JP5282054B2 - 磁気ディスク検査方法及びその装置 - Google Patents
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Description
装置全体は、光学検査部100とリード・ライトテスト部130、試料搬送部160及び信号処理・全体制御部180で構成されている。
次に、ホームポジションHで行うリード・ライトテストの処理のフローを、図5を用いて説明する。
裏面側の散乱光検出系840は、レーザが照射された試料1の裏面51から発生した反射光(正反射光と散乱光)のうち散乱光を集光する対物レンズに相当する第3の非球面フレネルレンズ841、集光された散乱光を集束させる集束レンズに相当する第4の非球面フレネルレンズ842、第4の非球面フレネルレンズ842を透過してプリズム835の面837で反射して光路を切替えられた散乱光を通過させるピンホール852を有して試料1の裏面51からの散乱光以外の迷光を遮光するピンホール板851、ピンホール板851のピンホール852を通過した散乱光を高感度に検出する第3の光電変換器860(例えば、アバランシェ・フォトダイオード(APD)や光電子増倍管(PMT)など)を備えて構成される。
図12に示した第2の実施例の構成は、図1に示した第1の実施例に対して光学検査部100’の両側にリード・ライトテスト部130Lと130Rとを設け、試料搬送部を2式160Lと160Rとを設けた点が異なる。
Claims (12)
- 試料である磁気ディスクの表面の欠陥を検査する装置であって、
試料の表面を光学的に検査して試料表面の欠陥を検出する光学的検査手段と、
前記光学的検査手段で検査して検出した欠陥の位置情報を用いて磁気ヘッドを移動させて前記試料に前記磁気ヘッドを用いて情報を書込み、該書込んだ情報を読み取るリード・ライトテストを行うことにより該試料の状態を判定するリード・ライトテスト手段と、
前記試料を載置して保持した状態で前記試料を回転させながら該回転の中心軸に直交する平面内で一方向に移動することが可能で、該載置した試料を回転させながら該回転の中心軸に直交する平面内で一方向に一定の速度で移動させて前記光学的検査手段で検査した後に前記試料を載置した状態で前記リード・ライトテスト手段に移動して前記試料をリード・ライトテスト用の回転速度で回転させた状態で前記光学的検査手段で検出した欠陥の位置情報を用いて移動させた前記磁気ヘッドによりリード・ライトテストを行うスピンドル軸手段と
を備えたことを特徴とする磁気ディスクの検査装置。 - 前記リード・ライトテスト手段は一対の磁気ヘッドを備え、該一対の磁気ヘッドで前記
試料を挟み込んで前記試料の上面と下面とに対して同時にリード・ライトテストを行うこ
とを特徴とする請求項1記載の磁気ディスクの検査装置。 - 前記光学的検査手段は前記試料の上面を光学的に検査する上面検査光学系と前記試料の
下面を光学的に検査する下面検査光学系とを備え、前記上面検査光学系と前記下面検査光
学系とで前記試料の上面と下面とを同時に光学的に検査することを特徴とする請求項1記
載の磁気ディスクの検査装置。 - 試料である磁気ディスクの両面の欠陥を検査する装置であって、
試料の両面を同時に光学的に検査して試料両面の欠陥を検出する両面同時光学検査手段
と、
前記両面同時光学検査手段で検出した欠陥の位置情報を用いて磁気ヘッドを移動させて前記試料両面の欠陥を含む位置に前記磁気ヘッドを用いて情報を書込み、該書込んだ情報を読み取るリード・ライトテストを行うことにより前記検出した箇所の欠陥の状態を判定するリード・ライトテスト手段と、
前記試料を載置して保持した状態で前記両面同時光学検査手段と前記リード・ライトテ
スト手段との間を移動可能で、かつ前記両面同時光学検査手段の位置において前記試料を回転させながら該回転の中心軸に直交する平面内で一方向に移動させることにより前記両面同時光学検査手段で検査を行い、前記リード・ライトテスト手段の位置で前記試料をリード・ライトテスト用の回転速度で回転させた状態で前記両面同時光学検査手段で検出した欠陥の位置情報を用いて移動させた前記磁気ヘッドによりリード・ライトテストを行うスピンドル軸手段と
を備えたことを特徴とする磁気ディスクの検査装置。 - 前記両面同時光学検査手段は、対物レンズにフレネルレンズを用いていることを特徴と
する請求項4記載の磁気ディスクの検査装置。 - 前記リード・ライトテスト手段を前記両面同時光学検査手段の両側に設け、該両面同時
光学検査手段で順次光学的に検査した試料を前記両側のリード・ライトテスト手段で交互
にリード・ライトテストを行うことを特徴とする請求項4記載の磁気ディスクの検査装置
。 - 両面同時光学検査手段を用いて試料である磁気ディスクの両面を同時に光学的に検査し
て前記試料の両面の欠陥を検出し、
リード・ライトテスト手段を用いて前記試料の両面を同時に検査して検出した欠陥の位置情報を用いて磁気ヘッドを移動させて前記試料両面の欠陥を含む位置に前記磁気ヘッドを用いて情報を書込み、該書込んだ情報を読み取るリード・ライトテストを行うことにより前記検出した箇所の欠陥の状態を判定する
磁気ディスクの両面の欠陥を検査する方法であって、
前記試料を載置し保持して回転駆動させながら該回転の中心軸に直交する平面内で一方向に移動することが可能なスピンドル軸に前記試料を載置し保持した状態で前記両面同時光学検査手段において前記試料の両面を同時に光学的に検査し、前記スピンドル軸に前記試料を載置し保持した状態で前記スピンドル軸を前記リード・ライトテスト手段に移動させ、前記スピンドル軸をリード・ライトテスト用の回転速度で回転させた状態で前記両面同時光学検査手段で検出した欠陥の位置情報を用いて移動させた前記磁気ヘッドを用いて前記スピンドル軸に載置した試料に対して前記リード・ライトテスト手段により前記リード・ライトテストを行うことを特徴とする磁気ディスクの検査方法。 - 前記両面同時光学検査手段は、フレネルレンズを用いて集光した前記試料からの光を検
出した信号を処理して前記試料の両面の欠陥を検出することを特徴とする請求項7記載の
磁気ディスクの検査方法。 - 前記両面同時光学検査手段の両側に設けた前記リード・ライトテスト手段を用いて、該
両面同時光学検査手段で順次光学的に検査した試料を前記両側のリード・ライトテスト手
段で交互にリード・ライトテストを行うことを特徴とする請求項7記載の磁気ディスクの
検査方法。 - 光学検査部において回転可能なスピンドル軸に保持した試料である磁気ディスクを回転させながら該回転の中心軸に直交する平面内で一方向に一定の速度で移動させて該磁気ディスクの両面を同時に光学的に検査して前記試料の両面の欠陥を検出し、
前記試料を前記回転可能なスピンドル軸に保持した状態で前記光学検査部からリード・
ライトテスト部に移動させ、
該リード・ライトテスト部において前記スピンドル軸をリード・ライトテスト用の回転速度で回転させた状態で前記試料の両面を同時に検査して検出した欠陥の位置情報を用いて磁気ヘッドを移動させて前記試料両面の欠陥を含む位置に前記磁気ヘッドを用いて情報を書込み、該書込んだ情報を読み取るリード・ライトテストを行うことにより該検出した箇所の欠陥の状態を判定する
ことを特徴とする磁気ディスクの検査方法。 - 前記光学検査部は、フレネルレンズを用いて集光した前記試料からの光を検出した信号
を処理して前記試料の両面の欠陥を検出することを特徴とする請求項10記載の磁気ディスクの検査方法。 - 前記光学検査部で順次検査した前記試料を、順次異なる位置でリード・ライトテストを
行うことを特徴とする請求項10記載の磁気ディスクの検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010017787A JP5282054B2 (ja) | 2010-01-29 | 2010-01-29 | 磁気ディスク検査方法及びその装置 |
US13/012,883 US8295000B2 (en) | 2010-01-29 | 2011-01-25 | Method and its apparatus for inspecting a magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010017787A JP5282054B2 (ja) | 2010-01-29 | 2010-01-29 | 磁気ディスク検査方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011159330A JP2011159330A (ja) | 2011-08-18 |
JP5282054B2 true JP5282054B2 (ja) | 2013-09-04 |
Family
ID=44341459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010017787A Expired - Fee Related JP5282054B2 (ja) | 2010-01-29 | 2010-01-29 | 磁気ディスク検査方法及びその装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8295000B2 (ja) |
JP (1) | JP5282054B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013205340A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク表面検査方法及びその装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56121150U (ja) * | 1980-02-18 | 1981-09-16 | ||
US5305294A (en) * | 1988-04-04 | 1994-04-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording/reproducing system having an electromagnetic actuator |
EP0555943B1 (en) * | 1988-04-06 | 1996-06-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Optical distance detector |
US5067039A (en) * | 1989-10-20 | 1991-11-19 | Insite Peripherals, Inc. | High track density magnetic media with pitted optical servo tracks and method for stamping the tracks on the media |
JPH0536063A (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-12 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクの検査装置 |
JPH10221272A (ja) * | 1997-02-03 | 1998-08-21 | Mitsubishi Chem Corp | 磁気ディスクの検査方法及び装置 |
JP3070516B2 (ja) * | 1997-04-28 | 2000-07-31 | 日本電気株式会社 | 光ディスク装置 |
JP3481864B2 (ja) | 1997-06-25 | 2003-12-22 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 磁気ディスク欠陥検査方法および磁気ディスク欠陥検査装置 |
JP3244656B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2002-01-07 | 旭光学工業株式会社 | 手振れ補正機構を有する双眼装置及び単眼装置 |
JPH11306702A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気メディア検査装置 |
JP3728390B2 (ja) * | 1999-10-08 | 2005-12-21 | パイオニア株式会社 | フォーカスサーボ制御装置並びに情報再生装置及び情報記録装置 |
WO2001095321A1 (fr) * | 2000-06-09 | 2001-12-13 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Appareil de disque magneto-optique de reproduction parallement a l'agrandissement de domaines magnetiques au moyen de champ magnetique cc, procede de reproduction, et procede d'enregistrement/de reproduction |
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-
2010
- 2010-01-29 JP JP2010017787A patent/JP5282054B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-01-25 US US13/012,883 patent/US8295000B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8295000B2 (en) | 2012-10-23 |
JP2011159330A (ja) | 2011-08-18 |
US20110188143A1 (en) | 2011-08-04 |
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