JP5284227B2 - 静電チャック及び静電チャックの製造方法 - Google Patents
静電チャック及び静電チャックの製造方法 Download PDFInfo
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酸化イットリウム粉末(平均粒径0.8μm)99.9質量%及び炭酸カルシウム粉末(CaCO3)(平均粒径0.1μm)0.1質量%(酸化カルシウム(CaO)換算で)を、分散剤を添加したエタノールとトルエンの混合溶媒(質量比1:1)中で十分に湿式混合した後、バインダ(ブチラール樹脂)を添加し、更に混合して流動性のあるスラリーとした。次に、このスラリーから、ドクターブレード法により、厚さ0.2mmのセラミックグリーンシートを得た。
導電性ペースト及び基材材料に用いる焼結助剤粉末及び酸化イットリウム粉末の種類及び量、導電性ペーストにおける白金粉末と酸化イットリウム粉末の混合比を表1及び表2に示すように変更した以外は実施例1と同様にして静電チャック装置を製造した。
Claims (10)
- 酸化イットリウムからなるセラミック基材と、この基材に設けられた電極とを備えた静電チャックであって、
前記基材は、粒界相にカルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素を含む酸化イットリウムを有し、
前記電極は、白金と、粒界相にカルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素を含む酸化イットリウムとを有し、かつ
前記基材における前記カルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素の酸化イットリウムに対する質量割合が、前記電極における前記カルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素の酸化イットリウムに対する質量割合より小さい
ことを特徴とする静電チャック。 - 前記基材における前記カルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素の酸化イットリウムに対する質量割合が0.01質量%以上0.2質量%未満であり、前記電極における前記カルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素の酸化イットリウムに対する質量割合が0.05〜2質量%であることを特徴とする請求項1記載の静電チャック。
- 前記電極における前記白金及び前記酸化イットリウムが互いに相手の空隙に入り込んでいることを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャック。
- 前記電極は、厚さが3〜30μmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の静電チャック。
- 前記電極は、体積抵抗率が1×10−5〜5×10−4Ω・cmであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の静電チャック。
- 酸化イットリウム粉末と、酸化イットリウムの焼結助剤として機能する粉末とを含む導電性ペーストを、酸化イットリウム粉末と、酸化イットリウムの焼結助剤として機能する粉末とを含む材料によって形成されたセラミックグリーンシートに印刷した後、同時焼成する静電チャックの製造方法であって、
前記セラミックグリーンシート形成材料における前記焼結助剤粉末の前記酸化イットリウム粉末に対する質量割合が、前記導電性ペーストにおける前記焼結助剤粉末の前記酸化イットリウム粉末に対する質量割合より小さいことを特徴とする静電チャックの製造方法。 - 前記導電性ペーストは白金粉末を含み、該白金粉末の平均粒径は該白金粉末とともに含まれる前記酸化イットリウム粉末の平均粒径より大きいことを特徴とする請求項6記載の静電チャックの製造方法。
- 前記導電性ペーストは、白金粉末と酸化イットリウム粉末の体積比が30:70〜80:20であることを特徴とする請求項6又は7記載の静電チャックの製造方法。
- 前記導電性ペーストは、酸化イットリウム粉末に対し、前記焼結助剤粉末を0.2〜2質量%含有することを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項記載の静電チャックの製造方法。
- 前記焼結助剤粉末は、カルシウム、マグネシウム及びストロンチウムの群から選ばれる少なくとも1種の元素を含む粉末であることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか1項記載の静電チャックの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009205867A JP5284227B2 (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 静電チャック及び静電チャックの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009205867A JP5284227B2 (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 静電チャック及び静電チャックの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011060826A JP2011060826A (ja) | 2011-03-24 |
JP5284227B2 true JP5284227B2 (ja) | 2013-09-11 |
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ID=43948163
Family Applications (1)
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JP2009205867A Active JP5284227B2 (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 静電チャック及び静電チャックの製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5284227B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5441020B1 (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-12 | Toto株式会社 | 静電チャック |
WO2015080134A1 (ja) | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 株式会社東芝 | プラズマ装置用部品およびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4570263B2 (ja) * | 2001-02-27 | 2010-10-27 | 京セラ株式会社 | 配線基板 |
JP3908755B2 (ja) * | 2004-06-28 | 2007-04-25 | 株式会社東芝 | 高強度回路基板 |
JP5016303B2 (ja) * | 2006-12-13 | 2012-09-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャック及び静電チャック装置 |
JP5111954B2 (ja) * | 2007-06-22 | 2013-01-09 | 新光電気工業株式会社 | 静電チャック及びその製造方法 |
KR20090049992A (ko) * | 2007-11-14 | 2009-05-19 | 니뽄 가이시 가부시키가이샤 | 기판 유지체 |
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2009
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Publication number | Publication date |
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JP2011060826A (ja) | 2011-03-24 |
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