JP5111954B2 - 静電チャック及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図7は、本発明の実施の形態に係る静電チャックの断面図である。
第2のアルミナペースト32は、アルミナと、第2のフラックスとを含んだ構成とされている。第2のアルミナペースト32に含まれる第2のフラックスの含有率は、第1及び第2のグリーンシート25,26に含まれる第1のフラックスの含有率よりも高くなるように設定されている。具体的には、第1のフラックスの含有率が0%重量よりも高く1%重量以下の場合、第2のフラックスの含有率は、例えば、4重量%以上10重量%以下とすることができる。第2のアルミナペースト32の厚さは、例えば、10μmとすることができる。第2のアルミナペースト32は、先に説明したセラミック材14(図7参照)の母材となるものである。第2のアルミナペースト32は、焼成されることにより、セラミック材14となる。
11 セラミック基体
11A 基板載置面
12 静電電極
12A,12B,25A,25B,26A,28A,31A 面
13,14 セラミック材
17,19 開口部
25 第1のグリーンシート
26 第2のグリーンシート
28 第1のアルミナペースト
31 導電性ペースト
32 第2のアルミナペースト
34,35 貫通穴
Claims (5)
- アルミナと、第1のフラックスと、を含有したセラミック基体と、
前記セラミック基体に内蔵された静電電極と、
前記セラミック基体に内蔵された、アルミナを主成分とし第2のフラックスを含むセラミック材と、を備え、
前記セラミック材は、前記セラミック基体と前記静電電極の両面との間に、前記セラミック基体及び前記静電電極の両面と接触するように配置され、
前記セラミック材の前記静電電極と接触する部分を除く外周部分及び前記静電電極は前記セラミック基体に覆われ、
前記セラミック材に含まれる前記第2のフラックスの含有率は、前記セラミック基体に含まれる前記第1のフラックスの含有率よりも高いことを特徴とする静電チャック。 - 前記第1のフラックスの含有率は、前記第2のフラックスを含有した前記セラミック材に比べて、前記セラミック基体がプラズマによる損傷を受けにくい値であることを特徴とする請求項1記載の静電チャック。
- 前記第1のフラックス及び前記第2のフラックスは、酸化珪素、炭酸カルシウム、及び酸化マグネシウムのうち、少なくともいずれか1種を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の静電チャック。
- 前記セラミック基体に含まれる前記第1のフラックスの含有率は、1重量%以下であることを特徴とする請求項1ないし3のうち、いずれか一項記載の静電チャック。
- 積層された複数のグリーンシートを焼成することにより形成されるセラミック基体と、前記セラミック基体に内蔵され、導電性ペーストを焼成することにより形成される静電電極と、を備え、
前記セラミック基体に含まれるフラックスの含有率を、プラズマにより前記セラミック基体が損傷を受けにくい値とした静電チャックの製造方法であって、
前記複数のグリーンシートは、少なくとも第1のグリーンシートと、第2のグリーンシートとを有し、
前記第1及び第2のグリーンシートは、アルミナと、第1のフラックスと、を含み、
前記第1のグリーンシートに、アルミナを主成分とし第2のフラックスを含んだ第1のアルミナペーストを形成する第1のアルミナペースト形成工程と、
前記第1のアルミナペーストに、前記導電性ペーストを形成する導電性ペースト形成工程と、
前記導電性ペーストと対向する部分の前記第2のグリーンシートに、アルミナを主成分とし前記第2のフラックスを含んだ第2のアルミナペーストを形成する第2のアルミナペースト形成工程と、
前記第2のアルミナペーストと前記導電性ペーストとが接触するように、前記第1のアルミナペースト及び前記導電性ペーストが形成された前記第1のグリーンシートと、前記第2のアルミナペーストが形成された前記第2のグリーンシートとを積層させる積層工程と、
前記積層工程後に、前記第1のアルミナペースト及び前記導電性ペーストが形成された前記第1のグリーンシートと、前記第2のアルミナペーストが形成された前記第2のグリーンシートとが積層された構造体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記焼成工程では、前記第1のアルミナペースト及び前記第2のアルミナペーストの前記導電性ペーストと接触する部分を除く外周部分及び前記導電性ペーストが前記第1のグリーンシート又は前記第2のグリーンシートに覆われ、
前記第1及び第2のアルミナペーストに含まれる前記第2のフラックスの含有率を前記第1及び第2のグリーンシートに含まれる前記第1のフラックスの含有率よりも高くしたことを特徴とする静電チャックの製造方法。
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