JP5016303B2 - 静電チャック及び静電チャック装置 - Google Patents
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Description
被吸着部材を温度制御するためのガスをその絶縁体の吸着面に供給するために、該吸着面にガス噴出口を有するガス流路を該絶縁体の内部に備えてなるものにおいて、
前記絶縁体が、前記セラミックグリーンシートに、イットリアを主成分としてなるイットリアグリーンシートが用いられてなるイットリア焼結体からなり、前記イットリア焼結体の結晶粒子の平均粒径が0.8μm〜2.6μmであることを特徴とする。
そのメタライズペーストに含まれる金属粉末は、タングステン粉末又はモリブデン粉末のいずれか一方を主成分とするものであり、しかも、そのメタライズペーストには、その金属粉末に対してイットリア粉末が混合された原料粉末が使用されていることを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャックである。
そのメタライズペーストに含まれる金属粉末は、白金粉末を主成分とするものであり、しかも、そのメタライズペーストには、その白金粉末に対してイットリア粉末が混合された原料粉末が使用されていることを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャックである。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の静電チャックと、その静電チャックをなす絶縁体の吸着面と反対側の裏面に接合された金属製ベース部材とからなる静電チャック装置である。
次に、上記した実施形態の静電チャックの製法について説明する。ただし、その製法は、従来のアルミナグリーンシートを、積層、圧着して焼成等することによって製造する場合と、グリーンシートが素材が異なるイットリアグリーンシートである点を除けば基本的に共通する。したがって、以下の製法においは、その相違点を中心として説明する。
(1)イットリアグリーンシートの原料粉末としては、主成分であるイットリア粉末:100重量%に対して、分散剤:2.1外重量%、焼結助剤CaCO3(炭酸カルシウム):0.1外重量%、更に溶剤としてエタノール、MEK(メチルエチルケトン)、トルエンを混合してボールミルで54時間湿式粉砕した。
(4)静電電極の形成用のメタライズペーストは、次のようにして製造した。本例では、イットリアグリーンシート用の原料粉末に、所定量のタングステン粉末(又はモリブデン粉末)を混ぜて、前記と同様な方法によりスラリー状にして、メタライズペーストとした。ただし、メタライズペーストを構成する材料粉末のうち、金属粉末(タングステン粉末又はモリブデン粉末)が、40vol%〜87vol%であり、残部がイットリア粉末(平均粒径が0.5〜1.5μmのもの)となるようにした。これは、金属粉末が、40vol%より少ないと、焼成後の静電電極が導通不良を招く危険性がある一方、87vol%を超えるようだと、電極と絶縁体の密着強度が低下し、ロー付け等における熱応力(昇温時には引張応力、降温時には圧縮応力)で絶縁体(イットリア焼結体)に、ワレ、キレ等の欠陥が発生する可能性が大きいためである。なお、金属粉末は50%粒径(平均粒径):0.8μm〜7.0μmのものを使用した。
(6)次に、第1層から第24層をなすイットリアグリーンシートを位置合わせしつつ、積層、熱圧着し、全体の厚みを約5mmとした積層シートを形成する。ただし、この積層過程では、円環状ガス流路12と連結ガス流路13は、上記もしたように、そのガス流路の平面形状に基づき、積層前のイットリアグリーンシートの状態において形成することはできない。このため、図5−Aに示したように、それが形成されるべき第9層〜第16層をなすグリーンシート39〜46を、積層した第17層〜第24層のグリーンシート47〜54の上に積層した段階で、そのグリーンシート39〜46に例えばエンドミルなどで、図2に示したような平面形状に切削加工して形成する。そして、その後で、第1層〜第8層のグリーンシート31〜38を積層し、熱圧着する。なお、イットリアグリーンシートの状態においてガス流路を形成することができる流路パターンであれば、予め各イットリアグリーンシートの段階においてそのガス流路を形成しておけばよい。
(7)以上のようにして、積層、熱圧着した積層シートを、所定の円板形状(例えば430mmの円板形状)にカットする。こうすることで、図5−Bに示した積層シート(積層体)を得る。
(8)次に、カットした積層シートを、タングステン(又はモリブデン)電極の場合には還元雰囲気にて、Pt電極の場合には酸化雰囲気にて、1550〜1650℃にて焼成し、静電電極も同時焼成により焼成する。この焼成より、寸法が約30%小さくなるため、焼成後の絶縁体2(イットリア焼結体)の厚みは、約3.5mmとなる。
(9)そして、焼成後に、絶縁体(イットリア焼結体)の表裏両面を研磨し、絶縁体の全厚みを3mmとするとともに、吸着面をなす表面の平面度が30μm以下で、面粗度がRa0.1μm以下となるように加工する。
(10)次に、絶縁体の裏面の静電電極の電極端子に、タングステン(又はモリブデン)電極の場合はニッケルメッキを施し、さらに、この電極端子にピン端子をロー付け又は半田付けし、白金電極の場合は電極端子にピン端子を活性ローによるロー付け又は半田付けして、静電チャックをなす絶縁体2を完成する。なお、ピン端子は、上記もしたように静電電極に向けてあけた貫通穴を利用して、要すれば静電電極にメッキをかけた後、直接、ロー付け又は半田付けしてもよい。
このようにして得られた絶縁体2を、金属製のベース部材21の表面23に例えばシリコン樹脂を用いて接合する。こうすることで、図1に示された静電チャック装置となる。
前記実施例1では、静電電極5,5が、イットリアを主成分として含むセラミックグリーンシートに印刷されたメタライズペーストを構成する粉末が、タングステン粉末(又はモリブデン粉末)と、イットリア粉末とが含まれているものにおいて具体化したが、金属粉末は、タングステン粉末(又はモリブデン粉末)に代えて、白金粉末を用いてもよい。このようにすることで、絶縁体は大気焼成による同時焼成が可能となる。ただし、金属粉末に白金粉末を使用する場合には、メタライズペーストを構成する粉末を次のようにするのがよい。すなわち、白金粉末が、45vol%〜55vol%含まれると共に、残部にイットリア粉末を主成分として含まれているものとするのがよい。この範囲で導通不良もなく、しかも、焼成における反り等の外観不良も発生させないためである。なお、金属粉末(白金粉末)とイットリア粉末の粒径については、 白金粉末は50%粒径:1.0μm〜9.0μmであり、イットリア粉末は上記と同様に50%粒径:0.5μm〜1.5μmであるとよい。
1a 静電チャック
2 絶縁体
3 静電チャックの吸着面(表面)
4 静電チャックの裏面
5 静電電極
11 ガス流路
15 吸着面のガス噴出口
21 金属製ベース部材
Claims (5)
- 絶縁体の内部に静電電極を備えてなる静電チャックであって、その絶縁体は、焼結助剤として炭酸カルシウムを含むセラミックグリーンシートを積層、圧着して焼成してなる積層構造のものであり、
被吸着部材を温度制御するためのガスをその絶縁体の吸着面に供給するために、該吸着面にガス噴出口を有するガス流路を該絶縁体の内部に備えてなるものにおいて、
前記絶縁体が、前記セラミックグリーンシートに、イットリアを主成分としてなるイットリアグリーンシートが用いられてなるイットリア焼結体からなり、前記イットリア焼結体の結晶粒子の平均粒径が0.8μm〜2.6μmであることを特徴とする静電チャック。 - 前記絶縁体をなすイットリア焼結体は、その結晶粒子における平均粒径が、0.8μm〜2.0μmとされていることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記静電電極は、イットリアグリーンシートにメタライズペーストが印刷されて絶縁体と同時焼成されてなるものであり、
そのメタライズペーストに含まれる金属粉末は、タングステン粉末又はモリブデン粉末のいずれか一方を主成分とするものであり、しかも、そのメタライズペーストには、その金属粉末に対してイットリア粉末が混合された原料粉末が使用されていることを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャック。 - 前記静電電極は、イットリアグリーンシートにメタライズペーストが印刷されて絶縁体と同時焼成されてなるものであり、
そのメタライズペーストに含まれる金属粉末は、白金粉末を主成分とするものであり、しかも、そのメタライズペーストには、その白金粉末に対してイットリア粉末が混合された原料粉末が使用されていることを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャック。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の静電チャックと、その静電チャックをなす絶縁体の吸着面と反対側の裏面に接合された金属製ベース部材とからなる静電チャック装置。
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