JP6850906B2 - 部品実装用ノズル - Google Patents

Description

本明細書では、部品実装用ノズルを開示する。

従来、部品実装用ノズルとしては、軸方向に沿った通気孔を有するノズルチップが円形パイプの差込口に差し込まれて固定されたものが知られている。例えば、特許文献１には、ノズルチップとして、円形パイプの差込口に差し込まれる挿入部と、部品吸着面を有する吸着部と、挿入部と吸着部との間に設けられたフランジ部とを備えたものが開示されている。

国際公開第２０１５／１１１１５６号パンフレット

こうしたノズルチップをセラミックで製造するに当たっては、ノズルチップの金型を用意し、フランジ部と挿入部との境界付近からセラミック高濃度スラリーを流し込んで成形した後、成形体を金型から取り出して焼結させる。焼結後、フランジ部のうち挿入部側のフランジ面を研磨してそのフランジ面から部品吸着面までの長さの精度を確保する。そして、ノズルチップの挿入部を円形パイプの差込口に差し込んで固定する。

しかしながら、この製法ではフランジ面の研磨工程が必要になることから、部品実装用ノズルの製造コストが高くなるという問題があった。一方、製造コストを低くすることができたとしても、寸法精度を犠牲にしたのでは本末転倒になる。

本開示は、このような課題に鑑みなされたものであり、低コストで製造可能でありながら寸法精度の高い部品実装用ノズルを提供することを主目的とする。

本開示の部品実装用ノズルは、
軸方向に沿った通気孔を有するノズルチップが円形パイプの差込口に差し込まれて固定された部品実装用ノズルであって、
前記ノズルチップは、セラミックを焼結したまま機械加工を行っていないアズファイアード部材であり、前記円形パイプの前記差込口に差し込まれ端面にバリを有する挿入部と、部品吸着面を有する吸着部と、前記挿入部と前記吸着部との間に設けられたフランジ部とを備え、
前記フランジ部は、前記挿入部側のフランジ面で前記円形パイプの差込口の周端面に接触し、前記挿入部の外周面から前記フランジ面の外周縁までの長さが前記挿入部の肉厚以下である、
ものである。

この部品実装用ノズルでは、ノズルチップは、セラミックを焼結したまま機械加工を行っていないアズファイアード（as fired）部材であるため、機械加工を行うコストがかからず、低コストで製造可能である。このノズルチップは、挿入部の端面にバリを有している。バリは、ノズルチップを成形するための金型にセラミックスラリーを注入したときの注入口だったことを示す。ここでは、挿入部の外周面からフランジ部の挿入部側のフランジ面の外周縁までの長さ（以下、長さＬ１という）が挿入部の肉厚以下のため、挿入部の端面に当たる位置から金型にセラミックスラリーを注入したとしても、スラリーが金型の内部空間の全体（フランジ部に相当する空間を含む）に行き渡る。そのため、ノズルチップはアズファイアード部材であってもフランジ面の精度が高い。また、ノズルチップは挿入部側のフランジ面で円形パイプの差込口の周端面に接触するため、円形パイプの所定の基準位置からノズルチップの部品吸着面までの長さ（以下、長さＬ２という）はこのフランジ面の精度に依存する。このフランジ面は上述したようにアズファイアード部材であっても精度が高いため、長さＬ２の精度も高くなる。

ちなみに、長さＬ１が挿入部の肉厚を超えると、スラリーがフランジ部の全体（特に挿入部側のフランジ面の外周縁）に行き渡らず、空隙が生じることがあり、ノズルチップをアズファイアード部材とするとフランジ面の精度が低くなる。

部品実装機５０の全体構成を示す説明図。 ヘッドユニット６０の斜視図。 ノズルホルダ３０に保持された吸着ノズル１０の正面図。 ノズルホルダ３０に保持された吸着ノズル１０の縦断面図。 ノズルチップ１８の縦断面図 ノズル本体１４の組立手順の説明図。 金型９０の縦断面図。 ノズルチップ１１８の縦断面図。

本開示の部品実装用ノズルの好適な実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。図１は部品実装機５０の全体構成を示す説明図、図２はヘッドユニット６０の斜視図、図３はノズルホルダ３０に保持された吸着ノズル１０の正面図、図４はノズルホルダ３０に保持された吸着ノズル１０の縦断面図、図５はノズルチップ１８の縦断面図である。本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。

部品実装機５０は、図１に示すように、基台５２に搭載された基板搬送装置５４と、ＸＹ平面を移動可能なヘッドユニット６０と、ヘッドユニット６０に着脱可能に取り付けられたヘッド７０と、吸着ノズル１０に吸着された電子部品を下方から撮影するパーツカメラ７２と、基板５１へ装着する電子部品を供給する部品供給装置８０とを備えている。

基板搬送装置５４は、前後一対の支持板５６，５６にそれぞれ取り付けられたコンベアベルト５８，５８（図１では片方のみ図示）により基板５１を左から右へと搬送する。

ヘッドユニット６０は、Ｘ軸スライダ６２に取り付けられ、Ｘ軸スライダ６２がガイドレール６４，６４に沿って左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ６６がガイドレール６８，６８に沿って前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。このため、ヘッドユニット６０は、ＸＹ平面を移動可能である。各スライダ６２，６６は、それぞれ図示しないサーボモータによって駆動される。

ヘッド７０は、ヘッドユニット６０に着脱可能に取り付けられている。吸着ノズル１０は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりするものである。このヘッド７０は、外観が略円柱状の部材であり、下方に複数（ここでは１２本）の吸着ノズル１０を有している。吸着ノズル１０は、上下方向に延びるノズルホルダ３０（図３参照）と一体化されている。ノズルホルダ３０は、ヘッド７０のカバーによって覆われているため、図２には現れていない。このノズルホルダ３０は、上端付近にレバーを備えており、レバーが押下されるとノズルホルダ３０が吸着ノズル１０と共に下降し、レバーの押下が解除されるとノズルホルダ３０及び吸着ノズル１０は図示しないスプリングの力によって定位置に戻る。また、ノズルホルダ３０は、軸回転可能となっている。更に、各吸着ノズル１０には、ノズル先端に負圧を供給するか大気圧を供給するかを切り替える図示しない圧力切替弁が取り付けられている。

パーツカメラ７２は、基板搬送装置５４の前側に配置されている。部品を吸着した吸着ノズル１０がパーツカメラ７２の上方を通過する際、パーツカメラ７２は吸着ノズル１０に吸着された部品の下方から図示しない光源の光を照射してその部品を下方から撮影する。パーツカメラ７２によって撮影された画像は、部品が正常に吸着ノズル１０に吸着されているか否かの判定や部品の姿勢の認識に用いられる。

部品供給装置８０は、部品実装機５０の前方に取り付けられている。この部品供給装置８０は、複数のスロットを有しており、各スロットにはフィーダ８２が差し込み可能となっている。フィーダ８２には、テープが巻き付けられたリール８４が取り付けられている。テープの表面には、部品がテープの長手方向に沿って並んだ状態で保持されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、図示しないスプロケット機構によって後方へ送り出され、フィルムが剥がされて部品が露出した状態で所定位置に配置される。所定位置とは、吸着ノズル１０がその部品を吸着可能な位置である。この所定位置で部品を吸着した吸着ノズル１０は、基板５１上の定められた位置にその部品を実装することができる。

その他に、部品実装機５０は、ノズルストッカー７４などを備えている。ノズルストッカー７４は、複数種類の吸着ノズル１０をストックするボックスであり、パーツカメラ７２の隣に配置されている。吸着ノズル１０は、部品を装着する基板の種類や部品の種類に適したものに交換される。

この部品実装機５０は、コントローラ８６によって動作が制御される。コントローラ８６は、基板５１の生産ジョブを管理する図示しない管理コンピュータからの指令を受けて部品実装機５０を制御する。生産ジョブは、部品実装機５０においてどのスロット位置のフィーダからどの部品をどういう順番でどの基板種の基板５１へ実装するか、また、そのように実装した基板５１を何枚作製するかなどを定めたものである。

ここで、吸着ノズル１０について、図３〜図５を参照しつつ以下に詳説する。吸着ノズル１０は、ノズル本体１４（本開示の部品実装用ノズルに相当）と、通気通路１２の延びる方向に沿ってノズル本体１４を摺動可能に収納するスリーブ２０とを備えている。通気通路１２は、図示しない圧力切替弁を介して真空ポンプに接続されている。

ノズル本体１４は、軸方向に沿った通気孔１８ｅを有するノズルチップ１８の挿入部１８ｂが円形パイプ１６の差込口１６ｂに差し込まれて固定されたものである。

円形パイプ１６は、通気通路１２を囲う壁の役割を果たす部材であり、一対の長穴１６ａ，１６ａを有している。一対の長穴１６ａ，１６ａは、通気通路１２の延びる方向（軸方向）に沿って長くなるように形成され、通気通路１２の中心線を軸とする２回対称となる位置に設けられている。つまり、一対の長穴１６ａ，１６ａは円形パイプ１６の側面の互いに対向する位置に設けられている。円形パイプ１６の下部はテーパ部１６ｃによって径が絞られており、下部の開口はノズルチップ１８の挿入部１８ｂを差し込むための差込口１６ｂとなっている。

ノズルチップ１８は、吸着部１８ａと挿入部１８ｂとの間にフランジ部１８ｃを有している。吸着部１８ａは、部品を吸着する吸着面１８ｄを有している。吸着部１８ａと挿入部１８ｂは、内径が同じで外径が異なる。吸着部１８ａの肉厚ｔａは、挿入部１８ｂの肉厚ｔｂの０．４〜０．６倍（例えば０．５倍）となっている。フランジ部１８ｃは、吸着部１８ａとフランジ部１８ｃとの境界から挿入部１８ｂに向かって徐々に径が大きくなるようにテーパ状に形成されている。フランジ部１８ｃの内径は、吸着部１８ａ及び挿入部１８ｂと同じである。フランジ部１８ｃのうち挿入部１８ｂ側のフランジ面１８ｆ（通気通路１２と垂直な面）は、円形パイプ１６の差込口１６ｂの周端面１６ｄに接触している。そのため、吸着面１８ｄの高さ位置の精度は、フランジ面１８ｆと周端面１６ｄの面精度によって決まる。挿入部１８ｂの端面には金型成形時に生じたバリ１８ｇが残っている。挿入部１８ｂの端面は円形パイプ１６と係合していない。図５に示すように、挿入部１８ｂの外周面からフランジ面１８ｆの外周縁までの長さＬ１は、挿入部１８ｂの肉厚ｔｂ以下（例えば肉厚ｔｂと同じ）に設定されている。

スリーブ２０は、図３及び図４に示すように、円筒部２２と、円盤部２４と、ピン２６とを備えている。円筒部２２は、ノズル本体１４の円形パイプ１６を摺動可能に保持している。この円筒部２２も、通気通路１２を囲う壁の役割を果たす。円盤部２４は、ノズルストッカー７４に設けられた図示しないノズル保持穴よりも径が大きくなるにように形成されている。ピン２６は、円筒部２２を軸方向と直交する方向に貫通し、その状態で円筒部２２に固定されている。このピン２６は、通気通路１２を横切ると共に円形パイプ１６に設けられた一対の長穴１６ａ，１６ａを貫通している。また、ピン２６の両端は、後述するノズルホルダ３０のノズル軸３２の側面から外部に突出している。スリーブ２０の円筒部２２に対してノズル本体１４の円形パイプ１６が通気通路１２の延びる方向に沿って摺動する際、ノズル本体１４はピン２６が挿通された一対の長穴１６ａ，１６ａによってガイドされて摺動する。

吸着ノズル１０は、外部に突出しているピン２６の両端を利用してノズルホルダ３０の下端側に着脱可能に取り付けられている。ノズルホルダ３０は、概して筒状に形成されたノズル軸３２を主体とするものである。ノズル軸３２の下端には、Ｊ字溝３２ａ，３２ａ（図３には片方のみ現れている）が設けられている。ノズル軸３２の内部には、下端側の径が絞られたチューブ３４と、このチューブ３４をノズル先端側に向かって付勢するインナースプリング３６とが配置されている。チューブ３４は、通気通路１２の中心線を軸とする２回対称となる位置に一対の長穴３４ａ，３４ａを有している。この一対の長穴３４ａ，３４ａには、ノズル軸３２を軸方向と直交する方向に貫通するピン３３が挿通されている。ノズル軸３２には、ピン３３の抜けを防止するためのリング３５が嵌め込まれている。チューブ３４は、インナースプリング３６の付勢力によってノズル本体１４の円形パイプ１６をノズル先端側に押圧している。また、チューブ３４は、ノズル軸３２の内部を通気通路１２の延びる方向に沿って摺動する際、ピン３３が挿通された一対の長穴３４ａ，３４ａによってガイドされて摺動する。ノズル軸３２の外周には、概して筒状に形成された可動部材３８が通気通路１２の延びる方向に沿って移動可能となるように装着されている。可動部材３８は、下端にフランジ３８ａを有している。ノズル軸３２は、ピン３３が挿通された位置よりもやや下側にばね受け部３２ｂを有している。このばね受け部３２ｂと可動部材３８のフランジ３８ａとの間には、アウタースプリング４０が設けられている。

吸着ノズル１０をノズルホルダ３０から取り外すには、ノズルホルダ３０に対して吸着ノズル１０のピン２６をアウタースプリング４０の付勢力に抗して押し上げてＪ字溝３２ａの止め溝部分３２ａａから上に外し、その状態でピン２６をノズルホルダ３０に対して軸回転させながらＪ字溝３２ａから抜く。これにより、ノズルホルダ３０から吸着ノズル１０が外れる。吸着ノズル１０をノズルホルダ３０に取り付ける際には、これと逆の手順を行う。

次に、ノズル本体１４の製法について、図６を参照しながら以下に説明する。図６はノズル本体１４の組立手順の説明図である。

まず、作業者は、図６Ａに示すように、円形パイプ１６とノズルチップ１８とを用意する。ここで、ノズルチップ１８の製法について説明する。ノズルチップ１８は、ノズルチップ１８とほぼ同じ形状の内部空間９２を持つ金型９０（図７参照）を使って製造される。金型９０は、上型と下型とを合わせた構造のものであり、内部空間９２のうちノズルチップ１８の挿入部１８ｂの端面に相当する位置に注入口９２ａを有している。セラミック（例えばジルコニア）の高濃度スラリーは、この注入口９２ａから内部空間９２に注入される。なお、金型９０には注入口９２ａとは反対側に図示しない通気穴が設けられ、スラリーが注入されるのに伴って内部空間９２内の空気が通気穴から抜けるようになっている。スラリーは、内部空間９２の全体に充填されたあと、固化されて成形体となる。その後、金型９０を開いて成形体を取り出し、成形体の焼結を行う。これにより、ノズルチップ１８が得られる。ノズルチップ１８は、セラミックを焼結したまま機械加工（研磨・研削加工など）を行っていないアズファイアード部材であり、挿入部１８ｂの端面に注入口９２ａに由来するバリ１８ｇを有している（図５参照）。また、挿入部１８ｂの外周面からフランジ面１８ｆの外周縁までの長さＬ１が挿入部１８ｂの肉厚ｔｂ以下に設定されているため、金型９０にスラリーを注入する際に内部空間９２の全体、特にフランジ部１８ｃに相当する空間の全体にまでスラリーが行き渡る。したがって、内部空間９２内には、空隙が生じないかほとんど生じることはない。そのため、ノズルチップ１８がアズファイアード部材であったとしても、フランジ面１８ｆの面精度は十分良好な値になる。

図８は、比較形態のノズルチップ１１８の縦断面図である。ノズルチップ１１８はノズルチップ１８とサイズが異なる以外はノズルチップ１８と同様の構成である。すなわち、ノズルチップ１１８は、吸着部１１８ａと挿入部１１８ｂとの間にフランジ部１１８ｃを有している。フランジ部１１８ｃは、フランジ面１１８ｆを有している。このノズルチップ１１８は長さＬ１が挿入部１１８ｂの肉厚ｔｂの２倍、吸着部１１８ａの肉厚ｔａは挿入部１１８ｂの肉厚ｔｂの１／３である。このノズルチップ１１８を製造するために、金型９０と同様の金型を用いて挿入部１１８ｂの端面に相当する位置からスラリーを注入したところ、内部空間の全体、特にフランジ部１１８ｃに相当する空間の全体にまでスラリーが行き渡らず、空隙が生じた。そのため、得られたノズルチップ１１８は、フランジ部１１８ｃの形状が不良なものになった。こうしたことから、金型の注入口をフランジ部１１８ｃと挿入部１１８ｂとの境界に相当する位置に変更した。その場合、内部空間の全体にスラリーが行き渡ったものの、フランジ面１１８ｆに生じたバリ等の余剰部分（図８の点線のハッチング参照）を研削・研磨して除去し、フランジ面１１８ｆの面精度を上げる必要があった。このように研削・研磨等の機械加工が必要になると、製造コストが嵩む。

図６に戻り、作業者は、円形パイプ１６とノズルチップ１８とを用意した後、円形パイプ１６の差込口１６ｂにノズルチップ１８の挿入部１８ｂを差し込む。これにより、図６Ｂに示すように、円形パイプ１６とノズルチップ１８とは隙間なく密着すると共に、ノズルチップ１８のフランジ部１８ｃの外面と円形パイプ１６の差込口１６ｂの外面とが段差なく連なり、ノズル本体１４が完成する。ノズルチップ１８は円形パイプ１６に圧入固定してもよいし、接着剤を用いて固定してもよい。

次に、部品実装機５０のコントローラ８６が、生産ジョブに基づいて基板５１へ部品を装着する動作について説明する。まず、コントローラ８６は、ヘッドユニット６０の複数の吸着ノズル１０にフィーダ８２から供給される部品を順次吸着させる。具体的には、コントローラ８６は、Ｘ軸スライダ６２及びＹ軸スライダ６６を制御して１番目の吸着ノズル１０を所望の部品の真上に配置する。次に、コントローラ８６は、１番目の吸着ノズル１０を下降させると共にその吸着ノズル１０へ負圧が供給されるようにする。これにより、１番目の吸着ノズル１０に所望の部品が吸着される。なお、吸着ノズル１０のノズル本体１４は、ノズルホルダ３０に対して軸方向に移動可能で、且つ、インナースプリング３６により弾性保持されているため、部品を吸着する際の軸方向の衝撃を吸収することができる。その後、コントローラ８６は、１番目の吸着ノズル１０が下降位置から定位置に戻るように上昇させる。２番目以降の吸着ノズル１０についても、これと同様の動作を繰り返す。これにより、１番目から１２番目の吸着ノズル１０のすべてに部品を吸着させることができる。その後、コントローラ８６は、Ｘ軸スライダ６２及びＹ軸スライダ６６を制御して、ヘッドユニット６０を基板５１の上方へ向かって移動させる。その移動中、各吸着ノズル１０に吸着された部品はパーツカメラ７２によって撮像される。その後、コントローラ８６は、ヘッド７０を基板５１上に移動し、１番目の吸着ノズル１０を所望の位置に下降させ、その吸着ノズル１０へ大気圧が供給されるようにする。これにより、１番目の吸着ノズル１０に吸着されていた部品が基板５１の所望の位置に装着される。２番目以降の吸着ノズル１０に吸着されていた部品についても、同様にして基板５１上に装着していく。

以上詳述した本実施形態では、ノズルチップ１８は、セラミックを焼結したまま機械加工を行っていないアズファイアード（as fired）部材であるため、機械加工を行うコストがかからない。したがって、ノズルチップ１８を低コストで製造でき、ひいてはノズル本体１４を低コストで製造することができる。このノズルチップ１８は、挿入部１８ｂの端面にバリ１８ｇを有している。バリ１８ｇは、ノズルチップ１８を成形するための金型９０にセラミックスラリーを注入したときの注入口９２ａだったことを示す痕跡である。ここでは、挿入部１８ｂの外周面からフランジ部１８ｃのフランジ面１８ｆの外周縁までの長さＬ１が挿入部１８ｂの肉厚ｔｂ以下のため、挿入部１８ｂの端面に当たる注入口９２ａから金型９０の内部空間９２にセラミックスラリーを注入したとしても、スラリーが内部空間９２の全体（フランジ部１８ｃに相当する空間を含む）に行き渡る。そのため、ノズルチップ１８はアズファイアード部材であってもフランジ面１８ｆの精度が高い。また、ノズルチップ１８はフランジ面１８ｆで円形パイプ１６の周端面１６ｄに接触するため、円形パイプ１６の所定の基準位置（ここでは長穴１６ａの上端位置とする）からノズルチップ１８の吸着面１８ｄまでの長さＬ２（図６Ｂ参照）はこのフランジ面１８ｆの精度に依存する。このフランジ面１８ｆはアズファイアード部材であっても精度が高いため、長さＬ２の精度も高くなり、ひいては部品実装時における吸着面１８ｄの高さ位置の精度が高くなる。

また、ノズルチップ１８の吸着部１８ａの肉厚ｔａは挿入部１８ｂの肉厚ｔｂよりも薄い。そのため、円形パイプ１６の差込口１６ｂに差し込まれる挿入部１８ｂは、強度が確保される。一方、吸着部１８ａは、サイズの小さい部品に対応することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、長さＬ１（図５参照）を挿入部１８ｂの肉厚ｔｂと同じとしたが、肉厚ｔｂ以下であればよい。また、長さＬ１は０．２ｍｍ以上に設定されていることが好ましい。こうすれば、ノズルチップ１８のフランジ面１８ｆと円形パイプ１６の周端面１６ｄとの接触面積を十分確保することができる。

上述した実施形態では、ノズルチップ１８は焼結したまま機械加工を行っていないアズファイアード部材としたが、例えば、焼結したまま機械加工を行わずめっきなどの表面加工を行ったアズファイアード部材としてもよい。

上述した実施形態では、長さＬ２の基準位置を円形パイプ１６の長穴１６ａの上端位置としたが、特にこれに限定されるものではなく、例えば円形パイプ１６の差込口１６ｂの周端面１６ｄを長さＬ２の基準位置としてもよい。

上述した実施形態では、ノズルチップ１８の吸着面を円形としたが、特に円形に限定されるものではなく、方向性のある形状（例えば長方形、楕円形、長円形など）であってもよい。あるいは、ノズルチップ１８の通気孔１８ｅの開口を方向性のある形状にしてもよい。

上述した実施形態では、ノズル本体１４の組立を作業者が行ったが、作業者の代わりに作業ロボットが行ってもよい。

本開示の部品実装用ノズルは、以下のように構成してもよい。

本開示の部品実装用ノズルにおいて、前記挿入部の外周面から前記フランジ面の外周縁までの長さが０．２ｍｍ以上であることが好ましい。こうすれば、ノズルチップのフランジ面と円形パイプの差込口の周端面との接触面積を十分確保することができる。

本開示の部品実装用ノズルにおいて、前記吸着部の肉厚は前記挿入部の肉厚よりも薄くてもよい。ノズルチップの挿入部が円形パイプの差込口に差し込まれることを考慮すると、挿入部の肉厚はある程度厚くする必要があるが、吸着部の肉厚は部品サイズが小さくなるのに応じて薄くすることが好ましい。

本開示の部品実装用ノズルは、部品実装機に利用可能である。

１０ 吸着ノズル、１２ 通気通路、１４ ノズル本体、１６ 円形パイプ、１６ａ 長穴、１６ｂ 差込口、１６ｃ テーパ部、１６ｄ 周端面、１８ ノズルチップ、１８ａ 吸着部、１８ｂ 挿入部、１８ｃ フランジ部、１８ｄ 吸着面、１８ｅ 通気孔、１８ｆ フランジ面、１８ｇ バリ、２０ スリーブ、２２ 円筒部、２４ 円盤部、２６ ピン、３０ ノズルホルダ、３２ ノズル軸、３２ａ Ｊ字溝、３２ａａ 止め溝部分、３２ｂ ばね受け部、３３ ピン、３４ チューブ、３４ａ 長穴、３５ リング、３６ インナースプリング、３８ 可動部材、３８ａ フランジ、４０ アウタースプリング、５０ 部品実装機、５１ 基板、５２ 基台、５４ 基板搬送装置、５６ 支持板、５８ コンベアベルト、６０ ヘッドユニット、６２ Ｘ軸スライダ、６４ ガイドレール、６６ Ｙ軸スライダ、６８ ガイドレール、７０ ヘッド、７２ パーツカメラ、７４ ノズルストッカー、８０ 部品供給装置、８２ フィーダ、８４ リール、８６ コントローラ、９０ 金型、９２ 内部空間、９２ａ 注入口、１１８ ノズルチップ、１１８ａ 吸着部、１１８ｂ 挿入部、１１８ｃ フランジ部、１１８ｆ フランジ面。

Claims (3)

1. 軸方向に沿った通気孔を有するノズルチップが円形パイプの差込口に差し込まれて固定された部品実装用ノズルであって、
   前記ノズルチップは、セラミックを焼結したまま機械加工を行っていないアズファイアード部材であり、前記円形パイプの前記差込口に差し込まれ端面にバリを有する挿入部と、部品吸着面を有する吸着部と、前記挿入部と前記吸着部との間に設けられたフランジ部とを備え、
   前記フランジ部は、前記挿入部側のフランジ面で前記円形パイプの差込口の周端面に接触し、前記挿入部の外周面から前記フランジ面の外周縁までの長さが前記挿入部の肉厚以下である、
   部品実装用ノズル。
2. 前記挿入部の外周面から前記フランジ面の外周縁までの長さが０．２ｍｍ以上である、
   請求項１に記載の部品実装用ノズル。
3. 前記吸着部の肉厚は前記挿入部の肉厚よりも薄い、
   請求項１又は２に記載の部品実装用ノズル。

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