JPH0265406A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
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- JPH0265406A JPH0265406A JP21715088A JP21715088A JPH0265406A JP H0265406 A JPH0265406 A JP H0265406A JP 21715088 A JP21715088 A JP 21715088A JP 21715088 A JP21715088 A JP 21715088A JP H0265406 A JPH0265406 A JP H0265406A
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- JP
- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- wave resonator
- substrate
- reflectors
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- Pending
Links
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、中央部の励振電極を挟んで左右に一対の反射
器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設置され、基
板両端部分を固定して用いる弾性表面波共振子に関する
ものである。
器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設置され、基
板両端部分を固定して用いる弾性表面波共振子に関する
ものである。
［従来の技術］
以下図面を用いて従来の技術を説明する。
第２図は従来の一般に用いられる弾性表面波共振子の構
造図である。
造図である。
第２図において、Ａｏは弾性表面波を用いた弾性表面波
共振子である。この弾性表面波を用いた弾性表面波共振
子ＡＯにあっては、数十〜数百ＭＨ２という高い周波数
で利用されており、その共振周波数は、櫛形電極のピッ
チで決定されている。
共振子である。この弾性表面波を用いた弾性表面波共振
子ＡＯにあっては、数十〜数百ＭＨ２という高い周波数
で利用されており、その共振周波数は、櫛形電極のピッ
チで決定されている。
１は共振測定に対して弾性定数の良い１例えば水晶やリ
チウムナイオベート＜Ｌｔ Ｎｂ Ｏ：］ ）や］リチ
ウムタンタレー （Ｌ／ ”Ｉ’ａ ０３ ）等から成
る基板であり、例えば基板にＳＴカット水晶を用いて７
５０ＭＨ２の共振子を実現する場合の電極のピッチは２
μｍとなる。２は基板１の弾性表面波が伝搬する面の中
央部分にエツチング等の技術を用いて設けられた例えば
Ａ１等から成る励＠電極である。３はＷｊＪ＠Ｔ４極２
を挟んで左右に前記加工技術を用いて設けられた例えば
Ａ１等から成る一対の反射器である。この様な弾性表面
波共振子ＡＯは、基板両端部分を例えばハーメチック端
子や発振回路を含むプリント基板上等（図省略）の他の
固定要素に接着剤等を用いて取付・固定され、用いられ
ている。
チウムナイオベート＜Ｌｔ Ｎｂ Ｏ：］ ）や］リチ
ウムタンタレー （Ｌ／ ”Ｉ’ａ ０３ ）等から成
る基板であり、例えば基板にＳＴカット水晶を用いて７
５０ＭＨ２の共振子を実現する場合の電極のピッチは２
μｍとなる。２は基板１の弾性表面波が伝搬する面の中
央部分にエツチング等の技術を用いて設けられた例えば
Ａ１等から成る励＠電極である。３はＷｊＪ＠Ｔ４極２
を挟んで左右に前記加工技術を用いて設けられた例えば
Ａ１等から成る一対の反射器である。この様な弾性表面
波共振子ＡＯは、基板両端部分を例えばハーメチック端
子や発振回路を含むプリント基板上等（図省略）の他の
固定要素に接着剤等を用いて取付・固定され、用いられ
ている。
［発明が解決しようとする課Ｍｆ１］
ところで、このような構造は、弾性表面波共振子側〇の
基板両端部分と、この弾性表面波共振子Ａ０を取付ける
前記他の固定要素（プリント基板）の材料との線膨脹係
数の違いにより温度変化等で熱歪みを生じるために、共
振周波数が変化しなり、接着剤の経時変化による応力や
歪み等の影響を受ける、という問題点があった。
基板両端部分と、この弾性表面波共振子Ａ０を取付ける
前記他の固定要素（プリント基板）の材料との線膨脹係
数の違いにより温度変化等で熱歪みを生じるために、共
振周波数が変化しなり、接着剤の経時変化による応力や
歪み等の影響を受ける、という問題点があった。
本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、弾性
表面波共振子側の基板を加工して弾性表面波共振子両端
部分に歪みを吸収する一対の弾性部を設けて、接着剤の
経時変化による応力や温度変化等による熱歪み等による
影響を低減して、安定な弾性表面波共振子を実現して提
供するものである。
てなされたものであり、その目的とするところは、弾性
表面波共振子側の基板を加工して弾性表面波共振子両端
部分に歪みを吸収する一対の弾性部を設けて、接着剤の
経時変化による応力や温度変化等による熱歪み等による
影響を低減して、安定な弾性表面波共振子を実現して提
供するものである。
［課題を解決するための手段］
上記１」的を達成するために、本発明の弾性表面波共振
子は〜中央部分に励振電極、該励振電極を挟んで左右に
一対の反射器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設
置され、該基板両端部分を固定して用いる弾性表面波共
振子において、前記基板両端部分の前記一対の反射器の
夫々外側位置に、歪みを吸収する一対の弾性部、及び該
一対の弾性部の更に外側に固定部を設け、この時に前記
一対の弾性部及び前記固定部をエツチング加工で一体Ｍ
４！！に製作するようにしたものである。
子は〜中央部分に励振電極、該励振電極を挟んで左右に
一対の反射器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設
置され、該基板両端部分を固定して用いる弾性表面波共
振子において、前記基板両端部分の前記一対の反射器の
夫々外側位置に、歪みを吸収する一対の弾性部、及び該
一対の弾性部の更に外側に固定部を設け、この時に前記
一対の弾性部及び前記固定部をエツチング加工で一体Ｍ
４！！に製作するようにしたものである。
［実施例］
実施例について図面を参照して説明する。
尚、以下の図面において、第２図と重複する部分は同一
番号を付してその説明は省略する。
番号を付してその説明は省略する。
第１図は本発明の具体的実施例を示す弾性表面波共振子
の構造図である。
の構造図である。
第１図において、Ａ、は本発明による弾性表面波共振子
である。この弾性表面波共振子Ａ、は、基板１上に中央
部分の励振電極３を挟んでか右に一対の反射器２が夫々
設置されており、この基板１の両端部分の、一対の反射
器の夫々更に外側位置に、歪みを吸収する一対の弾性部
である例えばばね部４と、このばね部４の更に外側に固
定部５が、従来公知のエツチング加工技術で、一体構造
に製作して設けられている。そして固定部５が例えばハ
ーメチック端子やプリント基板上等（図省略）の他の固
定要素に接着剤等を用いて取付・固定された状態で用い
られる。
である。この弾性表面波共振子Ａ、は、基板１上に中央
部分の励振電極３を挟んでか右に一対の反射器２が夫々
設置されており、この基板１の両端部分の、一対の反射
器の夫々更に外側位置に、歪みを吸収する一対の弾性部
である例えばばね部４と、このばね部４の更に外側に固
定部５が、従来公知のエツチング加工技術で、一体構造
に製作して設けられている。そして固定部５が例えばハ
ーメチック端子やプリント基板上等（図省略）の他の固
定要素に接着剤等を用いて取付・固定された状態で用い
られる。
この様な構造とすることで、熱歪みが生じた場合、ばね
部４で歪み又は応力が吸収されるから、弾性表面波共振
子Ａ、の励振電極３．一対の反射器２には歪み、又は応
力が作用しなくなる。
部４で歪み又は応力が吸収されるから、弾性表面波共振
子Ａ、の励振電極３．一対の反射器２には歪み、又は応
力が作用しなくなる。
［発明の効果］
本発明は、以上説明したような支持４１Ｉ造から成る構
成とされているので、弾性表面波共振子の基板両端部分
とこの弾性表面波共振子を取付ける他の固定要素の材料
との線膨脹係数の違いによる温度変化等の熱歪みや接着
剤の経時変化による応力や歪み等の影響を、ばね部で吸
収できる。言替えれば、共振子に歪み又は応力を与える
ことなく固定することが可能となるから、長期的な安定
性が期待できる、という効果を奏する。
成とされているので、弾性表面波共振子の基板両端部分
とこの弾性表面波共振子を取付ける他の固定要素の材料
との線膨脹係数の違いによる温度変化等の熱歪みや接着
剤の経時変化による応力や歪み等の影響を、ばね部で吸
収できる。言替えれば、共振子に歪み又は応力を与える
ことなく固定することが可能となるから、長期的な安定
性が期待できる、という効果を奏する。
第１図は本発明の具体的実施例を示す弾性表面波共振子
の構造図、第２図は従来の一般に用いられる弾性表面波
共振子の構造図である。
の構造図、第２図は従来の一般に用いられる弾性表面波
共振子の構造図である。
Claims (1)
- 中央部分に励振電極、該励振電極を挟んで左右に一対の
反射器が夫々基板の弾性表面波が伝搬する面に設置され
、該基板両端部分を固定して用いる弾性表面波共振子に
おいて、前記基板両端部分の前記一対の反射器の夫々外
側位置に、歪みを吸収する一対の弾性部，及び該一対の
弾性部の更に外側に固定部が、エッチング加工で一体構
造に製作されて設けられた事を特徴とする弾性表面波共
振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21715088A JPH0265406A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21715088A JPH0265406A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265406A true JPH0265406A (ja) | 1990-03-06 |
Family
ID=16699640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21715088A Pending JPH0265406A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0265406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8841817B2 (en) | 2011-07-27 | 2014-09-23 | Denso Corporation | Surface acoustic wave sensor |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP21715088A patent/JPH0265406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8841817B2 (en) | 2011-07-27 | 2014-09-23 | Denso Corporation | Surface acoustic wave sensor |
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