JP5319295B2 - 窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング - Google Patents
窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング Download PDFInfo
- Publication number
- JP5319295B2 JP5319295B2 JP2008544127A JP2008544127A JP5319295B2 JP 5319295 B2 JP5319295 B2 JP 5319295B2 JP 2008544127 A JP2008544127 A JP 2008544127A JP 2008544127 A JP2008544127 A JP 2008544127A JP 5319295 B2 JP5319295 B2 JP 5319295B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- ion plating
- chromium nitride
- chromium
- piston ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
- C23C14/0073—Reactive sputtering by exposing the substrates to reactive gases intermittently
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
- C23C14/0084—Producing gradient compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0664—Carbonitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J9/00—Piston-rings, e.g. non-metallic piston-rings, seats therefor; Ring sealings of similar construction
- F16J9/26—Piston-rings, e.g. non-metallic piston-rings, seats therefor; Ring sealings of similar construction characterised by the use of particular materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12576—Boride, carbide or nitride component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
Description
特許文献4の窒化Cr皮膜は、耐欠け状剥離性に優れると共に、密着性にも優れることから、厚膜に成膜することも可能であり、以後、耐久性を必要とするディーゼルエンジン用ピストンリングに多く使われるようになった。しかしながら、本皮膜は皮膜中に多数の空孔を有することから、皮膜硬度は窒化クロム本来の硬さよりも低く、近年の硬質粒子が生成されるようなエンジンに於いては、アブレシブ摩耗が生じ易いという問題がある。
山本英継他「ディーゼルエンジンオイル中のススの硬さに関する研究,」 機講論No.03-1 Vol.III, (2003), P137。
また、本発明により、この窒化クロムイオンプレーティング皮膜を外周摺動面に有するピストンリング並びにその製造方法が提供される。
以下、組成、結晶構造、結晶配向、皮膜破面、ピストンリング、製造方法及び特性の順に本発明を説明する。
本発明に係る窒化クロムイオンプレーティング皮膜は、クロム、窒素及び炭素を主成分とし、X線回折による皮膜の定性分析によって、窒化クロムが同定できるものである。
本発明の窒化クロムイオンプレーティング皮膜は、クロムと窒素と炭素などの必須成分に加えて、イオンプレーティングの製造に起因する不純物を含ものである。また、窒化クロムが同定されるならば、イオンプレーティング法で蒸発材物質が皮膜中に取り込まれる所謂ドロップレットや、クロム原料である高純度Crに含まれる不純物などの固体異物が存在しても良いが、固体異物に属す炭化クロム及びドロップレットは破壊靭性値もしくは耐摩耗性を低下するので、少ない程よい。また、ガス状異物と考えることができる気孔は皮膜硬さを満たす範囲でならば存在してもよい。一方では未反応炭化水素、窒素などはガス不純物として含有されてもよい。
本願発明では、窒化クロムイオンプレーティング皮膜がCrN型窒化クロムを主な結晶構造とすることが好ましい。尚、CrN型窒化クロムを主な結晶構造とするとは、X線回折でCrN型窒化クロムのいずれかの回折面の強度がCr2N型窒化クロムの同等回折面の強度よりも強いものであることを意味する。
又、前記窒化クロムイオンプレーティング皮膜はX線回折で確認できるCrN(111)面が皮膜表面に平行に方位配向している程度が高いことが必要であり、即ちCrN(111)面の方位配向の程度が後述のCrN(111)組織係数で0.4〜2.0あることが必要である。
窒化クロムイオンプレーティング皮膜は皮膜表面に向かって、径が0.2〜5μmの柱状結晶にとなっていることが望ましい。径が0.2μm以下ではクラック進展の阻害効果は無く、又、5μm以上では空孔が大きくなり皮膜の硬度が低下し耐摩耗性が低下する。柱状結晶の大きさは皮膜破断面の電子顕微鏡の2次電子像から計測することが出来る(図4参照)。皮膜の破断は、皮膜の結晶形態に影響を与えないように、基材側に刻み目、溝、切り欠きなどを形成したのち、破壊することによって行う。
本願第二の発明は、内燃機関用ピストンリングであって、請求項1項または2項記載の窒化クロムイオンプレーティング皮膜を少なくとも外周摺動面に形成されていることを特徴とする内燃機関用ピストンリングである。ここで、内燃機関用ピストンリングとは高負荷ディーゼルエンジン用ピストンリングに限らず、一般のディーゼルエンジンやガソリンエンジン用ピストンリングが含まれる。
又、本願第三の発明は、金属クロム皮膜をアークイオンプレーティング法により成膜し、次に、窒素ガス、炭化水素ガス、アルゴンガスからなる低圧ガス雰囲気中で、バイアス電圧を−30Vから0Vとし、アークイオンプレーティング法により窒化クロムイオンプレーティング皮膜を形成することを特徴とする請求項1から3までの何れか1項記載の窒化クロムイオンプレーティング皮膜の形成方法である。
尚、バイアス電圧が0Vとは、人為的にバイアス電圧を負荷しないことである。
本願発明の窒化クロムイオンプレーティング皮膜は、クロムと窒素及び炭素を主成分としており、該炭素濃度が4〜9重量%である。また、皮膜破断面が皮膜表面に向かって柱状の形態を有しており、CrN(111)面が皮膜表面に平行に方位配向している程度がCrN(111)組織係数で0.4から2.0である。このような窒化クロムイオンプレーティング皮膜は皮膜硬度がHv1600以上あるので耐摩耗性に富み、且つ、破壊靭性値が2.63好ましくは3MPa・(m)1/2 以上であり、耐欠け状剥離性に優れている。従って、過酷な摩耗環境に於いて耐摩耗性、耐欠け状剥離性及び皮膜の耐欠け状剥離性が要求される高負荷ディーゼルエンジン用ピストンリングの外周摺動面に使用した場合でも、皮膜の欠け状剥離が生じがたく、異常摩耗が生じないピストンリングを提供することが可能となった。尚、本皮膜が、ガソリンエンジン用のピストンリングにあっても、有効であることは言うまでもない。
続いて、本発明における限定理由を説明する。
(1)炭素の含有
特許文献4〜7の従来技術により成膜されるイオンプレーティング皮膜の皮膜結晶が皮膜表面に向かって柱状に成長する際に、その成長方向は母材表面の凹凸等の影響を受け、必ずしも一方向ではない。従って、成長の途中に、隣の柱状結晶と接する(ぶつかる)ことが起きる。この時、その接点の母材に近い部分は蒸着粒子の飛来方向の陰になるから、蒸着粒子が付着できず、結果、空間即ち空孔が形成されるものと考えられる。従って、イオンプレーティング皮膜を外周面に対し垂直に成長する柱状組織を維持しながら、且つ、皮膜硬度を高めるためにこの空孔を減らすには、下地表面粗さを極力平滑にするか、あるいは窒化クロム柱状組織自体を細くし、且つ、短い柱状組織にすれば良いことになる。しかしながら、母材下地を平滑にすることは摺動部材の表面形状が各種あることを考えると何れのものにも適用できるとはいえない。そこで、窒化クロム柱状組織を変えることを検討した。その結果、窒化クロム柱状組織を細く、且つ、短いものとするには、窒化クロム結晶の成長の起点となる箇所を増やせば良いと考えた(膜厚さ方向に短い柱状も同様であり、成膜途中で新たな結晶成長の起点ができることに他ならない)。尚、柱状組織をより細い柱状組織とすることは、クラックが柱状方向と垂直な方向、即ち皮膜と平行な方向へ進展し難くなるという別の効果も期待できる。そこで、柱状組織を細く、且つ、短くする方法について、種々実験を繰り返した結果、皮膜中に適当量の炭素を含ませることで達成できることを見出した。これは、炭素が窒化クロムの窒素と置換して窒化クロム中に取り込まれることから、炭素が取り込まれた時点で、そこが新たな柱状結晶成長の起点になるためと考えられる。
本願発明の窒化クロムイオンプレーティング皮膜は、CrN型窒化クロムを主な結晶構造とすることが好ましい。窒化クロムにはCrN型窒化クロムとCr2N型窒化クロムが存在し、窒素濃度の量により、CrN型窒化クロム結晶を主な組織とする皮膜、Cr2N型窒化クロム結晶を主な組織とする皮膜、これらの混合した組織の皮膜が得られる。これは、炭素を含有させても変わらない。しかしながら、Cr2N型窒化クロム組織はCrN型窒化クロムに比べ破壊靭性値が低い傾向にある。従って、CrN型窒化クロムを主な結晶構造とする窒化クロムイオンプレーティング皮膜がより好ましい。
更に、本願発明の窒化クロムイオンプレーティング皮膜ではCrN(111)面が皮膜表面に平行に方位配向した窒化クロムイオンプレーティング皮膜であることが必要である。前述のように、皮膜を微細柱状組織とすることで、皮膜表面と平行な方向(以後、平行方向と記す)へのクラックの伝播は起こりにくいものとなるが、その効果は充分でなく、破壊靭性値を3MPa・(m)1/2以上とすることは出来なかった。そこで、種々実験を繰り返した結果、皮膜の配向性をCrN(111)面配向とすることで破壊靭性値が向上することを見出した。これは、柱状組織自体の破断抵抗が増大した結果によると思われるが、何故、CrN(111)面配向になると破断抵抗が増すかは定かではない。尚、配向の程度は組織係数で0.4〜0.9である必要がある。CrN(111)組織係数がこの範囲以外となると破壊靭性値が3 MPa・(m)1/2以下となる。
本願発明の窒化クロムイオンプレーティング皮膜は、皮膜硬度がビッカース硬度でHv1600〜2000である。硬度がHv1600未満では充分な耐摩耗性が得られないことは前述したとおりである。尚、皮膜硬さは皮膜中の空孔量で決まるから、本皮膜の空孔量をほぼゼロとすることで達成できる。
通常、特許文献5〜7に開示されているように、アークイオンプレーティング法にて窒化物、炭化物又は炭窒化物のイオンプレーティング皮膜を形成する時は、窒素ガス、炭化水素ガス又はこれらの混合ガスの低ガス圧雰囲気中でアーク放電にて蒸発材の金属元素を蒸発することで形成できる。しかしながら、この従来の方法では、本願皮膜の特徴とする「X線回折によるCrN(111)面の組織係数が0.4以上である」いわゆるCrN(111)優先配向をもつ窒化クロムイオンプレーティング皮膜」は得られない。これは、炭化水素ガスの分解・イオン化が不十分なためと思われ、これを補うために,イオンプレーティング装置にアルゴンガスを添加することが必要である。アルゴンガスは炭化水素系ガスよりもイオン化されやすく、イオン化によって増えた自由電子が炭化水素ガスのイオン化に寄与するためと考えられる。このアルゴンの効果を最大限に発揮するためには、請求項4の方法にしたがい、CrのイオンプレーティングとC,Nのイオンプレーティングを別工程で行い、後の工程でアルゴンガスと炭化水素ガスの混合ガス雰囲気とすることが好ましい。
尚、同様な理由により、イオンプレーティング装置は蒸発金属元素のイオン化率に優れたアークイオンプレーティング装置が望ましい。
以下、実施例に基づき詳述する。但し、本願発明がこの実施例に限定されるものではない。
この装置はガス導入口12、排気口13を有する真空容器14を備え、真空容器14内に、アーク電源15の陽極に接続された第一ターゲット16とアーク電源17の陽極に接続された第二ターゲット18が配置されている。第一ターゲット16、及び第二ターゲット18には金属Crがセットされている。尚、第一ターゲット16と第二ターゲット18は被処理表面からの距離が等しくなるように設置されている。さらに、真空容器14内にはバイアス電源19に接続された回転テーブル20が中央に配置され、回転テーブル20上には、被処理物11が設置されている。
次に、アークイオンプレーティング方法による皮膜の形成方法について詳述する。
実施例
以下、本発明の実施例を詳述する。
本願発明の窒化クロムイオンプレーティング皮膜を評価するために、矩形形状をした断面寸法2.5×4.3mm の17Crステンレス鋼ピストンリング線材をφ135mm のピストンリング状に曲げ成形後、歪取り焼鈍処理し合口隙取り、側面研磨、外周面研磨を行いピストンリング素材を得た。このリング素材10本ほどを上下方向よりスタックし円筒状にし、超音波洗浄により脱脂洗浄した。これを、アークイオンプレーティング装置(神戸製鋼所社製のAIP-3012)の中央回転ターンテーブル上に配置した。第一ターゲット、第二ターゲットを金属Crとし、真空容器を0.033Pa以下に減圧し、回転ターンテーブルを回転しながらヒーターによりピストンリング温度が500℃になるまで昇温した。
実施例1と同様な方法にて、表2記載の成膜条件で窒化クロムイオンプレーティング皮膜を成膜した。
1)膜厚測定
皮膜断面を樹脂に埋め込み鏡面に研磨後、金属顕微鏡(400倍)にて測定した表の単位はμmである。
皮膜硬さはアカシ社製マイクロビッカース硬度計を用いて荷重300gf、時間15secの条件で皮膜表面を鏡面に研磨後皮膜表面より表面硬さを計測した。硬さ単位はHv
3) 炭素濃度の測定
皮膜中の炭素濃度は皮膜断面を日本電子製電子線マイクロアナライザー, EPMA(JEOL JXA-8600S)にて加速電圧15kV、プローブ電流5×108Aの条件で定量分析を実施し求めた。単位はW%。
前述のように、上記膜厚測定に用いた試験片にビッカース圧子を皮膜断面中央部に押し込むことによって生じる圧痕及びクラック長さを測定し、押込荷重、圧痕の対角線長さ、クラック長さから破壊靱性値を求めた。ここで、試験荷重は200gfとし時間は15secとした。又、破壊靱性値の算出に用いる弾性率は240263MPaとした。
CrN(111)面配向はRigaku製のX線回折装置RINT2100を用いて皮膜のX線回折パターンを測定することにより定量的に得られる組織係数により評価した。X線回折パターン測定は、トップリングを合口付近から15mm 程度の長さにそれぞれ3個切断し、アセトンで軽く脱脂した後、3個並べてXRD固定治具にセットしX線回折測定を行った。測定は、X線源に銅のKα1線を使用し、走査範囲2θ=35〜70°、印加電圧40kV、印加電流30mA 、スキャンステップ0.02°、スキャン速度2°/min、発散スリット1deg 、受光スリット0.3mmの条件で行った。また、組織係数は得られたX線回折パターンを用いて(1)式に定義した組織係数により求めた。
3×[I(111)/I0(111)]/Σ[I(hkl)/ I0(hkl)] (1)
ここで、I(hkl)は(hkl)ピークのX線回折強度、I0(hkl)はJCPDSファイル記載の標準X線回折強度のI0 (111)=80,I0(200)=100 ,I0 (220)=80を用いた。これら皮膜の調査結果を表3に記載する。
(イ)炭素濃度
皮膜中の炭素濃度は成膜時のメタン分圧の影響を受ける。成膜時のメタン分圧を0.19Pa以上とした実施例1〜9においては、炭素濃度が4.1wt%以上となり、皮膜硬さは目標とするHv1600以上となる。これに対し、当然ながら、成膜時にメタンガスを入れていない従来技術1では皮膜中の炭素濃度は0wt%であり、皮膜硬さがHv1448と低く目標とするHv1600に到達していない。従って、耐摩耗性が期待できない。又、炭素による柱状結晶径微細化効果がないため、破壊靭性値も1.5と低く好ましい値の3.0 MPa・(m) 1/2 に到達しない。又、炭素濃度が9.7wt%と高い実施例5では炭化クロムの生成のためか皮膜硬度はHv2046と高いが、破壊靭性値が2.3 MPa・(m) 1/2 と低く実際のエンジンにおいて欠け剥離が生まれる可能性が高い。したがって、炭素濃度は4から8wt%とした。
金属クロムイオンプレーティング皮膜形成後のイオンプレーティング段階における全ガス圧、アルゴンガス分圧、バイアス電圧がCrN皮膜の結晶配向性に大きく影響する。従来技術3からコーティング時の窒素ガス圧が高い時は、CrN(200)面に結晶配向しており、皮膜硬度が低い(Hv1080)割に破壊靭性値が低くいことがわかる。これに、アルゴンガスを添加すると、アルゴンガスのイオン化効果からCrN皮膜の結晶配向性が(111)面配向に変化すると同時に、(111)面配向の度合いであるCrN(111)面組織係数も大きくなり破壊靭性値が向上する。しかしながら、実施例8からはバイアス電圧が高くするとCrN(111)面組織係数が0.9以上を超え再び破壊靭性値が低下することが伺える。そこで、破壊靭性値を3 MPa・(m) 1/2 以上とするためには、CrN(111)面組織係数が0.4〜0.8であることが好ましい。
1.破壊靭性値が3MPa・(m) 1/2 以以上である本願発明品は欠けが発生しなかった。
2.破壊靭性値が2.3MPa・(m) 1/2 で硬さがHv2046の実施例5にのみ微小な欠けが発生した。
3.摩耗量に硬さによる差異は無かった。これは、最も硬さが低い実施例1でもHv1620と高いことによると考えられる。
Claims (4)
- 皮膜破断面が皮膜表面に向かって柱状の形態を有する窒化クロムイオンプレーティング皮膜に於いて、窒化クロムイオンプレーティング皮膜がクロムと窒素及び炭素、さらにイオンプレーティングの製造に起因する不純物からなり、前記クロム、窒素及び炭素濃度の合計に対する炭素濃度が4〜8重量%であり、CrN(111)面の方位配向がCrN(111)組織係数で0.4から2.0であり、ビッカース硬度がHv1600〜Hv2000であることを特徴とする窒化クロムイオンプレーティング皮膜。
- 皮膜の結晶構造がCrN型窒化クロムを主とすることを特徴とする請求項1記載の窒化クロムイオンプレーティング皮膜。
- 請求項1又は2項記載の窒化クロムイオンプレーティング皮膜が少なくとも外周摺動面に形成されていることを特徴とする内燃機関用ピストンリング。
- 金属クロム皮膜をアークイオンプレーティング法により成膜し、次に、窒素ガス、炭化水素ガス、アルゴンガスからなる低圧ガス雰囲気中で、バイアス電圧を−30Vから0Vとし、アークイオンプレーティング法により窒化クロムイオンプレーティング皮膜を形成することを特徴とする請求項1又は2項記載の窒化クロムイオンプレーティング皮膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008544127A JP5319295B2 (ja) | 2006-11-14 | 2007-11-12 | 窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006308077 | 2006-11-14 | ||
JP2006308077 | 2006-11-14 | ||
JP2008544127A JP5319295B2 (ja) | 2006-11-14 | 2007-11-12 | 窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング |
PCT/JP2007/071918 WO2008059791A1 (en) | 2006-11-14 | 2007-11-12 | Chromium nitride coating film by ion plating, process for producing the same, and piston ring for internal combustion engine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008059791A1 JPWO2008059791A1 (ja) | 2010-03-04 |
JP5319295B2 true JP5319295B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=39401599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008544127A Active JP5319295B2 (ja) | 2006-11-14 | 2007-11-12 | 窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8597797B2 (ja) |
EP (1) | EP2119807B1 (ja) |
JP (1) | JP5319295B2 (ja) |
CN (1) | CN101680078B (ja) |
WO (1) | WO2008059791A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BRPI0905228B1 (pt) * | 2009-12-29 | 2017-01-24 | Mahle Metal Leve Sa | anel de pistão nitretado resistente à propagação de trincas |
JP2011152602A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具 |
DE102010038868B4 (de) | 2010-08-04 | 2015-03-12 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring mit Innenbeschichtung |
WO2012018063A1 (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-09 | 株式会社タンガロイ | 被覆工具 |
JP2012202522A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Tpr Co Ltd | ピストンリング |
DE102011076453B4 (de) | 2011-05-25 | 2013-08-01 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring mit Verbundbeschichtung |
BRPI1102335A2 (pt) * | 2011-05-27 | 2013-06-25 | Mahle Metal Leve Sa | elemento dotado de pelo menos uma superfÍcie de deslizamento com um revestimento para uso em um motor de combustço interna ou em um compressor |
JP5839037B2 (ja) * | 2011-08-01 | 2016-01-06 | 三菱日立ツール株式会社 | 表面改質wc基超硬合金部材、硬質皮膜被覆wc基超硬合金部材、及びそれらの製造方法 |
FR2981728B1 (fr) * | 2011-10-21 | 2014-07-04 | Hydromecanique & Frottement | Piece de frottement fonctionnant en milieu lubrifie |
JP5575989B2 (ja) * | 2012-03-14 | 2014-08-20 | 株式会社リケン | シリンダとピストンリングとの組合せ |
DE102012204156A1 (de) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring mit Chrom-Feststoffpartikel-Verschleißschutzschicht und korrosionsbeständiger Flankenfläche |
BR102013018952B1 (pt) * | 2013-07-24 | 2021-10-26 | Mahle Metal Leve S/A | Conjunto de deslizamento |
JP5681252B1 (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-04 | 株式会社リケン | 内燃機関用ピストンリング |
JP6339784B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2018-06-06 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JP2015068417A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JP5980841B2 (ja) * | 2014-06-06 | 2016-08-31 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JP5980966B2 (ja) | 2015-01-09 | 2016-08-31 | 株式会社リケン | 組合せオイルコントロールリング |
MX2017012154A (es) * | 2015-03-20 | 2018-02-09 | Aperam | Tira o lamina metalica que tiene un recubrimiento de nitruro de cromo, placa bipolar y su metodo de fabricacion asociado. |
JP6498986B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2019-04-10 | 株式会社リケン | ピストンリング |
US10030773B2 (en) | 2016-03-04 | 2018-07-24 | Mahle International Gmbh | Piston ring |
JP6029790B2 (ja) * | 2016-07-27 | 2016-11-24 | 株式会社リケン | 組合せオイルコントロールリング |
US11365806B2 (en) | 2019-09-09 | 2022-06-21 | Tenneco Inc. | Coated piston ring for an internal combustion engine |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06300130A (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 |
JP2000136875A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-05-16 | Nippon Piston Ring Co Ltd | 摺動部材 |
JP2001090835A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質皮膜及びそれを被覆した摺動部材並びにその製造方法 |
JP2005187877A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Kobe Steel Ltd | 水潤滑性に優れた硬質皮膜 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5757868A (en) | 1980-09-19 | 1982-04-07 | Toyota Motor Corp | Piston ring |
JPH0610454B2 (ja) | 1984-10-05 | 1994-02-09 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JPS6187590A (ja) | 1984-10-08 | 1986-05-02 | 株式会社日立製作所 | 洗濯機用スイツチの構造 |
JPS61183458A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-16 | Citizen Watch Co Ltd | 黒色イオンプレ−テイング膜 |
US4943486A (en) * | 1987-04-01 | 1990-07-24 | Seiko Epson Corporation | Coated article and method of production |
JP2687320B2 (ja) | 1990-04-17 | 1997-12-08 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JP2739722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1998-04-15 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JPH06248245A (ja) | 1993-02-23 | 1994-09-06 | Sekisui Chem Co Ltd | 粘着剤の塗工方法および粘着テープもしくはシートの製造方法 |
US5449547A (en) * | 1993-03-15 | 1995-09-12 | Teikoku Piston Ring Co., Ltd. | Hard coating material, sliding member coated with hard coating material and method for manufacturing sliding member |
SE503038C2 (sv) * | 1993-07-09 | 1996-03-11 | Sandvik Ab | Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik |
CN1068388C (zh) * | 1994-07-30 | 2001-07-11 | 株式会社理研 | 滑动部件 |
JP3766445B2 (ja) * | 1994-12-27 | 2006-04-12 | 日本ピストンリング株式会社 | 内燃機関用ピストンリング |
JP2692758B2 (ja) | 1995-01-26 | 1997-12-17 | 株式会社リケン | ピストンリング |
JP2730571B2 (ja) | 1995-05-16 | 1998-03-25 | 株式会社リケン | 摺動材料およびピストンリング |
JP2730517B2 (ja) | 1995-06-12 | 1998-03-25 | 日本電気株式会社 | 高速データ受信回路 |
JP3439949B2 (ja) | 1997-06-09 | 2003-08-25 | 帝国ピストンリング株式会社 | 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 |
BRPI0506343A (pt) * | 2005-12-21 | 2006-12-05 | Mahle Metal Leve Sa | anel de pistão com cobertura de nitreto de cromo |
US7891669B2 (en) * | 2007-06-16 | 2011-02-22 | Mahle International Gmbh | Piston ring with chromium nitride coating for internal combustion engines |
US8080324B2 (en) * | 2007-12-03 | 2011-12-20 | Kobe Steel, Ltd. | Hard coating excellent in sliding property and method for forming same |
BRPI0902339B1 (pt) * | 2009-07-01 | 2020-04-22 | Mahle Metal Leve S/A | anel de pistão |
-
2007
- 2007-11-12 WO PCT/JP2007/071918 patent/WO2008059791A1/ja active Application Filing
- 2007-11-12 JP JP2008544127A patent/JP5319295B2/ja active Active
- 2007-11-12 CN CN2007800423682A patent/CN101680078B/zh active Active
- 2007-11-12 EP EP07831648.6A patent/EP2119807B1/en active Active
- 2007-11-12 US US12/514,679 patent/US8597797B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06300130A (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 |
JP2000136875A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-05-16 | Nippon Piston Ring Co Ltd | 摺動部材 |
JP2001090835A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質皮膜及びそれを被覆した摺動部材並びにその製造方法 |
JP2005187877A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Kobe Steel Ltd | 水潤滑性に優れた硬質皮膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008059791A1 (en) | 2008-05-22 |
JPWO2008059791A1 (ja) | 2010-03-04 |
CN101680078B (zh) | 2012-05-30 |
EP2119807A1 (en) | 2009-11-18 |
US8597797B2 (en) | 2013-12-03 |
US20100295251A1 (en) | 2010-11-25 |
CN101680078A (zh) | 2010-03-24 |
EP2119807B1 (en) | 2017-09-06 |
EP2119807A4 (en) | 2010-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5319295B2 (ja) | 窒化クロムイオンプレーティング皮膜及びその製造方法並びに内燃機関用ピストンリング | |
EP2162649B1 (en) | Piston ring with chromium nitride coating for internal combustion engines | |
EP1963721B1 (en) | Piston ring for internal combustion engines | |
JP4839120B2 (ja) | 積層皮膜を有するピストンリング | |
US8202615B2 (en) | Nitrogen-containing amorphous carbon-type film, amorphous carbon-type lamination film, and sliding member | |
US11293548B2 (en) | Sliding member and coating film | |
EP2940350B1 (en) | Combination of cylinder and piston ring | |
JP5865015B2 (ja) | ピストンリング | |
JP5865014B2 (ja) | ピストンリング | |
EP4269647A1 (en) | Crn coating film and sliding member | |
JP2001335878A (ja) | 摺動部材 | |
JP2005060810A (ja) | 被覆材及びその製造方法 | |
KR100706387B1 (ko) | 내마모 및 저마찰 특성을 동시에 향상시키는 엔진 밸브캡의 코팅 방법 | |
JP6533818B2 (ja) | 摺動部材およびピストンリング | |
JP4452641B2 (ja) | 摺動部材 | |
Borowski et al. | Influence of nitrided layer on the properties of carbon coatings produced on X105CrMo17 steel under DC glow-discharge conditions | |
EP4080033A1 (en) | Piston ring, and method for manufacturing same | |
JP7093899B1 (ja) | 高耐摩耗性被膜を備えた摺動部材 | |
JP4393391B2 (ja) | 摺動部材 | |
Kovačić et al. | Influence of steel substrate on the properties of PACVD gradient multilayer TiCN coating | |
JP2002005289A (ja) | ピストンリング | |
JP2002003976A (ja) | 摺動部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130711 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5319295 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |