JP6498986B2 - ピストンリング - Google Patents
ピストンリング Download PDFInfo
- Publication number
- JP6498986B2 JP6498986B2 JP2015064199A JP2015064199A JP6498986B2 JP 6498986 B2 JP6498986 B2 JP 6498986B2 JP 2015064199 A JP2015064199 A JP 2015064199A JP 2015064199 A JP2015064199 A JP 2015064199A JP 6498986 B2 JP6498986 B2 JP 6498986B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crn
- layer
- crcn
- piston ring
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 139
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 139
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 62
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 60
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 58
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 13
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 11
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 260
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 37
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 24
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 206010069002 Autoimmune pancreatitis Diseases 0.000 description 9
- 201000004073 acute interstitial pneumonia Diseases 0.000 description 9
- 238000009661 fatigue test Methods 0.000 description 9
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 9
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 9
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052774 Proactinium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 3
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 3
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 2
- 229910008482 TiSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229910001430 chromium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N isoniazide Chemical compound NNC(=O)C1=CC=NC=C1 QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
SWOSC-V相当材の線材から呼称径(d)96 mm、厚さ(a1)3.8 mm、幅(h1)2.5 mmの矩形断面で、外周面をバレルフェイス形状としたピストンリングを作製し、このピストンリングを50本重ね、外周面をショットブラストによりRzjis82で、2.2μmの表面粗さに調整し、アークイオンプレーティングとスパッタリングの機能を併せ持つ複合装置内にセットした。蒸発源のターゲットとしては、純度99.9%の金属Crと純度99.9%の金属Cuを使用した。装置内を1.0×10-2Paまで真空引きした後、Arガスを1.0 Paまで導入、-900 Vのバイアス電圧を印加してボンバードメント処理により基材となるピストンリング外周面を清浄化した。Arガスは99.99 %の純度のものを用いた。金属Crカソードのアーク電流を150 A、バイアス電圧 0 V、テーブル回転速度3 rpmで、10分間AIP処理を行うことにより、密着性改善を目的とした中間層として金属Cr層を成膜し、その後、純度99.999%のN2ガスを4.5 Paまで導入したバイアス電圧-18Vで120分間のAIP処理によるCrN層の形成を行った。続いて、金属Crカソードのアーク放電を停止し、N2ガスを真空排除した後、Arガスを0.4 Paまで導入、金属Cuカソードの電圧を400 Vとして、UBM(Unbalanced Magnetron)スパッタリング処理(以下、「UBMS」ともいう。)による金属Cuの金属層の形成を行った。ここで、バイアス電圧とテーブル回転速度は変更せずに、処理時間は5分間とした。上記の条件で、イオンプレーティングによるCrN層の形成とスパッタリングによるCu金属層の形成を繰り返し、最終的に、CrN層3層とCu金属層2層を含む硬質皮膜を被覆したピストンリングを作製した。
CrN層のAIP成膜処理を60分として、最終的にCrN層6層とCu金属層5層を含む硬質皮膜を被覆する以外は、実施例1と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
CrN層のAIP成膜処理を6分として、最終的にCrN層60層とCu金属層59層を含む硬質皮膜を被覆する以外は、実施例1と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
密着性改善を目的とした中間層として金属Cr層を成膜した後、CrN層の代わりにCrCN層を形成するために、純度99.999%のN2ガスを0.87 Pa、純度99.99%のArガスを0.09 Pa、純度99.9%のCH4ガスを0.54 Paとなるように流量調節し、バイアス電圧-16V、150分のAIP処理を行った以外は、実施例1と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
CrCN層の成膜処理を75分として、最終的にCrCN層6層とCu金属層5層を含む硬質皮膜を被覆する以外は、実施例4と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
CrCN層の成膜処理を7.5分として、最終的にCrCN層60層とCu金属層59層を含む硬質皮膜を被覆する以外は、実施例4と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
密着性改善を目的とした中間層として金属Cr層を成膜した後、硬質皮膜がCrN層/Cu層/CrCN層/Cu層/CrN層…の組合せとなるように、実施例1と同じ条件でCrN層の成膜処理を6分間、実施例4と同じ条件でCrCN層の成膜処理を7.5分間行って、実施例2又は実施例4と同様にして、CrN層を3層、CrCN層を3層、Cu金属層を5層とする金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
密着性改善を目的とした中間層として金属Cr層を成膜した後、120分のCrN層の成膜の代わりに、純度99.999%のN2ガス4.5 Paの雰囲気中、バイアス電圧-18V、時間24秒間のCrN層の成膜、N2ガス0.87 Pa、Arガス0.09 Pa、CH4ガス0.54 Paの雰囲気中、バイアス電圧-16V、時間30秒間のCrCN層の成膜からなるCrN/CrCN層の成膜を140回繰り返して、CrN/CrCN積層皮膜を形成した以外は、実施例1と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
CrN/CrCN層の成膜を70回繰り返してCrN/CrCN積層皮膜を形成し、最終的にCrN/CrCN積層皮膜6層とCu金属層5層を含む硬質皮膜を被覆する以外は、実施例1と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
CrN/CrCN層の成膜を7回繰り返してCrN/CrCN積層皮膜を形成し、最終的にCrN/CrCN積層皮膜60層とCu金属層59層を含む硬質皮膜を被覆する以外は、実施例1と同様にして金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
スパッタリングのターゲットをCuからNiに、カソード電圧を500 Vに変更した以外は、実施例9と同じ条件で、金属(Ni)層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリングを作製した。
スパッタリングのターゲットをNiからCoに変更した以外は、実施例11と同じ条件で、金属(Co)層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリング
膜厚測定は、被覆面に垂直な鏡面研磨したピストンリング断面について、走査電子顕微鏡(SEM)による写真から、硬質皮膜の基材面(中間層が存在する場合は中間層と皮膜の界面)から表面までの長さを測定し、試料の膜厚とした。例えば、実施例1の膜厚は29.8μmであり、また、高倍率で観察したCu金属層の厚さは0.15μm(150 nm)と0.14μm(140 nm)であった。
X線回折強度は、鏡面研磨した被覆面に平行な表面について、管電圧40 kV、管電流30 mAのCu-Kα線を使用して2θ=35〜70°の範囲で測定した。例えば、実施例1の金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜のX線回折パターンは、CrN(200)面で最大ピーク強度を示し、続いてCrN(111)面、CrN(220)面と続き、僅かであったがCu(111)面の回折ピークも検出された。また、CrN型窒化クロムをCrN/CrCN積層皮膜とした実施例8〜12については、CrN(200)面のピークから、次のScherrerの式を用いて結晶子サイズDhklも算出した。
Dhkl=Kλ/βcosθ…………………………………………………………………(1)
ここで、KはScherrerの定数で0.94、λはX線の波長(Cu:1.5406Å)、βは半値全幅(FWHM)、θはBragg角である。例えば、実施例8のCrN層の結晶子サイズは32.4 nmとなる。
CrN層中にCを固溶したCrCN層を含む実施例4〜12について、皮膜断面をEPMA(JEOL, JXA-8600S)にて炭素濃度の定量分析を行った。例えば、実施例4の炭素濃度は6.1%であった。
硬度測定は、鏡面研磨した被覆面に平行な表面について、マイクロビッカース硬度計を使用し、試験力0.9807 Nで行った。例えば、実施例1の金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜の硬度は1203 HV0.1であった。
皮膜の残留応力σは、次のStoneyの式により算出した。
σ=−{Es(1-νs)hs 2}/6hfΔR …………………………………………………(2)
ここで、Esは基材のヤング率(N/mm2)、νsは基材のポアソン比、hsは基材の厚さ、hfは皮膜厚さ、ΔRは曲率変化量である。なお、Es及びνsは、それぞれ、200,000 N/mm2及び0.3とした。実施例1の金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜の残留応力は-1056 MPa(圧縮で1056 MPa)であった。
実機試験での皮膜脱落を再現可能とする評価として、転動すべり疲労試験を行った。図5に試験機の概略を示すが、転動すべり疲労試験では、回転するドラム(21)と摺動する試験片(20)に、繰り返し荷重が加えられ、比較的短時間で皮膜の脱落が再現される。皮膜の脱落は、同一潤滑条件下においては、摩擦係数と荷重(最大ヘルツ応力)と繰り返し回数に依存する。試験条件は、次のとおりである。
試験片:金属層含有CrN型窒化クロム硬質皮膜被覆ピストンリング切断片、
荷重:98〜196 N、サインカーブ 50 Hz、
相手材(ドラム):直径80 mmのSUJ2材、
摺動速度:正転逆転パターン運転(±2 m/秒)、速度±2 m/秒で10秒保持、
加速度0.08 m/秒2、
潤滑剤:純水、4 cc/min、
温度:ドラム表面温度80℃、
試験時間:1時間。
なお、試験結果は、皮膜脱落の有無で判定した。例えば、実施例1の転動すべり疲労試験の結果は、皮膜脱落が無かった。
比較例として、CrNを被覆した市販のピストンリングを用いて、膜厚測定、X線回折測定、硬度測定、残留応力測定、転動すべり疲労試験を行った。その結果を表6に示す。比較例1は耐欠け性に優れると言われている比較的気孔率の高い皮膜で、皮膜硬度がHv 925と低く、厳しい条件の転動すべり疲労試験において皮膜脱落が観察された。
2 CrN型窒化クロム層
3 金属層(M)
4 CrN/CrCN積層皮膜層
5 金属中間層(Cr)
6 CrN層
7 CrCN層
8 金属層(M)
10 真空容器
11 プロセスガス導入口
12 プロセスガス排出口
13, 14 金属Crカソード
15, 16 金属Mカソード
17 回転テーブル
18 被処理物(ピストンリングを重ねたもの)
19 ヒーター
20 試験片
21 ドラム
Claims (11)
- 外周摺動面に硬質皮膜が被覆されたピストンリングであって、前記硬質皮膜がCrN型の窒化クロム層と少なくとも1種の金属Mからなる少なくとも1層の金属層を含み、前記金属Mの窒化物の標準生成自由エネルギーΔGM-NとCrNの標準生成自由エネルギーΔGCrNがΔGM-N>ΔGCrNの関係を満たし、前記外周摺動面の最表面がCrN型窒化クロム相と金属M相からなる複合組織を有することを特徴とするピストンリング。
- 請求項1に記載のピストンリングにおいて、前記金属MがCo、Ni及びCuから選択された少なくとも1種であることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1又は2に記載のピストンリングにおいて、前記金属層の厚さが10〜1000 nmであることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記CrN型の窒化クロム層がCrN層及びCrN層にCを固溶したCrCN層の少なくとも一を含むことを特徴とするピストンリング。
- 請求項4に記載のピストンリングにおいて、前記CrCN層の炭素濃度が2〜8質量%であることを特徴とするピストンリング。
- 請求項4又は5に記載のピストンリングにおいて、前記CrN型の窒化クロム層が前記CrN層と前記CrCN層の交互に積層したCrN/CrCN積層皮膜を含むことを特徴とするピストンリング。
- 請求項6に記載のピストンリングにおいて、前記CrN/CrCN積層皮膜の前記CrN層1層と前記CrCN層1層からなる積層単位厚さが30〜100 nmであって、前記CrN/CrCN積層皮膜のX線回折データから得られるCrNの結晶子サイズの2〜6倍の範囲内にあることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記硬質皮膜の被覆面のX線回折強度が、CrN(200)面で最大となることを特徴とするピストンリング
- 請求項1〜8のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記外周摺動面の前記最表面の前記CrN型窒化クロム相がCrN相とCrNにCを固溶したCrCN相からなることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記硬質皮膜の硬度が1000 HV0.1以上であることを特徴とするピストンリング。
- 請求項1〜10のいずれかに記載のピストンリングにおいて、前記硬質皮膜の残留応力が-500 MPa〜-1500 MPaであることを特徴とするピストンリング。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015064199A JP6498986B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | ピストンリング |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015064199A JP6498986B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | ピストンリング |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016183382A JP2016183382A (ja) | 2016-10-20 |
JP6498986B2 true JP6498986B2 (ja) | 2019-04-10 |
Family
ID=57242906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015064199A Expired - Fee Related JP6498986B2 (ja) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | ピストンリング |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6498986B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102017102059A1 (de) * | 2017-02-02 | 2018-08-02 | Friedrich-Alexander-Universität Erlangen | Schichtsystem und Bauteil |
JP6842165B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2021-03-17 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 積層被覆膜とその製造方法およびピストンリング |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06300130A (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 |
JP3542735B2 (ja) * | 1999-03-18 | 2004-07-14 | 株式会社神戸製鋼所 | なじみ性に優れた積層皮膜及びその形成方法 |
JP4680380B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2011-05-11 | 株式会社リケン | ピストンリング及びその製造方法 |
CN101680078B (zh) * | 2006-11-14 | 2012-05-30 | 株式会社理研 | 氮化铬离子镀薄膜及其制造方法、以及内燃机用活塞环 |
JP2008241014A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Nippon Piston Ring Co Ltd | 摺動部材 |
BRPI0903320A2 (pt) * | 2009-09-24 | 2011-05-24 | Mahle Metal Leve Sa | anel de pistão e processo de fabricação de um anel de pistão |
-
2015
- 2015-03-26 JP JP2015064199A patent/JP6498986B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016183382A (ja) | 2016-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6339784B2 (ja) | ピストンリング | |
WO2014088096A1 (ja) | ピストンリング | |
CN111032915B (zh) | 含有TiAlN纳米层膜的耐磨PVD工具涂层 | |
US11465214B2 (en) | Coated cutting tool | |
WO2008059791A1 (en) | Chromium nitride coating film by ion plating, process for producing the same, and piston ring for internal combustion engine | |
JP6525310B2 (ja) | 被覆工具 | |
WO2019098363A1 (ja) | 被覆切削工具 | |
Kehal et al. | Effect of Ar/N2 flow ratio on the microstructure and mechanical properties of Ti-Cr-N coatings deposited by DC magnetron sputtering on AISI D2 tool steels | |
Deambrosis et al. | Ti1− xAlxN coatings by Reactive High Power Impulse Magnetron Sputtering: film/substrate interface effect on residual stress and high temperature oxidation | |
JP6498986B2 (ja) | ピストンリング | |
US20240093344A1 (en) | Hard carbon coatings with improved adhesion strength by means of hipims and method thereof | |
JP2014098184A (ja) | 多層dlc皮膜を有する摺動部材 | |
JP5980841B2 (ja) | ピストンリング | |
JP6533818B2 (ja) | 摺動部材およびピストンリング | |
JP2011068941A (ja) | 硬質膜の成膜方法および硬質膜 | |
WO2015046437A1 (ja) | ピストンリング | |
Singh et al. | Physical and mechanical characterization of mechanically treated AlTiN coatings deposited using novel arc enhanced HIPIMS technique | |
Van Trung et al. | EFFECTS OF BIAS VOLTAGE ON ADHESION AND PROPERTIES OF CHROMIUM NITRIDE THIN FILMS | |
Leonov et al. | Physical and Mechanical Properties of CrN/AlN Coating Obtained by Vacuum-Arc Deposition with Alternative Separation of Hard Substance Flows | |
Zhang et al. | Effect of Al/Ti ratio on the mechanical properties and tribological behaviours of TiAlN coatings deposited by multi-arc ion plating method | |
Zhilkashinova et al. | Features of structural-phase states of Co-Cr-Al-Y composite coatings after heat treatment | |
JP2024075109A (ja) | 被覆切削工具 | |
Kohns et al. | Hollow Cathode Gas Flow Sputtering of NixAly Coatings on Ti‐6Al‐2Sn‐4Zr‐6Mo: Mechanical Properties and Microstructures | |
Mayer | Influence of the bilayer period on the structure of AlN and the mechanical properties of CrN/AlN superlattice coatings | |
Chang et al. | Influence of bi-layer thickness on the structure and properties of multilayered TiN/CrN coatings by cathodic arc plasma deposition |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190314 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6498986 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |