JPH0536063A - 磁気デイスクの検査装置 - Google Patents
磁気デイスクの検査装置Info
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- JPH0536063A JPH0536063A JP18993591A JP18993591A JPH0536063A JP H0536063 A JPH0536063 A JP H0536063A JP 18993591 A JP18993591 A JP 18993591A JP 18993591 A JP18993591 A JP 18993591A JP H0536063 A JPH0536063 A JP H0536063A
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- Japan
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- magnetic disk
- spindle
- inspection
- turntable
- magnetic
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気ディスクに必要な複数種類の検査を、磁気
ディスクを各専用の検査装置のスピンドルに掛け替えす
ることなく、１台の検査装置にて自動的に行うことがで
きる磁気ディスクの検査装置を提供すること。 【構成】間欠回転機構５を有するターンテーブル１と、
このターンテーブル１を所定数に割出した位置に配設さ
れた複数のスピンドル２と、このスピンドル２のぞれぞ
れを回転させる回転駆動手段と、前記ターンテーブル１
が間欠回転して停止する位置に配設され、前記スピンド
ル２に取付けられた磁気ディスクＤを検査する複数の検
査手段７，８，９，１０・・・とを有することを特徴と
する。
ディスクを各専用の検査装置のスピンドルに掛け替えす
ることなく、１台の検査装置にて自動的に行うことがで
きる磁気ディスクの検査装置を提供すること。 【構成】間欠回転機構５を有するターンテーブル１と、
このターンテーブル１を所定数に割出した位置に配設さ
れた複数のスピンドル２と、このスピンドル２のぞれぞ
れを回転させる回転駆動手段と、前記ターンテーブル１
が間欠回転して停止する位置に配設され、前記スピンド
ル２に取付けられた磁気ディスクＤを検査する複数の検
査手段７，８，９，１０・・・とを有することを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、スパッタリング装置
などによってディスク基板の表面に磁性被膜を被膜形成
して製造された磁気ディスクの検査装置に係り、磁気デ
ィスクの各検査工程を１台の検査装置によって自動的か
つ連続的に行うことができる磁気ディスクの検査装置に
関する。
などによってディスク基板の表面に磁性被膜を被膜形成
して製造された磁気ディスクの検査装置に係り、磁気デ
ィスクの各検査工程を１台の検査装置によって自動的か
つ連続的に行うことができる磁気ディスクの検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁気ディスクの検査工程は、先
ず、製造された磁気ディスクの表面の突起を除去するバ
ニッシュ工程と、このバニッシュ工程によって磁気ディ
スクの表面の突起が除去されたか否かを検査するグライ
ドハイトテスト工程と、磁気ディスクのリード・ライト
を検査するサーテファイアテスト工程などからなる。
ず、製造された磁気ディスクの表面の突起を除去するバ
ニッシュ工程と、このバニッシュ工程によって磁気ディ
スクの表面の突起が除去されたか否かを検査するグライ
ドハイトテスト工程と、磁気ディスクのリード・ライト
を検査するサーテファイアテスト工程などからなる。
【０００３】前記バニッシュ工程においては、スピンド
ルに保持されて回転する磁気ディスクの両面に研磨部材
を押し当てて、製造された磁気ディスクの表面の突起を
除去する。
ルに保持されて回転する磁気ディスクの両面に研磨部材
を押し当てて、製造された磁気ディスクの表面の突起を
除去する。
【０００４】前記グライドハイトテスト工程において
は、スピンドルに保持された回転する磁気ディスクの回
転速度を、通常より遅くして、この磁気ディスク面に磁
気ヘッドを浮上させる。磁気ディスクの回転速度が通常
より遅いと、磁気ディスクの表面に流れる風速が遅くな
り、磁気ヘッドの下面に流入して磁気ヘッドを押し上げ
る力が弱くなって、磁気ヘッドの浮上量が通常より小さ
くなり、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面の突起に接触
する確率が大きくなる。磁気ディスクの表面の突起への
磁気ヘッドの接触は、アコースチック・エミッション・
センサで検出する。
は、スピンドルに保持された回転する磁気ディスクの回
転速度を、通常より遅くして、この磁気ディスク面に磁
気ヘッドを浮上させる。磁気ディスクの回転速度が通常
より遅いと、磁気ディスクの表面に流れる風速が遅くな
り、磁気ヘッドの下面に流入して磁気ヘッドを押し上げ
る力が弱くなって、磁気ヘッドの浮上量が通常より小さ
くなり、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面の突起に接触
する確率が大きくなる。磁気ディスクの表面の突起への
磁気ヘッドの接触は、アコースチック・エミッション・
センサで検出する。
【０００５】前記サーテファイアテスト工程において
は、磁気ディスクのリード・ライト試験を、磁気ディス
クのインナー側のトラックにおいて行う工程と、アウタ
ー側のトラックにおいて行う工程との２工程に分けて行
われている。
は、磁気ディスクのリード・ライト試験を、磁気ディス
クのインナー側のトラックにおいて行う工程と、アウタ
ー側のトラックにおいて行う工程との２工程に分けて行
われている。
【０００６】前記各工程の作業を行う装置はそれぞれ個
別に配設されており、それぞれの装置は、磁気ディスク
を回転させるスピンドルをモータなどの回転駆動手段で
所望の回転速度で回転させている。前記バニッシュ工程
において、磁気ディスクの表面の突起を除去すると、こ
の磁気ディスクをスピンドルから取外し、この磁気ディ
スクを前記グライドハイトテスト工程を行う装置のスピ
ンドルに取付けて、グライドハイトテストを行う。グラ
イドハイトテストが終わると、この磁気ディスクをスピ
ンドルから取外し、この磁気ディスクを前記サーテファ
イアテスト工程を行う装置のスピンドルに取付けて、サ
ーテファイアテストを行う。
別に配設されており、それぞれの装置は、磁気ディスク
を回転させるスピンドルをモータなどの回転駆動手段で
所望の回転速度で回転させている。前記バニッシュ工程
において、磁気ディスクの表面の突起を除去すると、こ
の磁気ディスクをスピンドルから取外し、この磁気ディ
スクを前記グライドハイトテスト工程を行う装置のスピ
ンドルに取付けて、グライドハイトテストを行う。グラ
イドハイトテストが終わると、この磁気ディスクをスピ
ンドルから取外し、この磁気ディスクを前記サーテファ
イアテスト工程を行う装置のスピンドルに取付けて、サ
ーテファイアテストを行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁気ディスクの
検査装置は、上述したように各工程の装置が個別の専用
装置となっているため、各専用装置を据え付けるための
スペースが必要となるうえ、各専用装置のスピンドルに
磁気ディスクを取付けたり、取外したりする、いわゆ
る、ハンドリング時間の占める割合が多くなり、作業効
率が悪く、製造コストが高くなる、という問題があっ
た。一方、近年は磁気ディスクの小径大容量化が進み、
小型でかつ複数種類の検査を一台の装置で行うことがで
きる磁気ディスクの検査装置が要望されていた。
検査装置は、上述したように各工程の装置が個別の専用
装置となっているため、各専用装置を据え付けるための
スペースが必要となるうえ、各専用装置のスピンドルに
磁気ディスクを取付けたり、取外したりする、いわゆ
る、ハンドリング時間の占める割合が多くなり、作業効
率が悪く、製造コストが高くなる、という問題があっ
た。一方、近年は磁気ディスクの小径大容量化が進み、
小型でかつ複数種類の検査を一台の装置で行うことがで
きる磁気ディスクの検査装置が要望されていた。
【０００８】この発明は、前記の問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、製造後の磁気ディ
スクに必要な複数種類の検査を、磁気ディスクを各専用
の検査装置のスピンドルに掛け替えすることなく、１台
の検査装置にて自動的に行うことができる磁気ディスク
の検査装置を提供することである。
たもので、その目的とするところは、製造後の磁気ディ
スクに必要な複数種類の検査を、磁気ディスクを各専用
の検査装置のスピンドルに掛け替えすることなく、１台
の検査装置にて自動的に行うことができる磁気ディスク
の検査装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するため、図１に示すように、間欠回転機構５を有
するターンテーブル１と、このターンテーブル１を所定
数に割出した位置に配設された複数のスピンドル２と、
このスピンドル２のぞれぞれを回転させる回転駆動手段
と、前記ターンテーブル１が間欠回転して停止する位置
に配設され、前記スピンドル２に取付けられた磁気ディ
スクＤを検査する複数の検査手段７，８，９，１０・・
・とを有することを特徴とする磁気ディスクの検査装置
としたものである。
達成するため、図１に示すように、間欠回転機構５を有
するターンテーブル１と、このターンテーブル１を所定
数に割出した位置に配設された複数のスピンドル２と、
このスピンドル２のぞれぞれを回転させる回転駆動手段
と、前記ターンテーブル１が間欠回転して停止する位置
に配設され、前記スピンドル２に取付けられた磁気ディ
スクＤを検査する複数の検査手段７，８，９，１０・・
・とを有することを特徴とする磁気ディスクの検査装置
としたものである。
【００１０】
【作用】この発明の磁気ディスクの検査装置は、間欠回
転駆動機構５を備えたターンテーブル１に設けた各スピ
ンドル２上に取付けられた磁気ディスクＤは、各スピン
ドル２を回転させる各回転駆動手段（モータ３）により
回転される。そして、前記各スピンドル２上に取付けら
れた磁気ディスクＤは、ターンテーブル１が間欠回転機
構５により間欠回転して停止する位置に配置された各検
査手段７，８，９，１０・・・にて検査が行われる。な
お、この間欠回転機構５により間欠回転して停止する他
の一つの位置は、磁気ディスクＤをスピンドル２上から
取外したり、取付けたりするハンドリング位置である。
転駆動機構５を備えたターンテーブル１に設けた各スピ
ンドル２上に取付けられた磁気ディスクＤは、各スピン
ドル２を回転させる各回転駆動手段（モータ３）により
回転される。そして、前記各スピンドル２上に取付けら
れた磁気ディスクＤは、ターンテーブル１が間欠回転機
構５により間欠回転して停止する位置に配置された各検
査手段７，８，９，１０・・・にて検査が行われる。な
お、この間欠回転機構５により間欠回転して停止する他
の一つの位置は、磁気ディスクＤをスピンドル２上から
取外したり、取付けたりするハンドリング位置である。
【００１１】
【実施例】この発明の実施例を、図１ないし図３に従っ
て詳細に説明する。図１はこの発明の磁気ディスクの検
査装置の斜視図である。ターンテーブル１は、これを反
時計方向に間欠回転させるサーボモータ等からなる周知
の間欠回転機構５を備えている。そして、ターンテーブ
ル１を５つに均等に割出した位置には、それぞれスピン
ドル２が支持部材６にて回転自在に支持されている。こ
れらのスピンドル２の上端部には磁気ディスクＤを載置
して取付ける図示しない載置部が形成されるとともに、
下端部はターンテーブル１を貫通してターンテーブル１
の下面側に垂下している。
て詳細に説明する。図１はこの発明の磁気ディスクの検
査装置の斜視図である。ターンテーブル１は、これを反
時計方向に間欠回転させるサーボモータ等からなる周知
の間欠回転機構５を備えている。そして、ターンテーブ
ル１を５つに均等に割出した位置には、それぞれスピン
ドル２が支持部材６にて回転自在に支持されている。こ
れらのスピンドル２の上端部には磁気ディスクＤを載置
して取付ける図示しない載置部が形成されるとともに、
下端部はターンテーブル１を貫通してターンテーブル１
の下面側に垂下している。
【００１２】ターンテーブル１の５つの回転停止位置に
は、磁気ディスクＤをスピンドル２に取付け、取外すハ
ンドリング装置（図２参照）と、磁気ディスクＤの各検
査を行う各検査手段７，８，９，１０が配置されるとと
もに、ターンテーブル１を貫通した各スピンドル２の下
端と対向した位置には、各スピンドル２を回転させる回
転駆動手段であるモータ３がそれぞれ配置されている。
これらのモータ３は、取付部材１２を介してエアシリン
ダ１３の伸縮自在なロッド１３ａの先端に取付けられて
いる。
は、磁気ディスクＤをスピンドル２に取付け、取外すハ
ンドリング装置（図２参照）と、磁気ディスクＤの各検
査を行う各検査手段７，８，９，１０が配置されるとと
もに、ターンテーブル１を貫通した各スピンドル２の下
端と対向した位置には、各スピンドル２を回転させる回
転駆動手段であるモータ３がそれぞれ配置されている。
これらのモータ３は、取付部材１２を介してエアシリン
ダ１３の伸縮自在なロッド１３ａの先端に取付けられて
いる。
【００１３】また、前記各スピンドル２の下端には、永
久磁石のＮ極とＳ極が交互に配置された永久磁石円盤２
２が取付けられている。一方、モータ３の回転軸３ａの
先端には、前記永久磁石円盤２２と同様に形成された永
久磁石円盤２３が取付けられている。この永久磁石円盤
２２と永久磁石円盤２３とは、ターンテーブル１が間欠
回転して停止したときに、永久磁石円盤２３が上昇して
近接し、永久磁石円盤２２，２３間に作用する磁気吸引
により、モータ３の回転をスピンドル２に伝達する。前
記各検査手段７，８，９，１０は、磁気ディスクＤの検
査順序に従って前記ターンテーブル１が間欠回転して停
止する位置に配設されている。
久磁石のＮ極とＳ極が交互に配置された永久磁石円盤２
２が取付けられている。一方、モータ３の回転軸３ａの
先端には、前記永久磁石円盤２２と同様に形成された永
久磁石円盤２３が取付けられている。この永久磁石円盤
２２と永久磁石円盤２３とは、ターンテーブル１が間欠
回転して停止したときに、永久磁石円盤２３が上昇して
近接し、永久磁石円盤２２，２３間に作用する磁気吸引
により、モータ３の回転をスピンドル２に伝達する。前
記各検査手段７，８，９，１０は、磁気ディスクＤの検
査順序に従って前記ターンテーブル１が間欠回転して停
止する位置に配設されている。
【００１４】検査手段７は、この実施例の場合、検査に
先立って磁気ディスク面の突起を研磨して除去する、い
わゆるバニッシュを行うもので、スピンドル２に保持さ
れて回転する磁気ディスクＤの両面に、アーム１４の先
端部に取付けた研磨部材１８を押し当てて、矢印で示す
ように磁気ディスクＤの半径方向に移動することによ
り、製造された磁気ディスクの表面の突起を除去する。
先立って磁気ディスク面の突起を研磨して除去する、い
わゆるバニッシュを行うもので、スピンドル２に保持さ
れて回転する磁気ディスクＤの両面に、アーム１４の先
端部に取付けた研磨部材１８を押し当てて、矢印で示す
ように磁気ディスクＤの半径方向に移動することによ
り、製造された磁気ディスクの表面の突起を除去する。
【００１５】検査手段８は、いわゆるグライドハイトテ
ストを行うもので、スピンドル２に保持されて回転する
磁気ディスクＤの回転速度を通常より遅くして、この磁
気ディスク面にアーム１５の先端に取付けた磁気ヘッド
１９を浮上させる。磁気ディスクＤの回転速度が通常よ
り遅いと、磁気ディスクの表面に流れる風速が遅くな
り、磁気ヘッドの下面に流入して磁気ヘッドを押し上げ
る力が弱くなって、磁気ヘッド１９の浮上量が通常より
小さくなり、磁気ヘッド１９が磁気ディスクＤの表面の
突起に接触する確率が大きくなる。磁気ディスクＤの表
面の突起への磁気ヘッド１９の接触は、図示しないアコ
ースチック・エミッション・センサで検出する。これに
よって、前記バニッシュによって磁気ディスクの表面の
突起が除去されているか否かを検査することができる。
ストを行うもので、スピンドル２に保持されて回転する
磁気ディスクＤの回転速度を通常より遅くして、この磁
気ディスク面にアーム１５の先端に取付けた磁気ヘッド
１９を浮上させる。磁気ディスクＤの回転速度が通常よ
り遅いと、磁気ディスクの表面に流れる風速が遅くな
り、磁気ヘッドの下面に流入して磁気ヘッドを押し上げ
る力が弱くなって、磁気ヘッド１９の浮上量が通常より
小さくなり、磁気ヘッド１９が磁気ディスクＤの表面の
突起に接触する確率が大きくなる。磁気ディスクＤの表
面の突起への磁気ヘッド１９の接触は、図示しないアコ
ースチック・エミッション・センサで検出する。これに
よって、前記バニッシュによって磁気ディスクの表面の
突起が除去されているか否かを検査することができる。
【００１６】検査手段９は、いわゆるサーテファイアテ
ストすなわち磁気ディスクのインナー側のトラックのリ
ード・ライトの検査を行うもので、アーム１６の先端に
取付けた磁気ヘッド２０で、磁気ディスクのインナー側
のトラックに情報を書込み、その情報を読取ることがで
きるか否かを検査する。
ストすなわち磁気ディスクのインナー側のトラックのリ
ード・ライトの検査を行うもので、アーム１６の先端に
取付けた磁気ヘッド２０で、磁気ディスクのインナー側
のトラックに情報を書込み、その情報を読取ることがで
きるか否かを検査する。
【００１７】検査手段１０は、サーテファイアテストに
おいて磁気ディスクのアウター側のトラックのリード・
ライトの検査を行うもので、アーム１７の先端に取付け
た磁気ヘッド２１で、磁気ディスクのアウター側のトラ
ックに情報を書込み、その情報を読取ることができるか
否かを検査する。なお、前記各検査手段は、前記のよう
な磁気ディスクの表面の突起の除去手段や各検査手段に
限定されるものではなく、その他の各検査等に適用する
こともできる。
おいて磁気ディスクのアウター側のトラックのリード・
ライトの検査を行うもので、アーム１７の先端に取付け
た磁気ヘッド２１で、磁気ディスクのアウター側のトラ
ックに情報を書込み、その情報を読取ることができるか
否かを検査する。なお、前記各検査手段は、前記のよう
な磁気ディスクの表面の突起の除去手段や各検査手段に
限定されるものではなく、その他の各検査等に適用する
こともできる。
【００１８】前記検査手段７と検査手段１０の間の前記
ターンテーブル１が間欠回転して停止するハンドリング
位置において、検査の終了した磁気ディスクＤをスピン
ドル２の上端部から取外し、次に検査する磁気ディスク
Ｄをスピンドル２の上端部に取付ける。前記検査手段９
および検査手段１０によるサーテファイアテストは時間
が比較的多くかかるので、作業者はその間にマニュアル
にて前記磁気ディスクＤの掛け替えを行うことができ
る。
ターンテーブル１が間欠回転して停止するハンドリング
位置において、検査の終了した磁気ディスクＤをスピン
ドル２の上端部から取外し、次に検査する磁気ディスク
Ｄをスピンドル２の上端部に取付ける。前記検査手段９
および検査手段１０によるサーテファイアテストは時間
が比較的多くかかるので、作業者はその間にマニュアル
にて前記磁気ディスクＤの掛け替えを行うことができ
る。
【００１９】なお、この掛け替え作業はロボットハンド
などのハンドリング装置で自動的に行うこともでき、以
下、ロボットハンドを使用した掛け替え作業の一例につ
いて説明する。図２は、ロボットハンドによる磁気ディ
スクＤの掛け替えの一例を示す図である。ロボットハン
ドＲのアーム２７は、回動駆動機構３２により矢印Ａ，
Ｂの方向に回動が可能で、かつ、伸縮ロッド３１の伸縮
により矢印Ｃの方向に上下動が可能である。前記アーム
２７の先端には、磁気ディスクＤおよびスピンドル２の
上端部に取付けた磁気ディスクＤをクランプするキャッ
プ２４を保持する保持部２８が形成されている。この保
持部２８には、電磁石などによるキャップ２４の保持手
段と、エアー吸引などによる磁気ディスクＤの保持手段
が設けられており、これらの保持手段を駆動することに
より、前記キャップ２４および磁気ディスクＤの保持が
可能である。また、図中２９は、スピンドル２から取り
外したキャップ２４を一時的に載置する載置台、３０は
未検査の磁気ディスクＤを載置する載置台で、この載置
台２９および３０はそれぞれアーム２７の回動領域内に
設けられている。
などのハンドリング装置で自動的に行うこともでき、以
下、ロボットハンドを使用した掛け替え作業の一例につ
いて説明する。図２は、ロボットハンドによる磁気ディ
スクＤの掛け替えの一例を示す図である。ロボットハン
ドＲのアーム２７は、回動駆動機構３２により矢印Ａ，
Ｂの方向に回動が可能で、かつ、伸縮ロッド３１の伸縮
により矢印Ｃの方向に上下動が可能である。前記アーム
２７の先端には、磁気ディスクＤおよびスピンドル２の
上端部に取付けた磁気ディスクＤをクランプするキャッ
プ２４を保持する保持部２８が形成されている。この保
持部２８には、電磁石などによるキャップ２４の保持手
段と、エアー吸引などによる磁気ディスクＤの保持手段
が設けられており、これらの保持手段を駆動することに
より、前記キャップ２４および磁気ディスクＤの保持が
可能である。また、図中２９は、スピンドル２から取り
外したキャップ２４を一時的に載置する載置台、３０は
未検査の磁気ディスクＤを載置する載置台で、この載置
台２９および３０はそれぞれアーム２７の回動領域内に
設けられている。
【００２０】次に、磁気ディスクＤの掛け替え作業につ
いて説明する。テーブル１の間欠回転が停止すると、ア
ーム２７が回動して保持部２８をスピンドル２上に位置
させる。その後、アーム２７が下降するとともに、図示
しない電磁石などによる保持手段を駆動させて保持部２
８にキャップ２４を吸着する。キャップ２４を保持部２
８に吸着，保持したアーム２７は、上昇，回動して載置
台２９まで前記キャップ２４を搬送し、この載置台２９
上にキャップ２４を載置する。次に、アーム２７は再び
スピンドル２上まで戻り、今度はエアー吸引などによる
保持手段を駆動させて検査の終了した磁気ディスクＤを
保持部２８に吸着，保持する。そして、アーム２７は、
矢印Ｂの方向に回動して磁気ディスクＤを搬送し、検査
の終了した磁気ディスクＤを図示しない収納箱などに収
納する。次に、アーム２７は載置台３０まで回動して、
未検査の磁気ディスクＤを保持部２８に保持する。そし
て、この磁気ディスクＤをスピンドル２まで搬送してス
ピンドル２上に載置する。最後に、載置台２９に載置さ
れたキャップ２４を前述した動作と逆動作にてスピンド
ル２に取り付け、磁気ディスクＤをクランプさせて一連
の動作を完了する。この一連の動作は、シーケンスなど
による電気的制御にて行うことができることは言うまで
もない。
いて説明する。テーブル１の間欠回転が停止すると、ア
ーム２７が回動して保持部２８をスピンドル２上に位置
させる。その後、アーム２７が下降するとともに、図示
しない電磁石などによる保持手段を駆動させて保持部２
８にキャップ２４を吸着する。キャップ２４を保持部２
８に吸着，保持したアーム２７は、上昇，回動して載置
台２９まで前記キャップ２４を搬送し、この載置台２９
上にキャップ２４を載置する。次に、アーム２７は再び
スピンドル２上まで戻り、今度はエアー吸引などによる
保持手段を駆動させて検査の終了した磁気ディスクＤを
保持部２８に吸着，保持する。そして、アーム２７は、
矢印Ｂの方向に回動して磁気ディスクＤを搬送し、検査
の終了した磁気ディスクＤを図示しない収納箱などに収
納する。次に、アーム２７は載置台３０まで回動して、
未検査の磁気ディスクＤを保持部２８に保持する。そし
て、この磁気ディスクＤをスピンドル２まで搬送してス
ピンドル２上に載置する。最後に、載置台２９に載置さ
れたキャップ２４を前述した動作と逆動作にてスピンド
ル２に取り付け、磁気ディスクＤをクランプさせて一連
の動作を完了する。この一連の動作は、シーケンスなど
による電気的制御にて行うことができることは言うまで
もない。
【００２１】図３は、モータ３からの回転をスピンドル
２に伝達する伝達手段の他の実施例を示すものである。
この実施例においては、モータ３の回転軸３ａの先端に
断面コ字状の溝を有する雌型カップリング２５を設け、
スピンドル２の下端にはこの雌型カップリング２５と係
合可能に突設して形成されたピン２６が設けられてい
る。
２に伝達する伝達手段の他の実施例を示すものである。
この実施例においては、モータ３の回転軸３ａの先端に
断面コ字状の溝を有する雌型カップリング２５を設け、
スピンドル２の下端にはこの雌型カップリング２５と係
合可能に突設して形成されたピン２６が設けられてい
る。
【００２２】そして、ターンテーブル１が間欠回転する
際には、エアシリンダ１３のシリンダロッド１３ａは後
退していて、ピン２６と雌型カップリング２５とは離間
している。ターンテーブル１が間欠回転して停止する
と、前記シリンダロッド１３ａが前進してピン２６と雌
型カップリング２５とが係合し、モータ３の回転をスピ
ンドル２に伝達する。
際には、エアシリンダ１３のシリンダロッド１３ａは後
退していて、ピン２６と雌型カップリング２５とは離間
している。ターンテーブル１が間欠回転して停止する
と、前記シリンダロッド１３ａが前進してピン２６と雌
型カップリング２５とが係合し、モータ３の回転をスピ
ンドル２に伝達する。
【００２３】なお、この実施例では、ターンテーブル１
は均等に割出された５つの停止位置を有するものとして
説明したが、これに限られるものでなく、６以上の停止
位置または４以下の停止位置を有するものとしてもよい
ことは言うまでもない。
は均等に割出された５つの停止位置を有するものとして
説明したが、これに限られるものでなく、６以上の停止
位置または４以下の停止位置を有するものとしてもよい
ことは言うまでもない。
【００２４】
【発明の効果】この発明の磁気ディスクの検査装置は、
間欠回転機構を有するターンテーブルと、このターンテ
ーブルを所定数に割出した位置に配設された複数のスピ
ンドルと、このスピンドルのぞれぞれを回転させる回転
駆動手段と、前記ターンテーブルが間欠回転して停止す
る位置に配設され、前記スピンドルに取付けられた磁気
ディスクを検査する複数の検査手段とで構成されている
ので、一台の検査装置により磁気ディスクの複数種類の
検査を同時に行うことができる。また、各検査工程間に
おいて従来のように各検査装置のスピンドルに磁気ディ
スクを付け替えしなくてもよく、いわゆる、磁気ディス
クのハンドリング時間の占める割合が少なくなり、作業
効率が良く、製造コストを安くすることができる。
間欠回転機構を有するターンテーブルと、このターンテ
ーブルを所定数に割出した位置に配設された複数のスピ
ンドルと、このスピンドルのぞれぞれを回転させる回転
駆動手段と、前記ターンテーブルが間欠回転して停止す
る位置に配設され、前記スピンドルに取付けられた磁気
ディスクを検査する複数の検査手段とで構成されている
ので、一台の検査装置により磁気ディスクの複数種類の
検査を同時に行うことができる。また、各検査工程間に
おいて従来のように各検査装置のスピンドルに磁気ディ
スクを付け替えしなくてもよく、いわゆる、磁気ディス
クのハンドリング時間の占める割合が少なくなり、作業
効率が良く、製造コストを安くすることができる。
【図１】この発明の磁気ディスクの検査装置の斜視図で
ある。
ある。
【図２】ロボットハンドによる磁気ディスクの掛け替え
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図３】モータの回転をスピンドルに伝達する伝達手段
の他の実施例を示す図である。
の他の実施例を示す図である。
１ ターンテーブル ２ スピンドル ３ モータ（回転駆動手段） ５ 間欠回転機構 ６ 支持部材 ７ バニッシュの装置 ８ 検査手段 ９ 検査手段 １０ 検査手段 １２ 支持部材 １３ エアシリンダ １４，１５，１６，１７ アーム １８ 研磨部材 １９，２０，２１ 磁気ヘッド ２２，２３ 永久磁石円盤 ２４ クランプ用のキャップ ２５ 雌型カップリング ２６ ピン ２７ アーム ２８ 保持部 ２９，３０ 載置台 ３１ 伸縮ロッド ３２ 回動駆動機構 Ｄ 磁気ディスク Ｒ ロボットハンド
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】間欠回転機構（５）を有するターンテーブ
ル（１）と、このターンテーブル（１）を所定数に割出
した位置に配設された複数のスピンドル（２）と、この
スピンドル（２）のぞれぞれを回転させる回転駆動手段
と、前記ターンテーブル（１）が間欠回転して停止する
位置に配設され、前記スピンドル（２）に取付けられた
磁気ディスク（Ｄ）を検査する複数の検査手段（７），
（８），（９），（１０）・・・とを有することを特徴
とする磁気ディスクの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18993591A JPH0536063A (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 磁気デイスクの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18993591A JPH0536063A (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 磁気デイスクの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536063A true JPH0536063A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16249674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18993591A Pending JPH0536063A (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 磁気デイスクの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536063A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011159330A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ディスク検査方法及びその装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS617480A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-14 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ディスク型記録媒体テスタ |
| JPS61180162A (ja) * | 1985-01-09 | 1986-08-12 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 記録媒体検査装置 |
| JPH04315037A (ja) * | 1991-04-11 | 1992-11-06 | Showa Alum Corp | ワーク端面の外観検査装置 |
-
1991
- 1991-07-30 JP JP18993591A patent/JPH0536063A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS617480A (ja) * | 1984-06-21 | 1986-01-14 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ディスク型記録媒体テスタ |
| JPS61180162A (ja) * | 1985-01-09 | 1986-08-12 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 記録媒体検査装置 |
| JPH04315037A (ja) * | 1991-04-11 | 1992-11-06 | Showa Alum Corp | ワーク端面の外観検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011159330A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ディスク検査方法及びその装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970408 |