JP5330723B2 - 光電変換装置 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 87
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 124
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 claims abstract description 92
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 87
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 57
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 79
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 9
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 6
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 4
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001782 photodegradation Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910009372 YVO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0236—Special surface textures
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0236—Special surface textures
- H01L31/02366—Special surface textures of the substrate or of a layer on the substrate, e.g. textured ITO/glass substrate or superstrate, textured polymer layer on glass substrate
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/075—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PIN type, e.g. amorphous silicon PIN solar cells
- H01L31/077—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PIN type, e.g. amorphous silicon PIN solar cells the devices comprising monocrystalline or polycrystalline materials
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
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- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description
図1は、本実施形態に係る光電変換装置の構成を示す概略図である。光電変換装置100は、シリコン系太陽電池であり、基板1、透明電極層2、光電変換層3としての第1電池層91(非晶質シリコン系)及び第2電池層92(結晶質シリコン系)、及び、裏面電極層4を備える。なお、ここで、シリコン系とはシリコン(Si)やシリコンカーバイト(SiC)やシリコンゲルマニウム(SiGe)を含む総称である。また、結晶質シリコン系とは、非晶質シリコン系以外のシリコン系を意味するものであり、微結晶シリコンや多結晶シリコン系も含まれる。
基板1としてソーダフロートガラス基板(例えば、1.4m×1.1m×板厚:3〜6mmの一辺が1mを超える大面積基板)を使用する。基板端面は熱応力や衝撃などによる破損防止にコーナー面取りやR面取り加工されていることが望ましい。
透明電極層2として酸化錫(SnO2)を主成分とする膜厚約500nm以上800nm以下の透明電極膜を、熱CVD装置にて約500℃で製膜する。この際、透明電極膜の表面には、適当な凹凸のあるテクスチャーが形成される。透明電極層2として、透明電極膜に加えて、基板1と透明電極膜との間にアルカリバリア膜(図示されず)を形成しても良い。アルカリバリア膜は、膜厚50nm以上150nm以下の酸化シリコン膜(SiO2)を熱CVD装置にて約500℃で製膜する。
その後、基板1をX−Yテーブルに設置して、YAGレーザーの第1高調波(1064nm)を、図の矢印に示すように、透明電極層の層面側から入射する。加工速度が適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極膜を発電セルの直列接続方向に対して垂直な方向へ、基板1とレーザー光を相対移動して、溝10を形成するように幅約6mmから15mmの所定幅の短冊状にレーザーエッチングする。
第1電池層91として、非晶質シリコン薄膜からなるp層、i層及びn層を、プラズマCVD装置により製膜する。SiH4ガス及びH2ガスを主原料にして、減圧雰囲気:30Pa以上1000Pa以下、基板温度:約200℃にて、透明電極層2上に太陽光の入射する側から非晶質シリコンp層31、非晶質シリコンi層32、非晶質シリコンn層33の順で製膜する。非晶質シリコンp層31は非晶質のBドープシリコン膜であり、膜厚10nm以上30nm以下である。非晶質シリコンi層32は、膜厚170nm以上250nm以下である。非晶質シリコンn層33はPドープ非晶質シリコン膜であり、膜厚30nm以上50nm以下である。非晶質シリコンn層の代わりに、Pドープ結晶質シリコン膜からなる結晶質シリコンn層を設けても良い。非晶質シリコンp層31と非晶質シリコンi層32の間には界面特性の向上のためにバッファー層を設けても良い。
基板1をX−Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第2高調波(532nm)を、図の矢印に示すように、光電変換層3の膜面側から入射する。パルス発振:10kHz以上20kHz以下として加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極層2のレーザーエッチングラインの約100μmから150μmの横側を、溝11を形成するようにレーザーエッチングする。またこのレーザーは基板1側から入射しても良い。この場合は光電変換層3の第1電池層91で吸収されたエネルギーで発生する高い蒸気圧を利用できるので、更に安定したレーザーエッチング加工を行うことが可能となる。レーザーエッチングラインの位置は前工程でのエッチングラインと交差しないように位置決め公差を考慮して選定する。
裏面電極層4としてAg膜/Ti膜をスパッタリング装置により減圧雰囲気、約150℃にて順次製膜する。本実施形態では、裏面電極層4はAg膜:200nm以上500nm以下、これを保護するものとして防食効果の高いTi膜:10nm以上20nm以下をこの順に積層させたものとされる。第2電池層92のn層と裏面電極層4との接触抵抗低減と光反射向上を目的に、光電変換層3と裏面電極層4との間にGZO(GaドープZnO)膜を膜厚:50nm以上100nm以下、スパッタリング装置により製膜して設けても良い。また、Ti膜に変えてAl膜:250nm以上350nm以下としてもよい。TiをAlとすることで、防食効果を保持しつつ、材料コストを低減することが可能となる。
基板1をX−Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第2高調波(532nm)を、図の矢印に示すように、基板1側から入射する。レーザー光が光電変換層3で吸収され、このとき発生する高いガス蒸気圧を利用して裏面電極層4が爆裂して除去される。パルス発振:1kHz以上10kHz以下として加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極層2のレーザーエッチングラインの約250μmから400μmの横側を、溝12を形成するようにレーザーエッチングする。
発電領域を区分して、基板端周辺の膜端部においてレーザーエッチングによる直列接続部分が短絡し易い影響を除去する。基板1をX−Yテーブルに設置して、レーザーダイオード励起YAGレーザーの第2高調波(532nm)を、基板1側から入射する。レーザー光が透明電極層2と光電変換層3とで吸収され、このとき発生する高いガス蒸気圧を利用して裏面電極層4が爆裂して、裏面電極層4/光電変換層3/透明電極層2が除去される。パルス発振:1kHz以上10kHz以下として加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、基板1の端部から5mmから20mmの位置を、図3(c)に示すように、X方向絶縁溝15を形成するようにレーザーエッチングする。このとき、Y方向絶縁溝は後工程で基板1周囲領域の膜面研磨除去処理を行うので、設ける必要がない。
後工程のEVA等を介したバックシート24との健全な接着・シール面を確保するために、基板1周辺(周囲領域14)の積層膜は、段差があるとともに剥離し易いため、積層膜を除去する。基板1の端から5mmから20mmで基板1の全周囲にわたり、X方向は前述の図3(c)工程で設けた絶縁溝15よりも基板端側において、Y方向は基板端側部付近の溝10よりも基板端側において、裏面電極層4/光電変換層3/透明電極層2を、砥石研磨やブラスト研磨などを用いて除去を行う。研磨屑や砥粒は基板1を洗浄処理して除去する。
端子箱取付け部分はバックシート24に開口貫通窓を設けて集電板を取出す。この開口貫通窓部分には絶縁材を複数層設置して外部からの湿分などの浸入を抑制する。
太陽電池モジュール6の裏側に端子箱23を接着剤で取付ける。
銅箔と端子箱23の出力ケーブルとをハンダ等で接続し、端子箱内部を封止剤(ポッティング剤)で充填して密閉する。これで太陽電池パネル50が完成する。
図5(b)までの工程で形成された太陽電池パネル50について発電検査ならびに、所定の性能試験を行う。発電検査は、AM1.5、全天日射基準太陽光(1000W/m2)のソーラシミュレータを用いて行う。
発電検査(図5(c))に前後して、外観検査をはじめ所定の性能検査を行う。
大きさが1.4m×1.1mのガラス基板上に、第1電池層91としての非晶質シリコン層及び第2電池層92としての結晶質シリコン層をCVD法により形成し、タンデム型太陽電池モジュールを作製した。なお、結晶質シリコンi層42の製膜では、製膜速度2nm/secにて、プラズマ電極への印加電力及び水素希釈率を適宜調整し、基板面内におけるラマンピーク比の分布を制御した。
大きさが1.4m×1.1mのガラス基板上に、第1電池層91としての非晶質シリコン層及び第2電池層92としての結晶質シリコン層をCVD法により形成した。その後、基板を2分割して、基板の大きさが0.7m×1.1mのタンデム型太陽電池モジュールを作製した。なお、結晶質シリコンi層42の製膜では、製膜速度2nm/secにて、印加電力及び水素希釈率を適宜調整し、基板面内における結晶性の分布を制御した。
大きさが1.4m×1.1mのガラス基板上に、それぞれ非晶質シリコンi層の膜厚が220nm及び350nmである第1電池層91をCVD法により形成した。ここで、太陽電池モジュールの生産性を変えないために、非晶質シリコンi層を同一製膜時間で積層出来るように、製膜プロセスを調整した。第1電池層91上に、実施例1においてラマンピーク比の範囲が3〜10、平均値が6.3、標準偏差が1.7、ラマンピーク比4以下の領域の割合が3%以下となった結晶質シリコンi層を有する第2電池層92をCVD法により形成し、タンデム型太陽電池モジュールを得た。
平均膜厚50nmの中間コンタクト層5を設けた太陽電池モジュール、及び、中間コンタクト層を設けない太陽電池モジュール(それぞれ、基板の大きさが1.4m×1.1m)を作製した。中間コンタクト層を設けた太陽電池モジュールでは、第1電池層91の非晶質シリコンi層の膜厚を220nmとした。中間コンタクト層を設けない太陽電池モジュールでは、第1電池層と第2電池層との発電電流の整合をとるために、非晶質シリコンi層の膜厚を320nmとした。なお、生産性を変えないために、非晶質シリコンi層を同一製膜時間で積層出来るように、製膜プロセスを調整した。いずれの太陽電池モジュールにおいても、結晶質シリコンi層のラマンピーク比の範囲が3〜10、平均値が6.3、標準偏差が1.7、ラマンピーク比4以下の領域の割合が3%以下となるように、第2電池層92を形成した。
2 透明電極層
3 光電変換層
4 裏面電極層
5 中間コンタクト層
6 太陽電池モジュール
31 非晶質シリコンp層
32 非晶質シリコンi層
33 非晶質シリコンn層
41 結晶質シリコンp層
42 結晶質シリコンi層
43 結晶質シリコンn層
91 第1電池層
92 第2電池層
100 光電変換装置
Claims (7)
- 基板上に結晶質シリコン層を含む光電変換層を形成した光電変換装置であって、
前記結晶質シリコン層が結晶質シリコンi層を有し、
該結晶質シリコンi層における非晶質シリコン相のラマンピーク強度に対する結晶質シリコン相のラマンピーク強度の比であるラマンピーク比の平均値が4以上8以下、前記ラマンピーク比の標準偏差が1以上3以下、かつ、前記ラマンピーク比が4以下となる領域の割合が1%以上3%以下で表される基板面内分布を有することを特徴とする光電変換装置。 - 基板上に結晶質シリコン層を含む光電変換層を形成した光電変換装置であって、
前記結晶質シリコン層が結晶質シリコンi層を有し、
前記基板の前記光電変換層を形成した面の大きさが、1m角以上であり、
該結晶質シリコンi層における非晶質シリコン相のラマンピーク強度に対する結晶質シリコン相のラマンピーク強度の比であるラマンピーク比の平均値が5以上8以下、前記ラマンピーク比の標準偏差が1以上3以下、かつ、前記ラマンピーク比が4以下となる領域の割合が2%以上6%以下で表される基板面内分布を有することを特徴とする光電変換装置。 - 前記光電変換層が、さらに非晶質シリコン層を備え、該非晶質シリコン層の非晶質シリコンi層の膜厚が、170nm以上250nm以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光電変換装置。
- 基板上に非晶質シリコン層と結晶質シリコン層とを積層させた光電変換層を形成した光電変換装置であって、
前記結晶質シリコン層が結晶質シリコンi層を有し、
該結晶質シリコンi層における非晶質シリコン相のラマンピーク強度に対する結晶質シリコン相のラマンピーク強度の比であるラマンピーク比の平均値が4以上8以下、前記ラマンピーク比の標準偏差が1以上3以下、かつ、前記ラマンピーク比が4以下となる領域の割合が1%以上3%以下で表される基板面内分布を有することを特徴とする光電変換装置。 - 基板上に非晶質シリコン層と結晶質シリコン層とを積層させた光電変換層を形成した光電変換装置であって、
前記結晶質シリコン層が結晶質シリコンi層を有し、
前記基板の前記光電変換層を形成した面の大きさが、1m角以上であり、
該結晶質シリコンi層における非晶質シリコン相のラマンピーク強度に対する結晶質シリコン相のラマンピーク強度の比であるラマンピーク比の平均値が5以上8以下、前記ラマンピーク比の標準偏差が1以上3以下、かつ、前記ラマンピーク比が4以下となる領域の割合が2%以上6%以下で表される基板面内分布を有することを特徴とする光電変換装置。 - 前記結晶質シリコンi層が、製膜速度1.5nm/sec以上で製膜された層であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の光電変換装置。
- 前記結晶質シリコン層と前記非晶質シリコン層との間に中間コンタクト層を備えることを特徴とする請求項3乃至請求項6のいずれかに記載の光電変換装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008088593A JP5330723B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 光電変換装置 |
EP09724876A EP2200092A1 (en) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | Photoelectric conversion device |
AU2009230531A AU2009230531A1 (en) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | Photovoltaic device |
PCT/JP2009/050094 WO2009119124A1 (ja) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | 光電変換装置 |
CN2009801001314A CN101779294B (zh) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | 光电转换装置 |
TW098100387A TWI405346B (zh) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | Photoelectric conversion device |
KR1020107001569A KR20100028113A (ko) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | 광전 변환 장치 |
US12/670,557 US8481848B2 (en) | 2008-03-28 | 2009-01-07 | Photovoltaic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008088593A JP5330723B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 光電変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009246029A JP2009246029A (ja) | 2009-10-22 |
JP5330723B2 true JP5330723B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=41113334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008088593A Expired - Fee Related JP5330723B2 (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 光電変換装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8481848B2 (ja) |
EP (1) | EP2200092A1 (ja) |
JP (1) | JP5330723B2 (ja) |
KR (1) | KR20100028113A (ja) |
CN (1) | CN101779294B (ja) |
AU (1) | AU2009230531A1 (ja) |
TW (1) | TWI405346B (ja) |
WO (1) | WO2009119124A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010114299A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 光電変換装置の製造方法及び光電変換装置 |
US20110168259A1 (en) * | 2009-07-13 | 2011-07-14 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Thin film solar cell and manufacturing method thereof |
JP4902779B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2012-03-21 | 三洋電機株式会社 | 光電変換装置及びその製造方法 |
JP2011155026A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-08-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 光電変換装置の製造方法 |
JP5219162B2 (ja) * | 2009-12-29 | 2013-06-26 | シャープ株式会社 | 光電変換装置 |
KR101032270B1 (ko) * | 2010-03-17 | 2011-05-06 | 한국철강 주식회사 | 플렉서블 또는 인플렉서블 기판을 포함하는 광기전력 장치 및 광기전력 장치의 제조 방법 |
JP4902767B2 (ja) | 2010-04-28 | 2012-03-21 | 三洋電機株式会社 | 光電変換装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2738557B2 (ja) * | 1989-03-10 | 1998-04-08 | 三菱電機株式会社 | 多層構造太陽電池 |
JP3768672B2 (ja) * | 1998-02-26 | 2006-04-19 | キヤノン株式会社 | 積層型光起電力素子 |
WO2003073515A1 (fr) | 2002-02-28 | 2003-09-04 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Cellule solaire a couche mince et procede permettant de produire cette cellule |
JP2005123466A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Sharp Corp | シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法およびその方法により製造されたシリコン系薄膜光電変換装置 |
US7880080B2 (en) * | 2005-02-11 | 2011-02-01 | Bp Corporation North America Inc. | Junction box for output wiring from solar module and method of installing same |
DE102005036064B4 (de) * | 2005-08-01 | 2007-07-19 | Siemens Ag | Verfahren zum phasenbezogenen Scheduling des Datenflusses in geschalteten Netzwerken |
JP2007208093A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Canon Inc | 堆積膜の形成方法及び光起電力素子の形成方法 |
JP4949695B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2012-06-13 | 三菱重工業株式会社 | 光電変換装置の製造装置および光電変換装置の製造方法 |
JP5309426B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2013-10-09 | 株式会社Ihi | 微結晶シリコン膜形成方法及び太陽電池 |
WO2007148569A1 (ja) * | 2006-06-23 | 2007-12-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、および光電変換素子 |
JP5473187B2 (ja) * | 2006-09-04 | 2014-04-16 | 三菱重工業株式会社 | 製膜条件設定方法、光電変換装置の製造方法及び検査方法 |
-
2008
- 2008-03-28 JP JP2008088593A patent/JP5330723B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-01-07 US US12/670,557 patent/US8481848B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-07 AU AU2009230531A patent/AU2009230531A1/en not_active Abandoned
- 2009-01-07 EP EP09724876A patent/EP2200092A1/en not_active Withdrawn
- 2009-01-07 KR KR1020107001569A patent/KR20100028113A/ko not_active Application Discontinuation
- 2009-01-07 CN CN2009801001314A patent/CN101779294B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-01-07 WO PCT/JP2009/050094 patent/WO2009119124A1/ja active Application Filing
- 2009-01-07 TW TW098100387A patent/TWI405346B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2009230531A1 (en) | 2009-10-01 |
KR20100028113A (ko) | 2010-03-11 |
EP2200092A1 (en) | 2010-06-23 |
TW200947731A (en) | 2009-11-16 |
TWI405346B (zh) | 2013-08-11 |
CN101779294B (zh) | 2013-08-14 |
US20100206373A1 (en) | 2010-08-19 |
US8481848B2 (en) | 2013-07-09 |
CN101779294A (zh) | 2010-07-14 |
JP2009246029A (ja) | 2009-10-22 |
WO2009119124A1 (ja) | 2009-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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