JP5271815B2 - 吸着ヘッド - Google Patents
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Description
22…吸引口
24…排気口
26…真空通路
28…シャフト
30…軸受本体
30A…挿通孔
32…ヘッド部
34…真空供給通路
36…真空引込口
38…静圧軸受部
40…逃気通路
42…圧力回止部
44…負圧引込通路
46…溝部
Claims (3)
- 先端に形成された吸引口から、外周面に貫通形成された排気口まで連通する真空通路が形成されたシャフトと、該シャフトを上下方向の移動と軸中心の回転とを可能に挿通する挿通孔が形成された軸受本体とを備えている吸着ヘッドにおいて、
前記軸受本体には、
前記シャフトに形成されている前記排気口に対応する位置の挿通孔に、真空供給通路を介して真空源に連通する真空引込口が形成されていると共に、
前記挿通孔の軸方向の一部を構成する通気性の多孔質材料からなる静圧軸受部と、
該静圧軸受部からシャフトの外周面に噴出される加圧空気を外部へ逃がす逃気通路と、
該逃気通路と前記真空引込口との間のシャフト周囲に配設され、前記静圧軸受部から噴出された加圧空気の前記真空引込口への進入を防止する圧力回止部と、
該圧力回止部に一端が連通し、他端が前記逃気通路に連通して、該逃気通路を加圧空気が通過する際にベルヌーイの原理に従って発生する負圧を前記圧力回止部へ供給する負圧引込通路と、がそれぞれ形成されていることを特徴とする吸着ヘッド。 - 前記圧力回止部が、前記挿通孔の軸方向の一部を構成する通気性の多孔質材料からなることを特徴とする請求項1に記載の吸着ヘッド。
- 前記静圧軸受部、逃気通路、圧力回止部及び負圧引込通路が、前記真空引込口に関して上方と下方の軸受本体にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の吸着ヘッド。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2009136341A JP5271815B2 (ja) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 吸着ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009136341A JP5271815B2 (ja) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 吸着ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010283218A JP2010283218A (ja) | 2010-12-16 |
JP5271815B2 true JP5271815B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=43539693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009136341A Active JP5271815B2 (ja) | 2009-06-05 | 2009-06-05 | 吸着ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5271815B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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JP7158944B2 (ja) * | 2018-08-01 | 2022-10-24 | Thk株式会社 | 負圧発生構造およびアクチュエータ |
Family Cites Families (4)
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JP2002303323A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Nsk Ltd | 駆動装置 |
JP2003065334A (ja) * | 2002-06-13 | 2003-03-05 | Nsk Ltd | 静圧気体軸受 |
-
2009
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Publication number | Publication date |
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