JP5294288B1 - 樹脂基板を用い、電気鋳造によりコイル素子を製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、コイルパターン幅が細く、かつ厚さの大きい、いわゆるハイアスペクトの導体パターンを持ったコイル部品の必要性も高い。
この方法は、絶縁体を被覆するメッキ用下地導電膜上にパターン化されためっき用マスク層を設け、このメッキ用マスク層の非マスク部分を埋めるように、第1のメッキ工程により、メッキ膜を設け、次いで、メッキ用マスク層を露出したメッキ用マスク層とを除去し、第2のメッキ工程により前記メッキ膜の表面を被覆して太らせることにより、導体パターン間隔を狭めるようにしたものである。
従って、剥離転写に伴う導体パターンの転倒又は脱落を防止することについての対策については何等考慮されていない。
このように従来のコイル部品の製造方法においては、導体パターンの剥離・転写に伴う導体パターンの転倒又は脱落を防止するという課題が解決されていなかった。
本発明における手段は、樹脂基板を用い、電気鋳造によりコイル素子を製造する方法であって、前記コイル素子の転倒又は脱落を防止するため、前記樹脂基板の基板表面に溝部を形成するステップと、前記溝部の形成された前記樹脂基板を覆うようにシード層となる金属被膜を形成するステップと、前記コイル素子の所望のアスペクト比を形成するための、コイル素子パターンの反転パターンであるレジストパターンを所望の厚さTとなるよう前記溝部を挟んで前記基板表面に形成するステップと、前記レジストパターンをマスクに、第1の電気鋳造により前記コイル素子の中心導体膜を前記所望の厚さT以下の高さtとなるよう前記溝部を含む前記基板表面に形成するステップと、前記レジストパターンと露出した前記金属被膜とを除去するステップと、前記中心導体膜を下地として第2の電気鋳造により表面導体膜を形成し、前記中心導体膜と前記表面導体膜とからなる前記コイル素子を形成するステップと、前記コイル素子を前記樹脂基板から剥離するステップと、剥離された前記コイル素子の前記中心導体膜の内、前記溝部内に形成された部分を逆電界エッチングにより除去するステップと、を有することを特徴とする。
図1は、本発明によるコイル素子の作製工程を示す図である。
本発明では、樹脂基板を用い、この基板上にコイル素子を製造する。
この樹脂基板上に形成されたコイル素子は、樹脂基板から転写によって剥離され、コイル素子剥離後の樹脂基板は再び使用されることはないので、このような樹脂基板は消耗型金型と呼ぶことができる。
しかし、基板表面を単に粗面加工するだけでは、転倒又は脱落防止効果が薄いため、十分な段差のある溝部を形成する必要がある。
ついで、図1bに示すように、レジストパターン106を除去し、露出した金属被膜104も図1cに示すように除去する。
この処理は、太らせめっきとも呼ばれ、これにより中心導体膜108と表面導体膜110とからなるコイル素子112のパターン間隔を狭めることができる。ついで、図1eに示すように、コイル素子112は部品基板200に転写により移植されるか、あるいは、図1fに示すように、単に樹脂基板から剥離されて取り出される。なお、転写による移植に際しては、接着剤を介して部品基板200に移植しても良いし、接着剤を介さずグリーンシート(図示しない)に移植しても良い。
そこで、この部分108aを除去するために逆電界エッチングを行う。
逆電界エッチングとは、電界方向を逆にし、めっきされた金属を逆エッチングして取り除く処理をいう。ここで部分108aには、他の部分に比較して電界が集中するため、エッチング速度が上がり、選択的にエッチングが行なわれる。
その結果、図1gに示すように、突出部がなく均一な形状のコイル素子112が形成される。
このようにして任意のアスペクト比を有するパターン間隔の細いコイル部品を作製することができる。
次に、このように作製されたコイル素子集合体を用いてコイル部品を作製する方法について説明する。後述するように、コイル部品はコイル素子集合体を複数枚積層して作製される。
そこで、各層のコイル素子同士を接合して接続するために、予めコイル素子の周囲に接合膜を形成しておく必要がある。
このような高さ(H)の異なるコイルパターンの同一層中での作製は、転写金型に形成される食刻パターンの深さを接続部分において深くし、フィールドビア用の特殊な銅めっき液を用いることで、深くなった部分を、選択的に充填めっきを行ったり、マスクを2回用いて銅めっきを行ったりすることで実現できる。
最後に、図8に示すように、電極引出し部606にはんだディップ法などの方法により、外部電極610を取付け、その後のはんだ付けのための前処理としてはんだ上げを行い、コイル部品3000を完成する。
102:溝部
104:金属被膜
106:レジストパターン
108:中心導体膜
108a:中心導体膜の内、溝部に形成された部分
110:表面導体膜
112:コイル素子
200:部品基板
Claims (2)
- 樹脂基板を用い、電気鋳造によりコイル素子を製造する方法であって、
前記コイル素子の転倒又は脱落を防止するため、前記樹脂基板の基板表面に溝部を形成するステップと、
前記溝部の形成された前記樹脂基板を覆うようにシード層となる金属被膜を形成するステップと、
前記コイル素子の所望のアスペクト比を形成するための、コイル素子パターンの反転パターンであるレジストパターンを所望の厚さTとなるよう前記溝部を挟んで前記基板表面に形成するステップと、
前記レジストパターンをマスクに、第1の電気鋳造により前記コイル素子の中心導体膜を前記所望の厚さT以下の高さtとなるよう前記溝部を含む前記基板表面に形成するステップと、
前記レジストパターンと露出した前記金属被膜とを除去するステップと、
前記中心導体膜を下地として第2の電気鋳造により表面導体膜を形成し、前記中心導体膜と前記表面導体膜とからなる前記コイル素子を形成するステップと、
前記コイル素子を前記樹脂基板から剥離するステップと、
剥離された前記コイル素子の前記中心導体膜の内、前記溝部内に形成された部分を逆電界エッチングにより除去するステップと、を有することを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記樹脂基板から剥離した前記コイル素子を部品基板に移植するステップを更に有することを特徴とする方法。
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