もしくは全部が圧電材料で構成された基板(10)と、
基板(10)の上面(101)に形成され、弾性表面波を発振もしくは受信する第1電極(11)と、
基板(10)の上面(101)に形成され、第1電極(11)から発振された弾性表面波を受信もしくは反射する第2電極(12)と、
基板(10)の上面(101)のうち第1電極(11)と第2電極(12)との間に位置し、第1電極(11)から第2電極(12)に向かって弾性表面波が伝搬する伝搬路(13)と、
第1電極(11)から発振された弾性表面波の位相と第2電極(12)で受信もしくは反射した弾性表面波の位相とを検出する位相検出手段(3)と、
第1電極(11)の共振周波数を検出する周波数検出手段(5)とを備え、
基板(10)は、下面(102)のうち伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)が測定物(20)に固定され、下面(102)のうち第1電極(11)および第2電極(12)の真下に位置する領域(102b、102c)が測定物(20)に固定されていないことを特徴とする。
介在物(40)が接合材(30)により測定物(20)に接合されていることを特徴とする。
図1(a)に本実施形態におけるセンサ全体の概略構成を示し、図1(b)に図1(a)中のA−A’線断面図を示す。
図6(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図6(b)に図6(a)中のB−B’線断面図を示す。
図7(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図7(b)に図7(a)中のC−C’線断面図を示す。
図8(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図8(b)に図8(a)中のD−D’線断面図を示す。
図9(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図9(b)に図9(a)中のE−E’線断面図を示す。
図10(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図10(b)に図10(a)中のF−F’線断面図を示す。
図11(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図11(b)に図11(a)中のG−G’線断面図を示す。
図12(a)に本実施形態におけるSAWデバイスの平面図を示し、図12(b)に図12(a)中のH−H’線断面図を示す。
本実施形態は、第8実施形態で説明したSAWデバイス1および測定物20に対して、凹形状と凸形状とを入れ替えたものである。
(1)上述の各実施形態では、基板10として、全部が圧電材料で構成されたものを用いたが、支持基板上に圧電材料で構成された圧電薄膜が形成された場合のように、一部が圧電材料で構成されたものを用いても良い。
3 位相検出回路(位相検出手段)
5 周波数カウンタ(周波数検出手段)
10 基板
101 基板上面
102 基板下面
102a 基板下面のうち伝搬路の真下に位置する領域
102b 基板下面のうち駆動電極(第1電極)の真下に位置する領域
102c 基板下面のうち反射器(第2電極)の真下に位置する領域
11 駆動電極(第1電極)
12 反射器(第2電極)
13 伝搬路
20 測定物
201 測定物の一面
201a 測定物の一面のうち伝搬路の真下に位置する領域
201b 測定物の一面のうち駆動電極(第1電極)の真下に位置する領域
201c 測定物の一面のうち反射器(第2電極)の真下に位置する領域
30 接合材
40 金属板(介在物)
50 ゲル状部材
60 潤滑シート(シート状の非接合材)
Claims (9)
- 歪みおよび温度の測定対象である測定物(20)の一面(201)上に配置され、一部もしくは全部が圧電材料で構成された基板(10)と、
前記基板(10)の上面(101)に形成され、弾性表面波を発振もしくは受信する第1電極(11)と、
前記基板(10)の上面(101)に形成され、前記第1電極(11)から発振された弾性表面波を受信もしくは反射する第2電極(12)と、
前記基板(10)の上面(101)のうち前記第1電極(11)と前記第2電極(12)との間に位置し、前記第1電極(11)から前記第2電極(12)に向かって弾性表面波が伝搬する伝搬路(13)と、
前記第1電極(11)から発振された弾性表面波の位相と前記第2電極(12)で受信もしくは反射した弾性表面波の位相とを検出する位相検出手段(3)と、
前記第1電極(11)の共振周波数を検出する周波数検出手段(5)とを備え、
前記基板(10)は、前記下面(102)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)が前記測定物(20)に固定され、前記下面(102)のうち前記第1電極(11)および前記第2電極(12)の真下に位置する領域(102b、102c)が前記測定物(20)に固定されていないことを特徴とする弾性表面波センサ。 - 前記基板(10)は、前記下面(102)のうち前記第1、第2電極(11、12)の真下に位置する領域(102b、102c)が、前記下面(102)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)よりも凹んでいる形状であり、
前記下面(102)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)が、接合材(30)により、前記測定物(20)に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波センサ。 - (従属)
前記基板(10)は、前記下面(102)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)に、凹凸(14、15)が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の弾性表面波センサ。 - 前記測定物(20)は、前記一面(201)のうち前記第1、第2電極(11、12)の真下に位置する領域(201b、201c)が、前記一面(201)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(201a)よりも凹んでいる形状であり、
前記一面(201)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(201a)が、接合材(30)により、前記基板(10)に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波センサ。 - 前記基板(10)は、前記下面(102)のうち前記第1、第2電極(11、12)の真下に位置する領域(102b、102c)が、前記下面(102)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)よりも突出した形状であることを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波センサ。
- 前記基板(10)の前記下面(102)における前記第1、第2電極(11、12)および前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102b、102c、102a)のうち前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)のみと前記測定物(20)との間に、接合材(30)が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波センサ。
- 前記基板(10)の前記下面(102)のうち前記第1、第2電極(11、12)の真下に位置する領域(102b、102c)と前記測定物(20)との間に、前記基板(10)と前記測定物(20)とを接合しないシート状の非接合材(60)が配置されていることを特徴とする請求項6に記載の弾性表面波センサ。
- 前記基板(10)の前記下面(102)における前記第1、第2電極(11、12)および前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102b、102c、102a)のうち、前記伝搬路(13)の真下に位置する領域(102a)のみが、介在物(40)に接合材(30)により接合され、
前記介在物(40)が接合材(30)により前記測定物(20)に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波センサ。 - 前記基板(10)の前記下面(102)のうち前記第1、第2電極(11、12)の真下に位置する領域(102b、102c)と前記測定物(20)との間に、ゲル状部材(50)が配置されていることを特徴とする請求項2〜6、8のいずれか1つに記載の弾性表面波センサ。
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