JP5325388B2 - Panel holder device - Google Patents

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本発明は、液晶パネル,プラズマパネル等のフラット型ディスプレイパネル、その他のパネルを組み立てる工程において、パネル基板に駆動回路として、一群の半導体装置を介して印刷回路基板(PCB:Print Circuit Board)を実装してパネルアセンブリとなし、このパネルアセンブリを後続の工程に送り込む作業を行うために、パネルアセンブリを安定的に保持するパネルホルダ装置に関するものである。   The present invention mounts a printed circuit board (PCB) as a drive circuit on a panel substrate through a group of semiconductor devices in the process of assembling flat display panels such as liquid crystal panels and plasma panels, and other panels. The present invention relates to a panel holder device that stably holds a panel assembly in order to perform an operation of sending the panel assembly to a subsequent process.

フラット型ディスプレイパネルとして、例えば液晶パネルは、様々な工程を経て製造されるが、この製造工程において、2枚の透明基板を間に液晶を封入して貼り合わせたパネル基板に駆動回路及び制御回路を接続する基板実装工程がある。駆動回路はフレキシブル基板にIC回路を搭載した半導体装置からなり、この半導体装置は、パネルの少なくとも相隣接する2辺、乃至3辺若しくは4辺にそれぞれ所定数接続されて、各辺に半導体装置群を構成する。制御回路は、回路パターンが形成され、かつ所定の電子部品を搭載した印刷回路基板から構成され、一つの辺の半導体装置群全体につき1枚または複数枚の印刷回路基板が接続される。パネル基板への半導体装置の搭載及び半導体装置群への印刷回路基板の接続は、はんだ付け等によることもできるが、作業性や接続精度等の観点から、異方性導電フィルムを介して接続する方式が一般的である。この異方性導電フィルムは、接着機能を有するバインダ樹脂に導電粒子を均一に分散させたものからなり、接続される2部材に設けた電極間が導電粒子を介して電気的に接続され、また両部材はバインダ樹脂により接合・固着される。   As a flat display panel, for example, a liquid crystal panel is manufactured through various processes. In this manufacturing process, a driving circuit and a control circuit are mounted on a panel substrate in which two transparent substrates are sealed and bonded together. There is a board mounting process for connecting the two. The drive circuit is composed of a semiconductor device in which an IC circuit is mounted on a flexible substrate. This semiconductor device is connected to a predetermined number of at least two sides, three sides, or four sides of the panel, and a semiconductor device group on each side. Configure. The control circuit includes a printed circuit board on which a circuit pattern is formed and on which predetermined electronic components are mounted, and one or a plurality of printed circuit boards are connected to the entire semiconductor device group on one side. The mounting of the semiconductor device on the panel substrate and the connection of the printed circuit board to the semiconductor device group can be performed by soldering or the like, but from the viewpoint of workability and connection accuracy, the connection is made through an anisotropic conductive film. The method is common. This anisotropic conductive film is composed of a binder resin having an adhesive function in which conductive particles are uniformly dispersed, and the electrodes provided on the two members to be connected are electrically connected via the conductive particles. Both members are bonded and fixed by a binder resin.

ここで、特許文献1には、パネル基板への印刷回路基板の接続を行う装置が開示されている。この特許文献1では、半導体装置群を形成したパネル基板と、異方性導電フィルムを貼り付けた印刷回路基板とは別個の保持部材に載置させて設けている。この状態で、パネル基板が装着されているパネル保持部材を駆動して、基板保持部材に固定されている印刷回路基板との間で位置合わせを行い、次いでパネル保持部材を下降させて、パネル基板の半導体装置群に形成した多数の電極を印刷回路基板側の電極と当接させる。そして、上部位置に圧着刃を設け、下部側に受け台を設けた圧着ステージにおいて、印刷回路基板における半導体装置群の接続位置を受け台上に設置した状態で、圧着刃を下降させて半導体装置群を上方から加圧して、異方性導電フィルムのバインダ樹脂を加熱しながら押圧させることによって、印刷回路基板のパネル基板への接続が行われる。
特開平10−1877182号公報
Here, Patent Document 1 discloses an apparatus for connecting a printed circuit board to a panel board. In Patent Document 1, a panel substrate on which a semiconductor device group is formed and a printed circuit board on which an anisotropic conductive film is attached are placed on separate holding members. In this state, the panel holding member on which the panel substrate is mounted is driven to perform alignment with the printed circuit board fixed to the substrate holding member, and then the panel holding member is lowered to remove the panel substrate. A number of electrodes formed in the semiconductor device group are brought into contact with electrodes on the printed circuit board side. Then, in the crimping stage in which the crimping blade is provided in the upper position and the cradle is provided in the lower side, the crimping blade is lowered while the connection position of the semiconductor device group in the printed circuit board is installed on the cradle. The printed circuit board is connected to the panel substrate by pressing the group from above and pressing the binder resin of the anisotropic conductive film while heating.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-1877182

以上のようにしてパネル基板に印刷回路基板が接続されて、パネルアセンブリが形成された後は、このパネルアセンブリは、例えば、他の辺への印刷回路基板の接続等を行うために、次の工程に移載される。このときには、パネル保持部材からパネルアセンブリが取り出されることになるが、この移載はパネル基板を真空吸着する真空吸着部材を備えたピックアンドプレイス手段により行われる。この真空吸着はパネル基板の表面側から行われることになり、小さいサイズのパネル基板であれば格別問題とはならないが、薄型で大画面のパネルアセンブリを真空吸着して持ち上げると、パネル基板に対するダメージやストレスが大きくなる。   After the printed circuit board is connected to the panel substrate as described above and the panel assembly is formed, this panel assembly is used to connect the printed circuit board to other sides, for example, as follows. Transferred to the process. At this time, the panel assembly is taken out from the panel holding member, and this transfer is performed by pick and place means including a vacuum suction member for vacuum suction of the panel substrate. This vacuum suction is performed from the surface side of the panel substrate, and if it is a small-sized panel substrate, there is no particular problem. However, if a thin and large panel assembly is lifted by vacuum suction, damage to the panel substrate will occur. And stress increases.

また、印刷回路基板はパネル基板に直接接続されるのではなく、フレキシブル基板を有する半導体装置群を介して接続される関係から、パネル基板だけでなく、印刷回路基板も真空吸着する必要がある。従って、ピックアンドプレイス手段は、パネル基板に対する真空吸着ヘッドと、印刷回路基板に対する真空吸着ヘッドとを設けることになり、構成が複雑で大型になるという問題点がある。しかも、印刷回路基板には、その表面側に複数の電子部品が搭載されており、しかも回路パターンが形成されており、真空吸着ヘッドで安定的に吸着できない凹凸部が各所に存在するので、真空吸着を行うことができる部位が限られることになり、吸着位置によっては、安定的に保持できない場合がある等といった問題点もある。   In addition, since the printed circuit board is not directly connected to the panel substrate but is connected through a group of semiconductor devices having a flexible substrate, not only the panel substrate but also the printed circuit substrate needs to be vacuum-sucked. Accordingly, the pick-and-place means is provided with a vacuum suction head for the panel substrate and a vacuum suction head for the printed circuit board, and there is a problem that the configuration is complicated and large. Moreover, the printed circuit board has a plurality of electronic components mounted on the surface side, and a circuit pattern is formed, and there are uneven portions that cannot be stably adsorbed by the vacuum adsorbing head. The site where the adsorption can be performed is limited, and there is a problem that, depending on the adsorption position, there is a case where it cannot be stably held.

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、半導体装置を介して印刷回路基板をパネル基板に実装したパネルアセンブリを、何等のダメージを与えることなく、円滑かつ確実に、しかも安定的に保持できるようにすることにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to make a panel assembly in which a printed circuit board is mounted on a panel substrate via a semiconductor device without causing any damage. In addition, it is to ensure that it can be held securely and stably.

前述した目的を達成するために、本発明は、パネル基板に1または複数の印刷回路基板が、フレキシブル基板にIC回路を搭載した複数の半導体装置を介して接続されたパネルアセンブリを保持するパネルホルダ装置において、前記パネル基板が水平状態に載置され、水平方向に向けて平行に配設した複数本のホルダアームを有し、前記パネル基板のサイズに応じて前記複数本のホルダアームのうち両側に位置する2本の固定されたホルダアームと当該2本の固定されたホルダアームの中間に位置する複数本のホルダアームとを有し、当該中間の複数本のホルダアームを当該ホルダアームの軸線と直交する方向に位置調整するアームユニットと、位置調整される前記ホルダアームのうち、少なくとも2本のホルダアームの下部位置に装着され、前記印刷回路基板の下面に当接する基板支え部材と、これら各基板支え部材を、前記ホルダアームの先端から突出しない退避位置と、このホルダアームの先端から突出して、前記印刷回路基板の下面と当接する作動位置とに変位させる進退駆動手段とを備えたことをその特徴とするものである。

In order to achieve the above-described object, the present invention provides a panel holder for holding a panel assembly in which one or a plurality of printed circuit boards are connected to a panel substrate via a plurality of semiconductor devices having IC circuits mounted on a flexible substrate. In the apparatus, the panel substrate is placed in a horizontal state and has a plurality of holder arms arranged in parallel in the horizontal direction, and both sides of the plurality of holder arms are arranged according to the size of the panel substrate. Two fixed holder arms and a plurality of holder arms positioned in the middle of the two fixed holder arms, the plurality of intermediate holder arms being the axis of the holder arm. Among the arm unit that adjusts the position in a direction orthogonal to the holder arm and the holder arm that is adjusted in position, the arm unit is mounted at a lower position of at least two holder arms. A substrate support member that contacts the lower surface of the printed circuit board, a retracted position where each of the substrate support members does not protrude from the tip of the holder arm, and a lower surface of the printed circuit board that protrudes from the tip of the holder arm. It is characterized in that it is provided with an advancing / retreating drive means for displacing it to an operating position in contact therewith.

パネルホルダ装置に設けられ、複数本のホルダアームから構成されるアームユニットによりパネル基板を保持するが、この基板保持は真空吸着手段により行うのが一般的である。ホルダアームの必要な本数は、パネル基板のサイズ,厚み等に応じて異なってくる。薄型でサイズの大きいパネル基板の場合には、ホルダアームの本数を多くする。パネル基板に印刷回路基板を接続する際に、パネル基板の半導体装置群を設けた部位には1または複数枚の印刷回路基板が接続される。この印刷回路基板の接続は、例えば圧着手段を用いて行うが、圧着手段との干渉防止のために、アームユニットはパネル基板の端部から突出しないようにする。一方、パネル基板に設けた一群の半導体装置に印刷回路基板が接続された後には、基板支え部材によりこの印刷回路基板を下部側から支える。この基板支え部材を退避位置と作動位置との間で進退動作させることによって、印刷回路基板と半導体装置群との間で圧着する際に、圧着手段との干渉を避ける。基板支え部材の進退駆動手段は、電動モータ、ソレノイド等で構成することもできるが、最も簡易な構成としてはエアシリンダを用いる。そして、エアシリンダのピストンロッドを基板支え部材として機能させることができる。エアシリンダを用いる場合において、ばね等の付勢手段により基板支え部材としてのピストンロッドが突出する作動位置となるように保持しておき、必要な時、具体的には印刷回路基板の圧着動作時にエアシリンダに加圧エアを供給して、退避位置に変位させるようにするのが望ましい。   The panel substrate is held by an arm unit that is provided in the panel holder device and includes a plurality of holder arms, and this substrate holding is generally performed by a vacuum suction means. The required number of holder arms varies depending on the size and thickness of the panel substrate. In the case of a thin and large panel substrate, the number of holder arms is increased. When the printed circuit board is connected to the panel substrate, one or a plurality of printed circuit boards are connected to the portion of the panel substrate where the semiconductor device group is provided. The connection of the printed circuit board is performed by using, for example, a crimping means. In order to prevent interference with the crimping means, the arm unit is prevented from protruding from the end portion of the panel substrate. On the other hand, after the printed circuit board is connected to the group of semiconductor devices provided on the panel substrate, the printed circuit board is supported from the lower side by the substrate supporting member. By causing the substrate support member to move forward and backward between the retracted position and the operating position, interference with the crimping means is avoided when crimping between the printed circuit board and the semiconductor device group. The advancing / retreating drive means of the substrate supporting member can be constituted by an electric motor, a solenoid or the like, but an air cylinder is used as the simplest configuration. And the piston rod of an air cylinder can be functioned as a board | substrate support member. When using an air cylinder, hold it so that the piston rod as the board support member protrudes by an urging means such as a spring, and when necessary, specifically when crimping the printed circuit board It is desirable to supply pressurized air to the air cylinder so that it is displaced to the retracted position.

パネルアセンブリを形成するためには、複数のステージを所定の方向に配列してパネル基板を各ステージに順次移載することになるが、このために、各々のステージに本発明によるパネルホルダ装置を設けておき、前後のステージのパネルホルダ装置を駆動して、パネル基板をアームユニット間で授受する構成とするのが、パネル基板にダメージを与えないようにするために望ましい。パネル基板(印刷回路基板の接続前の状態及び接続後の状態も含む)をステージ間で移載するために、各パネルホルダ装置にはアームユニットの駆動機構を備える構成とする。この駆動機構は、少なくとも水平回動手段,前後動駆動手段及び昇降駆動手段から構成する。なお、これら以外にも、例えば左右方向への駆動手段を設けることもでき、さらにはホルダアームの傾き調整手段等を備えるようにしても良い。そして、一方のパネルホルダ装置におけるアームユニットの各ホルダアームは相手方のアームユニットのそれぞれ隣接するアームユニット間に進入させて、組み合わせることができる構成とする。   In order to form a panel assembly, a plurality of stages are arranged in a predetermined direction, and a panel substrate is sequentially transferred to each stage. For this purpose, the panel holder device according to the present invention is attached to each stage. It is desirable to drive the panel holder devices of the front and rear stages to transfer the panel substrate between the arm units in order to prevent damage to the panel substrate. In order to transfer the panel substrate (including the state before the connection of the printed circuit board and the state after the connection) between the stages, each panel holder device is configured to include an arm unit drive mechanism. This drive mechanism comprises at least a horizontal rotation means, a forward / backward movement drive means, and a lift drive means. In addition to these, for example, a driving means in the left-right direction may be provided, and further, a tilt adjusting means for the holder arm may be provided. And each holder arm of the arm unit in one panel holder apparatus is made to enter between adjacent arm units of the counterpart arm unit and can be combined.

複数のステージにより構成した場合には、それぞれのステージに配置されるパネルホルダ装置に装着されるホルダアームは、その並び方向の間隔を調整できる構成とするのが望ましい。これによって、前後のステージのパネルホルダ装置が組み合わせられたときに、一方側のパネルホルダ装置の各ホルダアームが相手方のパネルホルダ装置の各ホルダアームと干渉しないように位置調整することができる。また、異なるサイズのパネル基板に印刷回路基板を接続する際には、各パネルホルダ装置におけるホルダアームの間隔を調整することによって、容易に段取り変えを行うことができる。   In the case of a plurality of stages, it is desirable that the holder arm mounted on the panel holder device arranged on each stage can be adjusted in the arrangement direction. Thereby, when the panel holder devices of the front and rear stages are combined, the position of each holder arm of the one side panel holder device can be adjusted so as not to interfere with each holder arm of the counterpart panel holder device. Moreover, when connecting a printed circuit board to a panel board of a different size, the setup can be easily changed by adjusting the interval between the holder arms in each panel holder device.

例えば、パネル基板の3つまたは4つの辺に半導体装置群を設けて、これらの辺に印刷回路基板を接続する場合には、水平回動手段によりアームユニットを90度毎にインデックス回転可能な構成とする。そして、この水平回動手段の各インデックス角位置に基板支え部材の進退駆動手段を構成するエアシリンダへの加圧エアの接続ポートを設けておく。加圧エア源からの配管を接続したコネクタを前後動可能に装着し、インデックス回転させる際には、コネクタを一度接続ポートから引き抜き、回転後に再びコネクタを、それと対面する接続ポートに接続するように構成する。これによって、配管に捻れ等が発生せず、配管の引き回しに安定性が得られる。   For example, when a semiconductor device group is provided on three or four sides of a panel substrate and a printed circuit board is connected to these sides, the arm unit can be index-rotated every 90 degrees by horizontal turning means. And A connection port for pressurized air to the air cylinder constituting the advancing / retreating drive means of the substrate support member is provided at each index angle position of the horizontal rotation means. When a connector connected to a pipe from a pressurized air source is attached so that it can move back and forth, and when rotating the index, pull out the connector from the connection port once, and after rotation, connect the connector to the connection port that faces it again. Configure. As a result, the pipes are not twisted and the pipes can be routed stably.

パネル基板は、通常、長方形のものであって、パネルホルダ装置に装着されるホルダアームは、パネル基板の短辺と平行な方向に配列することができる。パネル基板のどの辺に印刷回路基板が接続されるにしても、パネルホルダ装置間でのパネル基板の移載は一定の回転位置とする。そして、パネル基板の4つの辺に印刷回路基板が接続された後は、それぞれの印刷回路基板を下方から支える必要がある。この場合には、退避位置と作動位置とに変位可能な基板支え部材はこれら前後及び左右の4方向に設けるようにする。   The panel substrate is usually rectangular, and the holder arm attached to the panel holder device can be arranged in a direction parallel to the short side of the panel substrate. Regardless of which side of the panel substrate the printed circuit board is connected to, the transfer of the panel substrate between the panel holder devices is at a fixed rotational position. Then, after the printed circuit boards are connected to the four sides of the panel board, it is necessary to support each printed circuit board from below. In this case, the substrate supporting member that can be displaced between the retracted position and the operating position is provided in the front and rear and left and right directions.

パネル基板に半導体装置を介して印刷回路基板を接続したパネルアセンブリを、パネル基板やそれに接続した印刷回路基板に対して何等のダメージを与えることなく、円滑かつ確実に、しかも安定的に保持して、移載等の動作を行わせることができる。   Hold the panel assembly with the printed circuit board connected to the panel board via the semiconductor device smoothly, reliably and stably without causing any damage to the panel board or the printed circuit board connected to it. The operation such as transfer can be performed.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1において、1はパネル基板であり、パネル基板1は上下2枚の透明基板1a、1bからなり、両透明基板1a,1b間には液晶が封入されている。図1(a)に示したように、パネル基板1の下側の透明基板1bは4辺で上側の透明基板1aより張り出しており、これら4つの辺の張り出し部に、図1(b)に示したように、複数のTCP(Tape Carrier Package)からなる半導体装置2がTAB(Tape Automated Bonding)方式で搭載される。そして、各辺においては、複数の半導体装置2を群として、それらに1または複数枚の印刷回路基板3が接続されて、パネルアセンブリ4が形成される。ここで、半導体装置2は、周知のように、フレキシブル基板にIC回路を搭載したものであり、IC回路が搭載されている部位を除いて、曲げ方向に可撓性を有している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a panel substrate. The panel substrate 1 includes upper and lower transparent substrates 1a and 1b, and liquid crystal is sealed between the transparent substrates 1a and 1b. As shown in FIG. 1 (a), the lower transparent substrate 1b on the panel substrate 1 protrudes from the upper transparent substrate 1a on four sides, and these four extended portions are shown in FIG. 1 (b). As shown, a semiconductor device 2 composed of a plurality of TCP (Tape Carrier Packages) is mounted by a TAB (Tape Automated Bonding) method. On each side, a plurality of semiconductor devices 2 are taken as a group, and one or a plurality of printed circuit boards 3 are connected to them to form a panel assembly 4. Here, as is well known, the semiconductor device 2 has an IC circuit mounted on a flexible substrate, and has flexibility in a bending direction except for a portion where the IC circuit is mounted.

図2にはパネル基板1に印刷回路基板3を接続する基板実装工程のステージ構成の一例が示されている。これら各ステージには、それぞれ所定の作業,操作乃至処理を行うために、テーブルが設置されており、かつこれらのテーブルには作業,操作乃至処理を行うための手段なり機構なりが設けられている。   FIG. 2 shows an example of a stage configuration in a board mounting process for connecting the printed circuit board 3 to the panel board 1. Each of these stages is provided with a table for performing predetermined work, operation or processing, and these tables are provided with means or mechanisms for performing work, operation or processing. .

図中において、10は搬入ステージであり、この搬入ステージ10には搬入されたパネル基板1のTAB搭載領域をクリーニングする機構が設けられている。このクリーニングは、例えばテープクリーニングでパネル基板1の表面を擦動することにより行うことができる。これによって、パネル基板1のTAB搭載部の汚れを拭き取ることができる。   In the figure, reference numeral 10 denotes a carry-in stage. The carry-in stage 10 is provided with a mechanism for cleaning the TAB mounting area of the loaded panel substrate 1. This cleaning can be performed, for example, by rubbing the surface of the panel substrate 1 by tape cleaning. Thereby, dirt on the TAB mounting portion of the panel substrate 1 can be wiped off.

搬入ステージ10の下流側に位置するステージはパネル基板1のTAB搭載部に異方性導電フィルム、つまりACF(Anisotropic Conductive Film)を貼り付けるACF貼り付けステージ11である。ACFの貼り付けは、各半導体装置2が搭載される部位に限定して個別的に貼り付けるのが望ましいが、各辺の全長にわたって貼り付けるようにしても良い。   A stage located on the downstream side of the carry-in stage 10 is an ACF attaching stage 11 for attaching an anisotropic conductive film, that is, an ACF (Anisotropic Conductive Film) to the TAB mounting portion of the panel substrate 1. The ACF is preferably affixed individually to a portion where each semiconductor device 2 is mounted, but may be affixed over the entire length of each side.

12は仮圧着ステージ、13は本圧着ステージである。仮圧着ステージ12では、パネル基板1における所定の位置に半導体装置2が仮圧着される。仮圧着は1つの辺に搭載される全ての半導体装置2が順次搭載される。そして、本圧着ステージ13は、仮圧着ステージ12で仮圧着された半導体装置2を加熱下で加圧することによって、ACFを介してパネル基板1に固着させる。ここで、本圧着はパネル基板1の1つの辺に搭載した全ての半導体装置2に対して同時に本圧着される。そして、パネル基板1に圧着した半導体装置2が正規の位置に搭載されているか否かを判定する検査ステージ14が後続の工程として設けられている。   Reference numeral 12 denotes a temporary pressure-bonding stage, and 13 denotes a main pressure-bonding stage. In the temporary pressure bonding stage 12, the semiconductor device 2 is temporarily pressure bonded to a predetermined position on the panel substrate 1. In the pre-bonding, all the semiconductor devices 2 mounted on one side are sequentially mounted. The main crimping stage 13 is fixed to the panel substrate 1 through the ACF by pressurizing the semiconductor device 2 temporarily crimped by the temporary crimping stage 12 under heating. Here, the main pressure bonding is simultaneously performed on all the semiconductor devices 2 mounted on one side of the panel substrate 1 at the same time. Then, an inspection stage 14 for determining whether or not the semiconductor device 2 crimped to the panel substrate 1 is mounted at a regular position is provided as a subsequent process.

さらに、検査ステージ14の下流側には、PCB3を接続するPCB接続ステージ15が設けられている。このPCB接続ステージ15では、パネル基板1の長辺に搭載された複数の半導体装置2からなる半導体装置群全体に対して2枚のPCB3が接続されるようになっている。なお、PCB3は全体で1枚、また3枚以上に分けて接続される場合もある。そして、PCB3が貼り付けられた後、半導体装置2とPCB3との接続部に封止樹脂を塗布する樹脂塗布ステージ16に移行し、これによってパネル基板1の1つの辺への半導体装置2及びPCB3の接続が完了する。


Further, a PCB connection stage 15 for connecting the PCB 3 is provided on the downstream side of the inspection stage 14. In the PCB connecting stage 15, PCB 3 two is adapted to be connected to the entire semiconductor instrumentation 置群 comprising a plurality of semiconductor devices 2 mounted on the long side of the panel substrate 1. There are cases where the PCB 3 is connected as a whole or divided into three or more. Then, after the PCB 3 is attached, the process shifts to a resin coating stage 16 that applies a sealing resin to the connection portion between the semiconductor device 2 and the PCB 3, and thereby the semiconductor device 2 on one side of the panel substrate 1 and Connection of PCB3 is completed.


次に、パネル基板1におけるもう1つの辺に対する半導体装置2の搭載及びPCB3の接続が行われる。ここで、パネル基板1の長辺と短辺とでは、それぞれ異なる構造の半導体装置2及びPCB3が接続されることになる。即ち、図示したパネル基板1では、長辺側には2枚のPCB3が接続され、短辺側には1枚のPCB3が接続される。短辺側へのPCB3の接続時には、図2に示したステージとステージ構成は概略前述したものと同じであり、図2と同様のステージをライン状に配列することもでき、また図2のステージ構成で往復移動させる間に基板実装工程を実行することができる。   Next, the semiconductor device 2 is mounted and the PCB 3 is connected to the other side of the panel substrate 1. Here, the semiconductor device 2 and the PCB 3 having different structures are connected to the long side and the short side of the panel substrate 1, respectively. That is, in the illustrated panel substrate 1, two PCBs 3 are connected to the long side and one PCB 3 is connected to the short side. When the PCB 3 is connected to the short side, the stage and the stage configuration shown in FIG. 2 are substantially the same as those described above, and the same stage as in FIG. 2 can be arranged in a line. The substrate mounting process can be executed while reciprocating the structure.

以上の各ステージ10〜16においては、パネル基板1を水平状態にして着脱可能に保持するパネルホルダ装置20が設けられている。図3乃至図5にパネルホルダ装置20の構成を示す。図3及び図4に示したパネルホルダ装置20は6本のホルダアーム21a〜21f(これらを総称する際には、アームユニット21という)を有するものである。なお、ホルダアームの本数は、この数に限定されるものではなく、最低限2本以上あれば良い。各ホルダアーム21a〜21fは、それらの軸線と直交する方向に延在させたガイド部材22に位置調整可能に設けられており、このために、図5から明らかなように、各ホルダアーム21a〜21fには、それぞれ前後一対の脚杆23が連結して設けられ、これら各脚杆23はガイド部材22の側面に設けたガイドレール22aに沿って位置調整可能となっている。   Each of the above stages 10 to 16 is provided with a panel holder device 20 that holds the panel substrate 1 in a horizontal state so as to be detachable. The structure of the panel holder device 20 is shown in FIGS. The panel holder device 20 shown in FIGS. 3 and 4 has six holder arms 21a to 21f (referred to collectively as arm units 21). The number of holder arms is not limited to this number, and it is sufficient if there are at least two holder arms. Each holder arm 21a-21f is provided in the guide member 22 extended in the direction orthogonal to those axis lines so that position adjustment is possible. Therefore, as apparent from FIG. A pair of front and rear leg rods 23 are connected to 21 f, and the position of each leg rod 23 can be adjusted along a guide rail 22 a provided on the side surface of the guide member 22.

アームユニット21を装着したガイド部材22には、その下面に回転体24が連結されており、この回転体24は水平回動手段25上に設けられている。そして、この水平回動手段25は昇降手段26に装着されており、さらに昇降手段26はXY軸駆動手段27に装着されている。これら水平回動手段25,昇降手段26及びXY軸駆動手段27によりアームユニット21の駆動機構が構成され、パネル基板1を保持しているアームユニット21は、水平方向に90度毎にインデックス回転し、また各ステージ10〜16に設置したテーブルにパネル基板1を挿脱し、隣接する位置のステージ間でパネル基板1の授受が行われる。なお、水平回動手段25,昇降手段26及びXY軸駆動手段27からなる駆動機構は、従来から周知の構成のものを使用することができるので、これらの機構についての詳細な図示及び説明は省略する。   A rotating member 24 is connected to the lower surface of the guide member 22 to which the arm unit 21 is mounted. The rotating member 24 is provided on the horizontal rotating means 25. The horizontal rotation means 25 is attached to an elevating means 26, and the elevating means 26 is further attached to an XY axis driving means 27. The horizontal turning means 25, the raising / lowering means 26 and the XY axis driving means 27 constitute a drive mechanism of the arm unit 21, and the arm unit 21 holding the panel substrate 1 is rotated by an index every 90 degrees in the horizontal direction. Further, the panel substrate 1 is inserted into and removed from the tables installed on the stages 10 to 16, and the panel substrate 1 is exchanged between the stages at adjacent positions. In addition, since the drive mechanism comprised from the horizontal rotation means 25, the raising / lowering means 26, and the XY-axis drive means 27 can use a conventionally well-known structure, detailed illustration and description about these mechanisms are abbreviate | omitted. To do.

6本のホルダアーム21a〜21fからなるアームユニット21は、パネル基板1を水平状態にして載置しており、このパネル基板1を安定的に保持するために、各ホルダアーム21a〜21fの表面には、複数の吸着パッド28が装着されている。吸着パッド28は、ホルダアーム21a〜21fに形成した負圧通路(図示せず)に通じており、吸着パッド28を負圧作用孔として、パネル基板1の下面が吸着保持される。   The arm unit 21 including the six holder arms 21a to 21f is placed with the panel substrate 1 placed in a horizontal state, and in order to stably hold the panel substrate 1, the surface of each holder arm 21a to 21f A plurality of suction pads 28 are attached. The suction pad 28 communicates with a negative pressure passage (not shown) formed in the holder arms 21a to 21f, and the lower surface of the panel substrate 1 is sucked and held by using the suction pad 28 as a negative pressure action hole.

アームユニット21を構成するホルダアーム21a〜21fのうち、左右の両側に位置するホルダアーム21a,21fは固定されたホルダアームであり、中間の4本のホルダアーム21b〜21eはガイド部材22に沿って移動することにより位置調整可能なホルダアームである。従って、取り扱われるパネル基板1のサイズや形状に応じて、ホルダアーム21b〜21eの位置を調整することによって、当該のパネル基板1が安定的に保持されることになる。これらホルダアーム21b〜21eの位置調整は、各脚杆23をガイド部材22のガイドレール22aに沿って移動させることにより行われる。   Of the holder arms 21 a to 21 f constituting the arm unit 21, the holder arms 21 a and 21 f located on the left and right sides are fixed holder arms, and the middle four holder arms 21 b to 21 e are along the guide member 22. It is a holder arm whose position can be adjusted by moving. Accordingly, the panel substrate 1 is stably held by adjusting the positions of the holder arms 21b to 21e according to the size and shape of the panel substrate 1 to be handled. The position adjustment of these holder arms 21 b to 21 e is performed by moving each leg rod 23 along the guide rail 22 a of the guide member 22.

ホルダアーム21b〜21eのパネル基板1の吸着部の直下位置には、基板支え部材としてのエアシリンダ29が装着されている。エアシリンダ29のピストンロッド29aの先端は、ホルダアーム21b〜21eの下部位置に引き込まれた退避位置と、ホルダアーム21b〜21eから所定の長さ突出した作動位置とに変位可能な構成となっている。パネル基板1にはフレキシブル基板からなる半導体装置2を介してPCB3が接続されており、アームユニット21を構成する各ホルダアーム21a〜21fは、パネル基板1のみを吸着保持するものであるが、エアシリンダ29のピストンロッド29aは、その伸長状態では、パネル基板1に接続したPCB3の下面に当接して、このPCB3を支えることになる。   An air cylinder 29 as a substrate support member is mounted at a position immediately below the suction portion of the panel substrate 1 of the holder arms 21b to 21e. The tip of the piston rod 29a of the air cylinder 29 is configured to be displaceable between a retracted position drawn into a lower position of the holder arms 21b to 21e and an operating position protruding a predetermined length from the holder arms 21b to 21e. Yes. A PCB 3 is connected to the panel substrate 1 via a semiconductor device 2 made of a flexible substrate, and each of the holder arms 21a to 21f constituting the arm unit 21 sucks and holds only the panel substrate 1, but air In the extended state, the piston rod 29a of the cylinder 29 abuts on the lower surface of the PCB 3 connected to the panel substrate 1 to support the PCB 3.

ここで、エアシリンダ29は、ホルダアーム21b〜21eの前後の部位に装着されている。従って、パネル基板1の両側の長辺に接続したPCB3の下支えを行うことができる。一方、パネル基板1の短辺側に接続したPCB3の下支えを行うために、両端のホルダアーム21a,21fから外方に向けて、つまりホルダアーム21a,21fとは直交する方向に向けて、それぞれ2本のエアシリンダ30が設けられており、これらのエアシリンダ30におけるピストンロッド30aの先端にはホルダアーム21a,21fと平行な方向に向けて所定長さを有する支持バー31が連結して設けられており、パネル基板1の短辺に接続したPCB3はこれら支持バー31により下支えされることになる。なお、パネル基板1の2つの辺または3つの辺にPCB3が接続される場合には、必ずしも4方向にエアシリンダを設ける必要はなく、PCB3が接続されない辺については、エアシリンダを設けなくても良い。   Here, the air cylinder 29 is attached to the front and rear portions of the holder arms 21b to 21e. Therefore, the PCB 3 connected to the long sides on both sides of the panel substrate 1 can be supported. On the other hand, in order to support the PCB 3 connected to the short side of the panel substrate 1, outwardly from the holder arms 21a and 21f at both ends, that is, in a direction perpendicular to the holder arms 21a and 21f, respectively. Two air cylinders 30 are provided, and a support bar 31 having a predetermined length in a direction parallel to the holder arms 21a and 21f is connected to the tip of the piston rod 30a in these air cylinders 30. The PCB 3 connected to the short side of the panel substrate 1 is supported by these support bars 31. When the PCB 3 is connected to two or three sides of the panel substrate 1, it is not always necessary to provide an air cylinder in four directions, and the side to which the PCB 3 is not connected need not be provided with an air cylinder. good.

エアシリンダ29,30は、ピストンロッド29a,30aを伸長状態とすると、PCB3を下支えする作動位置となり、ピストンロッド29a,30aを縮小すると、ホルダアーム21a〜21fの下部位置にまで引き込まれた退避位置となる。そして、常時においては、図示しないばね等の付勢手段によって、ピストンロッド29a,30aは伸長した作動位置となるように付勢されており、シリンダ29bまたは図示しないエアシリンダ30のシリンダ内に加圧エアを供給したときには、ピストンロッド29aが縮小した退避位置に変位することになる。このように、エアシリンダ29を退避位置に変位させるのは、PCB3をパネル基板1に接続するPCB接続ステージ15等において、後述する圧着手段との干渉を避けるためである。   When the piston rods 29a and 30a are in the extended state, the air cylinders 29 and 30 are in an operating position for supporting the PCB 3, and when the piston rods 29a and 30a are contracted, the air cylinders 29 and 30 are retracted to the lower positions of the holder arms 21a to 21f. It becomes. At normal times, the piston rods 29a and 30a are urged to be in the extended operating position by an urging means such as a spring (not shown), and are pressurized into the cylinder 29b or the cylinder of the air cylinder 30 (not shown). When air is supplied, the piston rod 29a is displaced to the retracted position. The reason why the air cylinder 29 is displaced to the retracted position in this way is to avoid interference with the crimping means described later in the PCB connection stage 15 or the like that connects the PCB 3 to the panel substrate 1.

ここで、PCB3はパネル基板1の4つの辺に対して接続される。PCB接続ステージ15では、パネル基板1は、PCB3が接続される辺をこのPCB接続ステージ15に対面させる。このために、パネルホルダ装置20に水平回動手段25を設けて、アームユニット21に支持されているパネル基板1の各辺をこのステージ15に向ける。回転体24は水平回動手段25に装着され、この水平回動手段25は90度毎にインデックス回転する構成となっている。   Here, the PCB 3 is connected to four sides of the panel substrate 1. In the PCB connection stage 15, the panel substrate 1 makes the side to which the PCB 3 is connected face the PCB connection stage 15. For this purpose, the panel holder device 20 is provided with horizontal rotation means 25, and each side of the panel substrate 1 supported by the arm unit 21 is directed to the stage 15. The rotating body 24 is attached to a horizontal rotating means 25, and the horizontal rotating means 25 is configured to rotate an index every 90 degrees.

パネルホルダ装置20において、いずれかのアームユニット21に対して選択的に、具体的にはステージと対面する位置のエアシリンダ29または30と選択的に加圧エア源からのエア配管32とが接続される。このために、図6に示し、また図4から明らかなように、昇降手段26にエア配管32を接続したコネクタ33が設けられている。一方、ガイド部材22の下部位置に水平回動手段25に連結した回転体24が設けられており、この回転体24には、90度毎に接続ポート34が設けられている。これらの接続ポート34のエア通路34a〜34dにはそれぞれ複数本のエア供給管35が引き出されている。そして、コネクタ33には、これら接続ポート34の各エア通路34a〜34dに挿脱される4本の接続管33a〜33dが突設されている。これら各エア供給管35はそれぞれ90度の角度関係に装着された各位置のエアシリンダ29,30に接続されている。   In the panel holder device 20, an air cylinder 29 or 30 at a position facing the stage is selectively connected to any one of the arm units 21, and an air pipe 32 from a pressurized air source is selectively connected. Is done. For this purpose, as shown in FIG. 6 and apparent from FIG. 4, a connector 33 in which an air pipe 32 is connected to the elevating means 26 is provided. On the other hand, a rotating body 24 connected to the horizontal rotation means 25 is provided at a lower position of the guide member 22, and a connecting port 34 is provided in the rotating body 24 every 90 degrees. A plurality of air supply pipes 35 are drawn out from the air passages 34 a to 34 d of these connection ports 34. The connector 33 is provided with four connection pipes 33 a to 33 d that are inserted into and removed from the air passages 34 a to 34 d of the connection port 34. These air supply pipes 35 are connected to air cylinders 29 and 30 at respective positions mounted at an angular relationship of 90 degrees.

図7からも明らかなように、コネクタ33は4箇所設けた接続ポート34に選択的に接続される構成となっている。このために、昇降手段26には基台36が装着されており、この基台36上にガイドレール37に沿って往復移動するスライダ38が設けられている。コネクタ33はこのスライダ38に取り付けられて、駆動シリンダ39により前後動可能となっている。従って、水平回動手段25を駆動して、アームユニット21が設けられているガイド部材22をインデックス回転させたときに、4箇所設けた接続ポート34のいずれかが選択的にコネクタ33と対面する位置に配置される。この状態で、駆動シリンダ39を駆動することによって、エア配管32からのコネクタ33はいずれかの接続ポート34に接離されて、いずれかの角度位置に配置されているエアシリンダ29または30が退避位置に変位することになる。   As is clear from FIG. 7, the connector 33 is configured to be selectively connected to the connection ports 34 provided at four locations. For this purpose, a base 36 is mounted on the lifting means 26, and a slider 38 that reciprocates along the guide rail 37 is provided on the base 36. The connector 33 is attached to the slider 38 and can be moved back and forth by a drive cylinder 39. Therefore, when the horizontal rotation means 25 is driven and the guide member 22 provided with the arm unit 21 is index-rotated, one of the four connection ports 34 selectively faces the connector 33. Placed in position. In this state, by driving the drive cylinder 39, the connector 33 from the air pipe 32 is brought into contact with or separated from any one of the connection ports 34, and the air cylinder 29 or 30 disposed at any angular position is retracted. Will be displaced to the position.

コネクタ33に接続ポート34と接続したときに加圧エアを供給し、接続ポート34から離脱させたときには、加圧エアの供給を停止させる。このために、接続管33a〜33dには流路開閉手段(図示せず)が設けられており、これら接続管33a〜33dが接続ポート34の各エア通路34a〜34dに挿入されたときにのみ流路が開くように構成されており、これによってコネクタ33がエアシリンダ29,30のON,OFF制御を行う、所謂スイッチング動作機能を発揮して、コネクタ33がいずれかの接続ポート34に接続されたときに、当該の接続ポート34と接続されているエアシリンダ29または30が縮小した退避位置に変位することになる。   Pressurized air is supplied when the connector 33 is connected to the connection port 34, and supply of the pressurized air is stopped when the connector 33 is disconnected from the connection port 34. For this purpose, the connection pipes 33a to 33d are provided with flow path opening / closing means (not shown), and only when these connection pipes 33a to 33d are inserted into the air passages 34a to 34d of the connection port 34, respectively. The flow path is configured to open, whereby the connector 33 performs a so-called switching operation function of performing ON / OFF control of the air cylinders 29 and 30, and the connector 33 is connected to any one of the connection ports 34. When this occurs, the air cylinder 29 or 30 connected to the connection port 34 is displaced to the retracted position.

パネルホルダ装置20は以上のように構成されるが、PCB接続ステージ15では、パネルホルダ装置20によりパネル基板1にPCB3が接続される。即ち、図8に示したように、PCB接続ステージ15には、PCBクランプユニット40が設けられている。このPCBクランプユニット40は、固定クランプ部材41と、回転軸42を中心として上下方向に回動動作可能な回動クランプ部材43とを有し、PCB3は、固定クランプ部材41上に載置され、回動クランプ部材43を固定クランプ部材41上に接合させることによって、PCB3がクランプ・保持される。ここで、PCB3は、そのパネル基板1に接続される側の部位を所定長さ突出させておき、この突出部の上面部にACFが貼り付けられている。   Although the panel holder device 20 is configured as described above, the PCB 3 is connected to the panel substrate 1 by the panel holder device 20 in the PCB connection stage 15. That is, as shown in FIG. 8, the PCB connection stage 15 is provided with a PCB clamp unit 40. The PCB clamp unit 40 includes a fixed clamp member 41 and a rotation clamp member 43 that can be rotated in the vertical direction about the rotation shaft 42. The PCB 3 is placed on the fixed clamp member 41. The PCB 3 is clamped and held by joining the rotating clamp member 43 onto the fixed clamp member 41. Here, in the PCB 3, a portion connected to the panel substrate 1 is protruded by a predetermined length, and the ACF is attached to the upper surface portion of the protruding portion.

パネルホルダ装置20のアームユニット21に保持されているパネル基板1は、半導体装置2の搭載部がPCB接続ステージ15に向けられて、この半導体装置2がPCB3のACF貼り付け領域と重なり合う位置まで進行するが、このACF貼り付け領域の下部側には、圧着受け部材44が配置されており、またその上部には圧着刃部材45が上下動可能に配置されている。これら圧着受け部材44と圧着刃部材45とで圧着手段が構成される。従って、半導体装置2とPCB3のACF貼り付け領域とが重なり合った状態にして圧着受け部材44上に当接させ、上方から圧着刃部材45の圧着刃45aを下降させて、所定の加圧力でこの半導体装置2とPCB3とを押圧することによって圧着を行う。そして、少なくとも圧着刃45aにはヒータが内蔵されており、圧着時に半導体装置2とPCB3との間に介装したACFが所定の温度にまで加熱されることになる。   The panel substrate 1 held by the arm unit 21 of the panel holder device 20 is advanced to a position where the mounting portion of the semiconductor device 2 is directed to the PCB connection stage 15 and the semiconductor device 2 overlaps the ACF attachment region of the PCB 3. However, a pressure receiving member 44 is disposed on the lower side of the ACF attachment region, and a pressure blade member 45 is disposed on the upper portion thereof so as to be movable up and down. The pressure receiving member 44 and the pressure blade member 45 constitute a pressure bonding means. Accordingly, the semiconductor device 2 and the ACF attachment region of the PCB 3 are overlapped with each other and brought into contact with the pressure receiving member 44, and the pressure cutting blade 45a of the pressure bonding blade member 45 is lowered from above, and this pressure is applied with a predetermined pressure. Pressure bonding is performed by pressing the semiconductor device 2 and the PCB 3. At least the crimping blade 45a has a built-in heater, and the ACF interposed between the semiconductor device 2 and the PCB 3 is heated to a predetermined temperature during the crimping.

そこで、パネル基板1へのPCB3の接続方法について、図9を参照して説明する。まず、図9(a)にあるように、圧着刃部材45を上昇させて、圧着受け部材44から離間させておき、PCBクランプユニット40にクランプ保持されているPCB3を、圧着されるACF貼り付け領域が圧着受け部材44の上部位置となるように配置する。パネルホルダ装置20には、パネル基板1が吸着保持されており、このパネル基板1のPCB3が接続される辺をPCB3に向けるように方向を制御する。なお、パネル基板1のこの辺には、既に前工程で所定数の半導体装置2の群が接続されている。   Therefore, a method for connecting the PCB 3 to the panel substrate 1 will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 9A, the crimping blade member 45 is raised and separated from the crimp receiving member 44, and the PCB 3 clamped by the PCB clamp unit 40 is pasted with an ACF to be crimped. It arrange | positions so that an area | region may become the upper position of the crimp receiving member 44. FIG. The panel holder 1 holds the panel substrate 1 by suction, and the direction is controlled so that the side of the panel substrate 1 to which the PCB 3 is connected faces the PCB 3. Note that a predetermined number of groups of semiconductor devices 2 are already connected to this side of the panel substrate 1 in the previous process.

以下においては、パネルホルダ装置20のアームユニット21に吸着保持されているパネル基板1は、長辺側にPCB3を接続させるものとする。この段階では、この長辺には既に所定数の半導体装置2が接続されている。また、PCB3については、その電極が配設されている部位にはACFが貼り付けられており、PCBクランプユニット40にクランプされているときには、このACFを貼り付け面は上側を向いている。   In the following, it is assumed that the panel substrate 1 held by suction on the arm unit 21 of the panel holder device 20 is connected to the PCB 3 on the long side. At this stage, a predetermined number of semiconductor devices 2 are already connected to this long side. Further, with respect to the PCB 3, the ACF is attached to the portion where the electrode is disposed, and when the PCB 3 is clamped by the PCB clamp unit 40, the ACF attachment surface faces upward.

図9(b)にあるように、PCBクランプユニット40によりクランプされているPCB3が圧着受け部材44の上面に載置される。そして、パネルホルダ装置20をPCBクランプユニット40に近接する方向に移動させて、パネル基板1の半導体装置2がPCB3の上部位置となるように調整し、半導体装置2とPCB3とを正確に位置合わせする。この状態から、図9(c)に示したように、パネルホルダ装置20の昇降手段26を駆動して、アームユニット21を引き下げて、パネル基板1の各半導体装置2がPCB3に当接するように下降させる。ここで、遅くとも、このパネルホルダ装置20におけるアームユニット21の引き下げが開始される前の段階で、エアシリンダ29のピストンロッド29aをシリンダ29b内に引き込むようにした退避位置に保持する。   As shown in FIG. 9B, the PCB 3 clamped by the PCB clamp unit 40 is placed on the upper surface of the pressure receiving member 44. Then, the panel holder device 20 is moved in the direction approaching the PCB clamp unit 40 so that the semiconductor device 2 of the panel substrate 1 is adjusted to the upper position of the PCB 3, and the semiconductor device 2 and the PCB 3 are accurately aligned. To do. From this state, as shown in FIG. 9C, the lifting means 26 of the panel holder device 20 is driven to pull down the arm unit 21 so that each semiconductor device 2 of the panel substrate 1 contacts the PCB 3. Lower. Here, at the latest, before the arm unit 21 starts to be pulled down in the panel holder device 20, the piston rod 29a of the air cylinder 29 is held in the retracted position so as to be pulled into the cylinder 29b.

この状態で、図9(d)に示したように、圧着刃部材45を下降させて、半導体装置2に当接させて、加熱下で、所定の加圧力を作用させる。これによって、パネル基板1に接続した各半導体装置2の電極とPCB3に設けた電極とがACFの導電粒子を介して電気的に接続され、バインダ樹脂によって半導体装置2とPCB3とが連結した状態で固着される。ここで、半導体装置2及びPCB3の上下の部位には、この圧着刃部材45の作動による圧着を阻害したり、干渉したりする部材が配置されていないので、その作動が円滑に行われることになり、PCB3の全長にわたって均一な加圧力を作用させて、正確な圧着を行うことができる。   In this state, as shown in FIG. 9D, the crimping blade member 45 is lowered and brought into contact with the semiconductor device 2, and a predetermined pressure is applied under heating. As a result, the electrodes of each semiconductor device 2 connected to the panel substrate 1 and the electrodes provided on the PCB 3 are electrically connected via the conductive particles of the ACF, and the semiconductor device 2 and the PCB 3 are connected by the binder resin. It is fixed. Here, in the upper and lower parts of the semiconductor device 2 and the PCB 3, there is no member that interferes with or interferes with the crimping by the operation of the crimping blade member 45, so that the operation is performed smoothly. Thus, a uniform pressure can be applied over the entire length of the PCB 3 to perform accurate pressure bonding.

圧着が終了すると、圧着刃部材45を上昇させると共に、パネルホルダ装置20のアームユニット21及びPCBクランプユニット40を上昇させて、圧着受け部材44から離間させて、図9(a)の状態に復帰させる。ここで、アームユニット21とPCBクランプユニット40とは同時に上昇させる。その結果、圧着直後で、ACFが十分な固着力が発揮されていなかったとしても、半導体装置2とPCB3の間が剥離したり、接合状態が不安定になったりすることはない。   When the crimping is completed, the crimping blade member 45 is lifted, and the arm unit 21 and the PCB clamp unit 40 of the panel holder device 20 are lifted and separated from the crimping receiving member 44 to return to the state of FIG. Let Here, the arm unit 21 and the PCB clamp unit 40 are raised simultaneously. As a result, even if the ACF does not exhibit a sufficient fixing force immediately after the pressure bonding, the semiconductor device 2 and the PCB 3 are not separated or the bonding state does not become unstable.

このときに、図9(e)に示したように、エアシリンダ29への加圧エアの供給を遮断する。この加圧エアの遮断はコネクタ33を接続ポート34から引き抜くことにより行うことができる。これによって、ピストンロッド29aがシリンダ29bから突出する作動位置に変位する。そして、図9(f)に示したように、PCBクランプユニット40を構成する回動クランプ部材43を上方に回動させてクランプを解除し、かつアームユニット21を上昇させる。この時には、図10に示したように、シリンダ29bから伸長したピストンロッド29aが基板支え部材として機能し、PCB3が載置されることになり、フレキシブル基板からなる半導体装置2が曲ってPCB3がその自重により垂れ下がるようなことがなく、このPCB3に位置ずれや部分剥離が発生する等といった不安定になることはない。従って、ピストンロッド29aはアームユニット21のパネル基板1の当接面にできるだけ近い高さ位置に保持する。   At this time, the supply of pressurized air to the air cylinder 29 is shut off as shown in FIG. This blocking of the pressurized air can be performed by pulling out the connector 33 from the connection port 34. As a result, the piston rod 29a is displaced to the operating position protruding from the cylinder 29b. Then, as shown in FIG. 9 (f), the rotating clamp member 43 constituting the PCB clamp unit 40 is rotated upward to release the clamp, and the arm unit 21 is raised. At this time, as shown in FIG. 10, the piston rod 29a extended from the cylinder 29b functions as a substrate support member, and the PCB 3 is placed. The semiconductor device 2 made of a flexible substrate is bent and the PCB 3 is bent. It does not hang down due to its own weight, and does not become unstable such as positional displacement or partial peeling on the PCB 3. Therefore, the piston rod 29a is held at a height position as close as possible to the contact surface of the panel substrate 1 of the arm unit 21.

以上のように、パネル基板1の各辺で、PCB3の接続時以外はエアシリンダ29、30を作動位置となし、もってPCB3の下支えを行うことによって、フレキシブル基板を介してパネル基板1に接続されているPCB3の安定性が確保され、パネルホルダ装置20の動作時等に、他の物体と衝突する等のおそれがなくなる。   As described above, the air cylinders 29 and 30 are set to the operating positions on each side of the panel substrate 1 except when the PCB 3 is connected, so that the PCB 3 is supported to be connected to the panel substrate 1 via the flexible substrate. The stability of the PCB 3 is secured, and there is no possibility of colliding with other objects when the panel holder device 20 is operated.

而して、パネルホルダ装置20を構成するアームユニット21については、相互に異なる2種類の間隔としたものが、交互に配設されている。即ち、図2に示したように、アームユニットの幅が狭いパネルホルダ装置と、アームユニットの幅が広いパネルホルダ装置とが交互に配置されている。これは前後のパネルホルダ装置間でパネル基板1を受け渡す際に相互の干渉を防止するためである。   Thus, the arm units 21 constituting the panel holder device 20 are alternately arranged in two different intervals. That is, as shown in FIG. 2, the panel holder device with a narrow arm unit width and the panel holder device with a wide arm unit width are alternately arranged. This is to prevent mutual interference when the panel substrate 1 is transferred between the front and rear panel holder devices.

図11に示したように、ホルダアーム21a〜21fの間隔を広くしたアームユニット21Wを設けたパネルホルダ装置20Wと、両側のホルダアーム21a,21f間の間隔が狭く、かつ中間のホルダアーム21b〜21eがアームユニット21Wにおけるホルダアーム21b〜21eの間に配置したアームユニット21Nを有するパネルホルダ装置20Nとが前後のステージに配置されている。なお、両パネルホルダ装置20W,20Nにおけるアームユニットを構成するホルダアームの数は、例えば間隔の狭いパネルホルダ装置20N側が1本少なくして、パネルホルダ装置20Wとは異なる本数とすることもできる。従って、アームユニット21Wを構成する各ホルダアーム21a〜21fとアームユニット21Nを構成する各ホルダアーム21a〜21fとは、相互に干渉することなく、相手方のアームユニットに対して進入して、相互に入り組んだ状態にできるようになっている。相対向する位置に配設したパネルホルダ装置20Wとパネルホルダ装置20Nのうちの一方側、例えばパネルホルダ装置20Wのアームユニット21Wにパネル基板1が保持されているとし、このパネルホルダ装置20Wから、パネルホルダ装置20Nのアームユニット21Nにパネル基板1を移載するものとして、その動作を説明する。   As shown in FIG. 11, the panel holder device 20W provided with an arm unit 21W having a wider interval between the holder arms 21a to 21f, and the interval between the holder arms 21a and 21f on both sides is narrow and the intermediate holder arms 21b to A panel holder device 20N having an arm unit 21N disposed between the holder arms 21b to 21e in the arm unit 21W is disposed on the front and rear stages. It should be noted that the number of holder arms constituting the arm unit in both panel holder devices 20W and 20N may be different from the panel holder device 20W, for example, by reducing the number of the panel holder devices 20N having a narrow interval by one. Accordingly, the holder arms 21a to 21f constituting the arm unit 21W and the holder arms 21a to 21f constituting the arm unit 21N enter the other arm unit without interfering with each other, and It can be in a complicated state. Assume that the panel substrate 1 is held on one side of the panel holder device 20W and the panel holder device 20N arranged at opposite positions, for example, the arm unit 21W of the panel holder device 20W. From the panel holder device 20W, The operation will be described assuming that the panel substrate 1 is transferred to the arm unit 21N of the panel holder device 20N.

受け取り側のパネルホルダ装置20Nを、その昇降手段26によりアームユニット21Nを下降させた状態で、両パネルホルダ装置20W、20Nを近接させる。この方向への駆動は、いずれか一方または双方のXY駆動手段27を作動させることにより行うことができる。これによって、両パネルホルダ装置20W,20Nのアームユニット21W,21Nが相互に組み込まれた状態になる。このときには、アームユニット21Nはパネル基板1が載置されているアームユニット21Wより下方位置、具体的にはアームユニット21Wとガイド部材22との間の高さ位置に配置されている。そして、パネルホルダ装置20Nの昇降手段26を作動させて、アームユニット21Nを上昇させる。このアームユニット21Nの上昇高さはアームユニット21Wより高い位置とする。また、好ましくは、アームユニット21Nがアームユニット21Wとほぼ同じ高さ位置になったときに、アームユニット21N側の各ホルダアーム21a〜21fの吸着パッド28に負圧を作用させると共に、アームユニット21W側のホルダアーム21a〜21fの吸着パッド28に対する負圧の作用を停止する。これによって、パネル基板1はパネルホルダ装置20Wからパネルホルダ装置20Nに移載されたことになる。そこで、パネルホルダ装置20Nをパネルホルダ装置20Wから離間させ、アームユニット20Nを所定の位置まで下降させる。これによって、パネルホルダ装置20Nが配置されているステージでの作業を開始できる状態になる。   The panel holder device 20N on the receiving side is brought close to the panel holder device 20W, 20N in a state where the arm unit 21N is lowered by the lifting means 26. Driving in this direction can be performed by operating either or both XY driving means 27. As a result, the arm units 21W and 21N of both panel holder devices 20W and 20N are assembled with each other. At this time, the arm unit 21N is disposed at a position below the arm unit 21W on which the panel substrate 1 is placed, specifically, at a height position between the arm unit 21W and the guide member 22. And the raising / lowering means 26 of the panel holder apparatus 20N is operated, and the arm unit 21N is raised. The rising height of the arm unit 21N is higher than the arm unit 21W. Preferably, when the arm unit 21N is at substantially the same height as the arm unit 21W, a negative pressure is applied to the suction pads 28 of the holder arms 21a to 21f on the arm unit 21N side, and the arm unit 21W The action of the negative pressure on the suction pads 28 of the side holder arms 21a to 21f is stopped. Thus, the panel substrate 1 is transferred from the panel holder device 20W to the panel holder device 20N. Therefore, the panel holder device 20N is separated from the panel holder device 20W, and the arm unit 20N is lowered to a predetermined position. Thereby, it will be in the state which can start the operation | work in the stage in which the panel holder apparatus 20N is arrange | positioned.

以上のようにしてパネル基板1をパネルホルダ装置20W,20N間で移載させるが、このときにパネル基板1に半導体装置2を介してPCB3が接続されており、このPCB3が垂れ下がっていると、アームユニット21Nを構成するホルダアーム21a〜21fがアームユニット21Wのホルダアーム21a〜21f間の間隔に入り込む際に、それらの先端がPCB3に当接するおそれがある。しかしながら、基板支え部材を構成するエアシリンダ29,30によりPCB3の位置がパネル基板1とほぼ同じ高さ位置に保持されているので、そのような事態が発生することがなく、円滑かつ確実な移載動作が行われることになり、接続した直後のPCB3等にダメージを与えることはない。   As described above, the panel substrate 1 is transferred between the panel holder devices 20W and 20N. At this time, the PCB 3 is connected to the panel substrate 1 via the semiconductor device 2, and the PCB 3 is suspended. When the holder arms 21a to 21f constituting the arm unit 21N enter the space between the holder arms 21a to 21f of the arm unit 21W, there is a possibility that the tips of the arms abut against the PCB 3. However, since the position of the PCB 3 is held at substantially the same height as the panel substrate 1 by the air cylinders 29 and 30 constituting the substrate supporting member, such a situation does not occur and smooth and reliable transfer is possible. The loading operation is performed, and the PCB 3 immediately after the connection is not damaged.

パネル基板の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of a panel board | substrate. パネル基板へのPCBの接続を行う基板実装工程のステージ構成の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the stage structure of the board | substrate mounting process which connects PCB to a panel board | substrate. 本発明の実施の形態を示すパネルホルダ装置の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the panel holder apparatus which shows embodiment of this invention. 図3の正面図である。FIG. 4 is a front view of FIG. 3. 図3の側面図である。FIG. 4 is a side view of FIG. 3. エア配管からのコネクタとエア供給管への接続ポートの接続構造を示す平面図である。It is a top view which shows the connection structure of the connector from an air piping, and the connection port to an air supply pipe. 各エアシリンダへの配管の接続構造を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the connection structure of piping to each air cylinder. パネル基板へのPCBの接続機構の構成を示す構成説明図である。It is a configuration explanatory view showing a configuration of a PCB connection mechanism to the panel substrate. パネル基板へのPCBの接続手順を示す工程説明図である。It is process explanatory drawing which shows the connection procedure of PCB to a panel board | substrate. パネル基板とPCBとの接続部を示す側面図である。It is a side view which shows the connection part of a panel board | substrate and PCB. パネルホルダ装置間でのパネル基板の受渡を行っている状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which is delivering the panel board | substrate between panel holder apparatuses.

符号の説明Explanation of symbols

1 パネル基板 2 半導体装置
3 PCB 4 パネルアセンブリ
20,20W,20N パネルホルダ装置
21a〜21f ホルダアーム
21,21W,21N アームユニット
22 ガイド部材 28 吸着パッド
29,30 エアシリンダ
32 エア配管 33 コネクタ
34 接続ポート 35 エア供給管
40 PCBクランプユニット
44 圧着受け部材 45 圧着刃部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Panel substrate 2 Semiconductor device 3 PCB 4 Panel assembly 20, 20W, 20N Panel holder apparatus 21a-21f Holder arm 21,21W, 21N Arm unit 22 Guide member 28 Adsorption pad 29, 30 Air cylinder 32 Air piping 33 Connector 34 Connection port 35 Air supply pipe 40 PCB clamp unit 44 Crimp receiving member 45 Crimp blade member

Claims (6)

パネル基板に1または複数の印刷回路基板が、フレキシブル基板にIC回路を搭載した複数の半導体装置を介して接続されたパネルアセンブリを保持するパネルホルダ装置において、
前記パネル基板が水平状態に載置され、水平方向に向けて平行に配設した複数本のホルダアームを有し、前記パネル基板のサイズに応じて前記複数本のホルダアームのうち両側に位置する2本の固定されたホルダアームと当該2本の固定されたホルダアームの中間に位置する複数本のホルダアームとを有し、当該中間の複数本のホルダアームを当該ホルダアームの軸線と直交する方向に位置調整するアームユニットと、
位置調整される前記ホルダアームのうち、少なくとも2本のホルダアームの下部位置に装着され、前記印刷回路基板の下面に当接する基板支え部材と、
これら各基板支え部材を、前記ホルダアームの先端から突出しない退避位置と、このホルダアームの先端から突出して、前記印刷回路基板の下面と当接する作動位置とに変位させる進退駆動手段と
を備えたことを特徴とするパネルホルダ装置。
In a panel holder device for holding a panel assembly in which one or a plurality of printed circuit boards are connected to a panel substrate via a plurality of semiconductor devices having an IC circuit mounted on a flexible substrate,
The panel substrate is placed in a horizontal state, has a plurality of holder arms arranged in parallel in the horizontal direction, and is positioned on both sides of the plurality of holder arms according to the size of the panel substrate. There are two fixed holder arms and a plurality of holder arms positioned between the two fixed holder arms, and the plurality of intermediate holder arms are orthogonal to the axis of the holder arm. An arm unit that adjusts the position in the direction,
A substrate support member mounted at a lower position of at least two holder arms of the holder arms to be adjusted, and in contact with a lower surface of the printed circuit board;
Advancing / retreating driving means for displacing each of the board supporting members to a retracted position that does not protrude from the tip of the holder arm and an operating position that protrudes from the tip of the holder arm and contacts the lower surface of the printed circuit board is provided. A panel holder device.
前記進退駆動手段はエアシリンダであり、前記基板支え部材はこのエアシリンダのピストンロッドであって、常時には、この基板支え部材を作動位置となし、エアシリンダに加圧空気を供給することにより退避位置に変位するように作動するものであることを特徴とする請求項1記載のパネルホルダ装置。   The advancing / retreating drive means is an air cylinder, and the substrate support member is a piston rod of the air cylinder. The substrate support member is always in an operating position, and is retracted by supplying pressurized air to the air cylinder. 2. The panel holder device according to claim 1, wherein the panel holder device operates so as to be displaced to a position. 前記パネルアセンブリを形成するために、複数のステージを備えており、これら各ステージにそれぞれパネルホルダ装置が配置され、これら両パネルホルダ装置間で前記パネルアセンブリの受渡を行うために、一方のパネルホルダ装置のアームユニットを構成する各ホルダアーム間に、他方のパネルホルダ装置のアームユニットを構成する各ホルダアームが進入可能となっており、かつこれらアームユニットには水平回動手段,前後動手段及び昇降動手段を設ける構成としたことを特徴とする請求項2記載のパネルホルダ装置。   In order to form the panel assembly, a plurality of stages are provided, and a panel holder device is disposed on each of the stages, and one panel holder is used to deliver the panel assembly between the two panel holder devices. Each holder arm constituting the arm unit of the other panel holder apparatus can enter between each holder arm constituting the arm unit of the apparatus, and these arm units include a horizontal turning means, a forward / backward moving means, and The panel holder device according to claim 2, wherein a lifting / lowering means is provided. 前記アームユニットは、前記水平回動手段により90度毎にインデックス回転するものであり、この水平回動手段には、各インデックス角度位置に前記エアシリンダへの加圧エアの配管を接続した接続ポートが形成されており、加圧エア源からの配管はコネクタに接続されており、このコネクタは接離手段によって、これら各接続ポートに選択的に接続される構成としたことを特徴とする請求項3記載のパネルホルダ装置。   The arm unit is rotated by an index every 90 degrees by the horizontal rotation means, and a connection port in which a pipe for pressurized air to the air cylinder is connected to each index angular position. The piping from the pressurized air source is connected to a connector, and the connector is configured to be selectively connected to each of the connection ports by contact / separation means. 3. The panel holder device according to 3. 前記アームユニットを構成する各ホルダアームは相互に近接・離間する方向に位置調整可能な構成としたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のパネルホルダ装置。   The panel holder device according to any one of claims 1 to 4, wherein each holder arm constituting the arm unit is configured to be positionally adjustable in a direction approaching or separating from each other. 前記各ホルダアームは、前記パネルの短辺と平行な方向に複数配列したものからなり、前記各基板支え部材はこれら各ホルダアームの少なくとも1箇所において、軸線方向の前後に向けて設けると共に、ホルダアームの軸線と直交する両方向にも配置する構成としたことを特徴とする請求項5記載のパネルホルダ装置。   Each of the holder arms comprises a plurality arranged in a direction parallel to the short side of the panel, and each of the substrate support members is provided at the front and rear in the axial direction at at least one place of each of the holder arms. 6. The panel holder device according to claim 5, wherein the panel holder device is also arranged in both directions perpendicular to the axis of the arm.
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