JP6039353B2

JP6039353B2 - 吸着ノズル組み立て体

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Publication number: JP6039353B2
Application number: JP2012227112A
Authority: JP
Inventors: 田中　隆; 隆田中; 康之廣政
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2012-10-12
Filing date: 2012-10-12
Publication date: 2016-12-07
Anticipated expiration: 2032-10-12
Also published as: JP2014082229A

Description

本発明は、半導体素子、チップコンデンサやチップ抵抗器などのチップ状の電子部品を回路基板に実装するための電子部品装着機に用いられる吸着ノズル組み立て体用部材および吸着ノズル組立体に関するものである。

従来より、半導体素子、チップコンデンサやチップ抵抗器などのチップ状の電子部品は、電子部品装着機に装着された吸着ノズルとフランジとを組み合わせた吸着ノズル組み立て体の先端の吸着面に吸引孔の負圧を利用した吸引によって吸着された後、そのまま搬送されて回路基板の所定の位置へ実装される。

このような吸着ノズル組み立て体について、例えば、特許文献１には、微小部品を吸着する先端部に、耐摩耗性の優れた材料が各種溶接法を用いて接合されている微小部品吸着用ノズルが記載されている。

特開2003−326488号公報

しかしながら、特許文献１に記載の微小部品吸着用ノズルでは、チップ上の電子部品の形状に合わせて吸引孔の形状を真円以外の形状にした場合、吸着ノズルとフランジ部とを組み合わせる際に、フランジ部に対して吸引孔の向きを誤って取り付けてしまう可能性があった。

本発明は、上記課題を解決するために案出されたものであり、フランジ部に対して吸着ノズルの吸引孔の向きを正しくかつ容易に組み合わせることができる吸着ノズル組み立て体用部材および吸着ノズル組み立て体を提供することを目的とするものである。

本発明の吸着ノズル組み立て体は、先端に吸着物を吸着する吸着面を備えた筒状の吸着ノズルと、該吸着ノズルの後端を固定するとともに、該吸着ノズルの後端部を内包するフランジ部と、を備え、該フランジ部の前記吸着ノズルの挿入部において、前記吸着ノズルまたは前記フランジ部の一方が、吸着ノズルの挿入方向と直行する方向で、他方に向けて突出する突出部を有しているとともに、前記吸着ノズルまたは前記フランジ部の他方が前記突出部と対応する受け部を有し、前記突出部が前記受け部おいて接着剤により固定されていることを特徴とするものである。

本発明の吸着ノズル組み立て体は、フランジ部の吸着ノズルの挿入部において、吸着ノズルまたはフランジ部の一方が、吸着ノズルの挿入方向と直行する方向で、他方に向けて突出する突出部を有しているとともに、吸着ノズルまたはフランジ部の他方が突出部と対応する受け部を有することによって、フランジ部と吸着ノズルとの組み立て時において、フランジ部に対して吸着ノズルの吸引孔の向きを正しくかつ容易に組み合わせることができる。

また、本発明の吸着ノズル組み立て体は、上記のフランジ部と吸着ノズルとを組み立ててなることから、フランジ部に対して吸着ノズルの吸引孔の向きが正しく組み合わされた吸着ノズルとすることができる。

本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成の一例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成のその他の例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成のさらに他の例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の縦断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成のさらに他の例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の縦断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。本実施形態の真空吸着ノズル組み立て体を装着した電子部品装着機を用いた、チップ状の電子部品を回路基板に実装する電子部品装着装置の構成を示す概略図である。本実施形態の真空吸着ノズル組み立て体の真空吸着ノズルの先端とフランジ部の後端との間の抵抗値を測定する方法を示す正面図である。

以下、本発明の実施の形態の例を説明する。

図１は、本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成の一例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。

図１に示す吸着ノズル組み立て体10は、吸着ノズル組み立て体用部材であるフランジ部６と吸着ノズル１とを組み立てて構成されている。以下の説明においては、特に断りのない限り、これらの吸着ノズル組み立て体用部材を組み立ててなる吸着ノズル組み立て体を用いて説明する。

吸着ノズル１は、内部に吸引孔３を有する筒状であって、先端の端面側を吸引孔の負圧を利用した吸引によって電子部品（図示せず）を吸着して保持するための吸着面２とされている。また、吸着ノズル１と組み立てられるフランジ部６は、吸着ノズル１の後端４を固定する固定部７と、吸着ノズル１の吸引孔３と連結する吸引孔８とを備え、吸着ノズル１の後端部を内包する構成とされている。なお、吸着ノズル１の後端部はその外面が隙間11を有してフランジ部６に内包されている。そして、このフランジ部６を介して吸着ノズル１を電子部品装着機（図示せず）に取り付けられるようにしてある。

なお、吸着ノズル１の後端４をフランジ部６の固定部７に固定する方法としては、吸着ノズル１の後端４をフランジ部６の固定部７に押し込んで嵌入させる方法のほか、吸着ノズル１の後端４とフランジ部６の固定部７とにある程度のクリアランスを設けて接着剤を用いて固定する方法を例示できる。その際、吸着ノズル１の外面とフランジ部６の内壁部との隙間11に接着剤が漏れても問題はない。

そして、本実施形態の吸着ノズル組み立て体１は、フランジ部６の吸着ノズル１の挿入部において、吸着ノズル１またはフランジ部６の一方が他方に向けて突出する突出部５を有しているとともに、吸着ノズル１またはフランジ部６の他方が突出部５と対応する受け部９を有することが重要である。

なお、図１の例では、吸着ノズル１がフランジ部６に向けて突出する突出部５を有しているとともに、フランジ部６が突出部５と対応する受け部９を有する構成となっており、受け部９はフランジ部６の一部が窪んだ形状（切り欠いた形状でもよい）となっている。また、吸引孔３の吸着面２側から見た形状は楕円となっている。

このような構成とすれば、フランジ部６と吸着ノズル１とを組み立てて吸着ノズル組み立て体10とするにあたり、吸着ノズル１の吸引孔３の向きを正しくかつ容易に組み合わせることができる。

また、本実施形態の吸着ノズル組み立て体用部材は、フランジ部６の受け部９が、吸着ノズル１の突出部５と嵌合する形状とすることができる。

フランジ部６の受け部９が、吸着ノズル１の突出部５と嵌合する形状であれば、これらを組み立てて吸着ノズル組み立て体10とした場合に、吸着ノズル１が揺動することを抑制できることから、この吸着ノズル組み立て体を用いて電子部品吸着をすると、電子部品の吸引ズレを抑制でき、信頼性をさらに向上することができる。

なお、フランジ部６の受け部９と吸着ノズル１の突出部５との嵌合度合いは、吸着ノズル１の円周方向において、回転しない程度ならば多少の隙間が一部に空いていても構わない。

なお、吸着ノズル１の突出部５の吸引方向に対する垂直断面の形状は多角形状でも丸みを帯びた形状でも良く、例えば、吸着ノズル１の突出部５とフランジ部６の受け部９とが対応するように、フランジ部６に対して吸着ノズル１の吸引孔の方向を容易に決めることができるような形状であればよい。

また、吸着ノズル１の突出部５は、吸着ノズル１の側壁部に複数個備え、そして、それと同数の受け部９をフランジ部６に備えて、複数個の突出部５が複数個の受け部９に挿入された構成としてもよい。

また、対象となる製品を効率よく吸着するにあたり、吸着面２は円形状であること（言い換えれば吸着ノズル１が円筒状であること）が好ましい。特に、吸着面２の径は0.7ｍ
ｍ以下とするのが好ましい。それにより、長辺が１ｍｍ以下の矩形状の電子部品を吸着して高密度に実装される回路基板に実装するときに、吸着ノズル１の吸着面２や先端部が、先に実装してある電子部品や周囲に実装してある部品に接触して欠けるという問題を抑制できる。吸着面２の径が0.7ｍｍを超えると、長辺が１ｍｍ以下の矩形状の電子部品を吸
着して高密度に実装される回路基板に実装しようとすると、吸着ノズル１の吸着面２や先端部が実装箇所の周囲にある部品と接触して破損しやすくなる傾向がある。例えば、電子部品が0603タイプ（寸法が0.6ｍｍ×0.3ｍｍ）のチップ部品の場合には、回路基板に実装された部品の間隔が約0.1ｍｍとなる箇所もあるために、電子部品が吸着面２に吸着され
たときに僅かにずれただけでも、実装時に吸着ノズル１の吸着面２や先端部が、実装箇所の周囲にある部品に接触し破損する危険がある。

なお、吸着面２の形状は真円や楕円等の円形状であることが好ましいが、吸着物の形状や電子部品を実装する場所の形状に合わせて矩形，多角形など任意の形状を選択できる。
また、吸着面２が円形状でない場合は、吸着面２の外辺寸法の最大となる部分が0.7ｍｍ
以下となるようにすればよい。

図２は、本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成のその他の例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。

図２に示す吸着ノズル組み立て体20は、フランジ部206が吸着ノズル201に向けて突出する突出部205を有しているとともに、吸着ノズル201が突出部205と対応する受け部209を有する構成である。なお、図２（ｃ）から明らかなように、吸着ノズル201の一部が窪み部
を有し、該窪み部が受け部209とされている。

このような構成においては、フランジ部206の突出部205と吸着ノズル201の受け部209とが対応する。それにより、図１の形状と同じように、フランジ部206と吸着ノズル201とを組み立てて吸着ノズル組み立て体20とするにあたり、吸着ノズル201の吸引孔３の向きを
正しくかつ容易に装着することができる。

図３は、本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成のさらに他の例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の縦断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。

図３に示す吸着ノズル組み立て体30は、吸着ノズル301がフランジ部306に向けて突出する突出部305を有しているとともに、フランジ部306が突出部305と対応する受け部である
切り欠き部309を有し、切り欠き部309は突出部305と対応する部分は外部に貫通しており
、突出部305を切り欠き部309に挿入した際に、突出部305の一端がフランジ部306の外周よりも突出しているように構成されている。なお、図１と構成が同一の部分の説明は削除してある。

図４は、本実施形態の吸着ノズル組み立て体の構成のさらに他の例を示す、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’線の縦断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ−Ｂ’線の断面図である。

図４に示す吸着ノズル組み立て体40は、吸着ノズル401がフランジ部406に向けて突出する突出部405を有しているとともに、フランジ部406の突出部405と対応する受け部である
切り欠き部409を有し、切り欠き部409は突出部405と対応する部分は外部に貫通しており
、突出部405の一端がフランジ部406の外周よりも内側に位置するように構成されている。なお、図１と構成が同一の部分の説明は削除してある。

吸着ノズル組み立て体を図３および図４の様な構成とすれば、吸着ノズル組み立て体30，40の外観を観察した際に、フランジ部６の切り欠き部309，409から吸着ノズル１の突出部305,405を視認できるので、吸着ノズル１とフランジ部６が色調の異なる材質で構成す
ると視認性を生じる。それにより、この部分を基準として視認することで、吸着ノズル組み立て体30，40を電子部品装着機16から着脱する作業のときの作業効率をさらに向上することができる。

特に図３の様な構成とすれば、フランジ部306の外周に対し、吸着ノズル301の突出部305の一端が突出しているので、光源を照らした時に、フランジ部306の外周よりも突出した箇所に影が生じやすくなる。それにより、この部分を基準として視認することで、電子部品装着機16との着脱作業のときや、電子部品装着機16から吸着ノズル組み立て体30を取り外して洗浄作業をするときの作業効率を向上することができる。

また図４の様な構成とすれば、フランジ部406の外周に対し、吸着ノズル401の突出部405の一端が内側に位置するので、光源を照らした時に、突出部405の一端が内側に位置している箇所に影が生じやすくなる。それにより、この部分を基準として視認することで、電子部品装着機16との着脱作業のときや、電子部品装着機16から吸着ノズル組み立て体40を取り外して洗浄作業をするときの作業性が良好なものとすることができる。

そして、本実施形態の吸着ノズル組み立て体は、突出部が切り欠き部において固定されていない構成とすることができる。

このような構成とすれば、例えば、電子部品15を吸着し搬送する作業を行なう際に、吸着ノズル組み立て体30，40が微小な衝撃を繰り返し受けたとしても、突出部305，405と切り欠き部309，409とにおいて、直接衝撃を与えあうことが抑制でき突出部305，405や切り欠き部309，409が破損することがない。それにより、長期間にわたって吸着ノズル組み立て体30，40を使用することができる。さらには突出部305，405が揺動することができることから、突出部305、405に生じる応力を容易に分散でき、吸着ノズル301、401とフランジ部306，406との固定を強固にすることができる。

また、フランジ部306，406および吸着ノズル301，401を構成する材質がステンレス、アルミニウム合金などの金属部材やアルミナやジルコニアなどのセラミックス部材とする場合には、突出部305，405と切り欠き部309，409の間の隙間を可撓性部材により固定した構成とすることもできる。この可撓性部材とは、ジビニルベンゼン，ビスフェノールＦ，ポリグリシジルエーテル，ビニルシクロヘキシンジオキシド，ジシクロペンタジエンオキシド，エポキシ樹脂，ウレタン，シリコン，アクリルなどを含有する接着剤とすることができる。

このように、突出部305，405と切り欠き部309，409との間の隙間を可撓性部材（接着剤）で固定することによって、可撓性部材が緩衝剤として作用することから、さらに衝撃に耐えうることができる。特に、ジビニルベンゼンを含有する接着剤を用いれば弾力性に富み、200℃程度でも塑性変形しないものであるから、高温の環境下でも吸着ノズル組み立
て体30，40を使用することができる。

さらに、上記の構成において、可撓性部材が導電性を有するとともに、吸着ノズルが導電性を有することが好ましい。

このような構成とすれば、吸着ノズル301，401とフランジ部306，406とを電気的に接続することができるので、吸着ノズル301，401が帯電しても、帯電した静電気は吸着ノズル301，401からフランジ部306，406を経由して速やかにアース（除電）させることができる。

そして、吸着ノズル301，401が静電気を帯電することを抑制できるので、静電気によって塵埃等が吸着ノズル301，401に付着して電子部品が汚染するという問題を防止できる。

可撓性部材が導電性を有するためには、上記の可撓性部材にＡｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｃ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｐｂ，Ｓｎ，Ｚｎの単一もしくは複合物からなるものを混合して用いればよく、これらの物質をメッキ等により複数使用したものであってもよい。特に、硬度が低く延性のあるＡｕやＡｌを用いることが好ましい。

また、吸着ノズルが導電性を有するにあたり、例えば導電性付与材を含むセラミックスとすることができる。例えば、アルミナは絶縁性のセラミックスであるが、安価で耐摩耗
性が優れているという特長があり、炭化チタンや窒化チタンなどの導電性付与材を添加すれば、耐摩耗性に優れ、適度な導電性も有する吸着ノズル301，401とすることができる。同様に、ジルコニアは強度の高い材料であり、酸化鉄，酸化チタン，酸化亜鉛などの導電性付与材を添加すれば、吸着ノズルが細い筒状でも折れにくくなり、適度な導電性も有する吸着ノズル301，401とすることができる。また、炭化珪素は、炭素を添加することで抵抗値を調整した吸着ノズル301，401を作製することができる。また、吸着面２が多数の電子部品を着脱する過程で磨耗が進行して吸着面２の形状精度が低下し、吸着力が低下したり電子部品の位置ずれが生じたりすることを抑制することができる。

ここで、導電性付与材を含むセラミックスとは、材料の内部に発生した電荷をアースするための導電性（除電性）と、外部からの電気の流入を防止するための絶縁性とを両立させる性質を持ち合わせたものであり、具体的には10^３Ω以上10¹¹Ω以下の抵抗値を有するものをいう。

図６は本実施形態の吸着ノズル組み立て体30，40の吸着ノズル301，401の先端とフランジ部306，406の後端との間の抵抗値を測定する方法を示す正面図であり、吸着ノズル301
，401の先端となる吸着面２に一方の電極60を接触させ、フランジ部306，406の後端の端
面に他方の電極60を接触させた状態を示している。そして、これら電極60・60には電気抵抗測定器（図示せず）が接続されており、吸着ノズル組み立て体30，40の先端側と後端側の電極60・60間に任意の電圧を加えて吸着ノズル組み立て体30，40の先端と後端との間の抵抗値を測定すればよい。測定に際して加える電圧は吸着ノズル301，401の形状や材質などに合わせて設定すればよく、おおよそ10〜50Ｖの範囲であれば問題はない。

さらに、本実施形態における吸着ノズルに用いる導電性付与材を含むセラミックスは黒色系セラミックスであることが好ましい。

図５は、本実施形態の吸着ノズル組み立て体を装着した電子部品装着機を用いた、チップ状の電子部品を回路基板に実装する電子部品装着装置の構成を示す概略図である。

以下の説明では、図１に示す吸着ノズル組み立て体10を用いた例で説明する。
なお、図２〜４の吸着ノズル組み立て体20，30，40についても同様の製造方法で製作できるためここでの説明は割愛する。

図５に示す電子部品装着装置50は、電子部品装着機16に具備された吸着ノズル組み立て体10と、電子部品15を並べたトレイ20と、吸着ノズル組み立て体10に吸着された電子部品15に向けて光を照射するライト17と、電子部品15からの反射光を受光するためのＣＣＤカメラ18と、ＣＣＤカメラ18で受光した反射光を画像処理するための画像解析装置19とで構成されている。

この吸着ノズル１を黒色系セラミックスにより作製すると、吸着ノズル１で吸着した電子部品15をライト17で照射してＣＣＤカメラ18で撮影したときに、電子部品15はライト17の反射光で鮮明に写るが、電子部品15の背景は吸着ノズル１が黒色系セラミックスであるために暗い状態となり、電子部品15の輪郭が明瞭になる。そのため、画像解析装置19は吸着ノズル１に吸着された電子部品15の形状を正確に認識できるので、回路基板（図示しない）に電子部品15を実装する際の位置精度が高くなるという利点がある。

黒色系セラミックスとしては、黒色系の導電性付与材を添加したジルコニア，アルミナおよび炭化珪素などがある。また、茶色系や青色系など他の色調を有するセラミックスでも、濃い色調とすることにより黒色系セラミックスと同様の効果を得ることができる。

例えば、アルミナセラミックスに添加する黒色系あるいは茶色系や青色系であっても濃い色調として用いることができる導電性付与材としては、酸化鉄，酸化ニッケル，炭化チタン，窒化チタンなどが挙げられ、中でも酸化鉄，炭化チタンが黒色系セラミックスを得られる導電性付与材として好ましい。ジルコニアセラミックスに添加する黒色系あるいは茶色系や青色系であっても濃い色調として用いることができる導電性付与材としては、酸化鉄，酸化チタン，酸化コバルト，酸化クロム，酸化ニッケルなどが挙げられ、中でも酸化鉄が黒色系セラミックスを得られる導電性付与材として好ましい。炭化珪素セラミックスは、炭素を含有させて導電性を付与したものが黒色系セラミックスとして好ましい。

さらに、本実施形態における吸着ノズル１に用いるセラミックスは、安定化剤を含むジルコニアとすることもできる。

吸着ノズル１に用いるセラミックスとして安定化剤を含むジルコニアを用いることが好ましいのは、セラミックスとしての機械的強度が高いためである。特に、先端部の径が細い形状の吸着ノズル１の場合には、吸着面２に吸着した電子部品15を基板に実装したときに隣接する部品と吸着ノズル１の先端とが接することによって先端部が破損しやすいので、セラミックスとして強度の高いジルコニアを使用することが好適である。

このときのジルコニアに含有する安定化剤としてはイットリア，セリア，マグネシアなどを用いればよく、これら安定化剤を２〜８モル％程度含んでいれば実用上で強度的に十分なジルコニアとなる。また、ジルコニアの平均結晶粒子径は３μｍ以下のものが好ましい。平均結晶粒子径を３μｍ以下とすることで、吸着ノズル１の作製や補修の際に吸着面２に対して研削加工や鏡面加工をするときに、結晶粒子が脱落しにくくなることから吸着面２に欠けが生じにくくなる。

そして、この吸着ノズル１で電子部品15を吸着すると、ライト17が吸着ノズル１に吸着された電子部品15に向けて光を照射し、ＣＣＤカメラ18で反射光を受光するときに、電子部品15の色合いに対して吸着ノズル１の色合いを濃色系に変えたものを選択できるので、画像解析装置19が吸着ノズル１と電子部品15とを区別しやすい色合いのものとすることができ、認識エラーや誤動作を低減させることができる。

一般的に、電子部品15は色合いが白色系，銀色系あるいは灰色系のものが多く、そのために吸着ノズル１の色合いとしては黒色系などの濃色系の色合いが求められることが多い。このような黒色系の色合いの吸着ノズル１を得るためには、例えば、ジルコニアが65質量％に酸化鉄を30質量％，酸化コバルトを３質量％，酸化クロムを２質量％の組成としたものが好適である。また、電子部品15が銀色系のときは、吸着ノズル１の色合いは濃い黒色系を用いるのが好ましいが、これは、酸化鉄を25質量％以上とすることによって得ることができる。

また、本実施形態の吸着ノズル組み立て体10は、フランジ部６は、吸着ノズル１よりも電気抵抗が同等または小さい金属またはセラミックスからなることが好ましい。

フランジ部６が吸着ノズル１よりも電気抵抗が小さいと、吸着ノズル１が帯電しても帯電した静電気は着ノズル１からフランジ部６を経由し速やかにアース（除電）させることができるために、吸着ノズル１が帯電して塵埃等が付着して電子部品が汚染したり、吸着ノズル１が吸着する電子部品15を吹き飛ばしたり、吸着ノズル１から静電気が急速に放電して吸着する電子部品15や周囲の部品が放電破壊するのをより確実に防止することができる。

また、本実施形態の吸着ノズル組み立て体10は、フランジ部６が吸着ノズル１よりも明
るい色であることが好ましい。

吸着ノズル組み立て体10のフランジ部６が吸着ノズル１よりも明るい色であるときには、吸着ノズル１とフランジ部６とを組み合わせるとき、吸着ノズル１とフランジ部６との接着部の視認性が向上して装着作業の正確さが向上する。また、吸着ノズル組み立て体10に組み立てた後も全体が単色ではないことから作業者の視認性がよく、電子部品装着機16との着脱作業のときや、電子部品装着機16から吸着ノズル組み立て体10を取り外して洗浄作業をするときの作業性が良好なものとすることができる。

このようにフランジ部６を吸着ノズル１よりも明るい色としたとき、電子部品15を吸着した状態をＣＣＤカメラで撮影したときに吸着ノズル１からの反射光で電子部品15が認識しにくくなることを抑制することができるとともに、フランジ部６の反射光はＣＣＤカメラの画像で十分に認識することができるので電子部品装着機16で吸着された電子部品15の位置確認が容易となる。

また、本実施形態の吸着ノズル組み立て体10は、吸着ノズル１の突出部５の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）が0.06μｍ以上0.5μｍ以下であることが好ましい。

このような構成とすれば、吸着ノズル１の突出部５と、フランジ部６の受け部９との間に可撓性部材（接着剤）を設ける場合、突出部５とフランジ部６の受け部９とが、アンカー効果により強固に接着される。

なお、吸着ノズル１の突出部５の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）の測定は、吸着ノズル１と同じ作製方法で長さが５ｍｍ以上のサンプルを作製し、一般的に使用される表面粗さ測定器を用いて、測定長が4.8ｍｍ、カットオフ値が0.8ｍｍ、触針径が５μｍの測定条件で測定した結果を採用すればよい。

次に、本実施形態の吸着ノズル組み立て体10に用いる吸着ノズル組み立て体用部材であるセラミックス製の吸着ノズル１およびフランジ部６の製造方法を説明する。なお図２〜４の吸着ノズル組み立て体20，30，40に用いるセラミックス製の吸着ノズル201，301，401およびフランジ部206，306，406についても同様の製造方法で製作できるためここでの説明は割愛する。

本実施形態における吸着ノズル１およびフランジ部６を構成するセラミックスとして、安定化剤を含むジルコニアを用いる場合には、導電性付与材としては、酸化鉄，酸化コバルト，酸化クロム，酸化ニッケルおよび酸化亜鉛の少なくとも１種か、または炭化チタンや窒化チタンを含むものを用いることができる。なお、フランジ部６の電気抵抗を吸着ノズル１の電気抵抗より小さくするためには、フランジ部に用いる導電性付与材の量を吸着ノズルに用いる導電性付与剤の量より多くすればよい。

例えば、安定化剤としてイットリアを含むジルコニアを65質量％に対して酸化鉄を35質量％の割合で混合し、この原料をボールミルに投入して所定の粒度まで粉砕してスラリーを作製し、スプレードライヤーを用いて噴霧乾燥して顆粒を形成する。

なお、成形体を得る方法としては、複雑形状の成形体を作製することが可能であり、量産効率が高いインジェクション成形を用いればよい。

そして、得られた顆粒と熱可塑性樹脂とをニーダに投入して加熱しながら混練して得られた坏土をペレタイザーに投入すれば、インジェクション成形用の原料となるペレットを得ることができる。なお、ニーダに投入する熱可塑性樹脂としては、エチレン酢酸ビニル
共重合体やポリスチレンやアクリル系樹脂などをセラミックスの質量に対して10〜25質量％程度添加すればよく、ニーダを用いて混練中の加熱温度は140〜180℃に設定すればよい。また、混練の条件はセラミックスの種類や粒度、および熱可塑性樹脂の種類に応じて適宜設定すればよい。

そして、得られたペレットを図１に示す吸着ノズル１およびフランジ部６の形状となるように加工した金型を用いたインジェクション成形機に投入して射出成形すれば、吸着ノズル１およびフランジ部６となる吸引口３の向きを正しくかつ容易に組み立てることができる突出部５と受け部９とを有する吸着ノズル組み立て体用部材の成形体が得られる。なお、このとき、得られた成形体には通常は射出成形したときの余分な原料が冷えて固まったランナが付随しているので、脱脂する前に切断しておく。また、突出部５と受け部９とは、予めそれぞれの形状が対応するように金型を加工するのではなく、成形体を切削加工して形成してもよい。

ここで、ジルコニアの焼成条件としては、導電性付与材が酸化鉄，酸化コバルト，酸化クロムおよび酸化ニッケルの少なくとも１種の場合には、大気雰囲気中での焼成で最高温度を1280〜1500℃の範囲として、最高温度での保持時間を１〜５時間とすればよい。また、導電性付与材が炭化チタンの場合には、最高温度を1400〜1800℃の範囲として、最高温度での保持時間を１〜５時間とし、真空雰囲気中またはアルゴンなどの不活性ガス雰囲気中で焼成すればよい。また、導電性付与材が窒化チタンの場合には、これら真空雰囲気中または不活性雰囲気中に加えて、窒素ガス雰囲気中で焼成してもよい。これにより、セラミックス製の吸着ノズル１およびフランジ部６に適度な導電性を付与することができる。

なお、吸着ノズル１およびフランジ部６の材質が金属であれば、鋳造で作製し、必要に応じて突出部５および受け部９等を研削加工すればよい。

また、吸着ノズル１の後端４とフランジ部６の固定部７との接着は、導電性付与材を付与した導電性接着剤を用いるのが好ましい。この場合には、絶縁性接着剤に導電性フィラーを混合し攪拌して導電性接着剤を予め準備してから接着する方法がある。具体的には、ジビニルベンゼン，ビスフェノールＦ，ポリグリシジルエーテル，ビニルシクロヘキシンジオキシド，ジシクロペンタジエンオキシド，エポキシ樹脂，ウレタン，シリコン，アクリルなどを含有する絶縁性接着剤に、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｃ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｐｂ，Ｓｎ，Ｚｎの単一もしくは複合物からなるもフィラーを混合して用いればよい。

この様にしてできた、吸着ノズル組み立て体用部材となる吸着ノズル１とフランジ部６とを、接着剤（必要に応じて導電性接着剤）とを用いて、吸着ノズル１の突部５とフランジ部６の受け部９とを組み立て、接着剤を用いて接着することによって吸着ノズル組み立て体を得ることができる。

１，201，301．401：吸着ノズル
２：吸着面
３：吸引孔
４：後端
５，205，305，405：凸部
６，206，306，406：フランジ部
７：固定部
８：吸引孔
９，209：受け部
309，409：切り欠き部
10，20，30，40：吸着ノズル組み立て体
11：隙間
15：電子部品
16：電子部品装着機
17：ライト
18：ＣＣＤカメラ
19：画像解析装置
50：電子部品装着装置
60：電極

Claims

先端に吸着物を吸着する吸着面を備えた筒状の吸着ノズルと、該吸着ノズルの後端を固定するとともに、該吸着ノズルの後端部を内包するフランジ部と、を備え、該フランジ部の前記吸着ノズルの挿入部において、前記吸着ノズルまたは前記フランジ部の一方が、前記吸着ノズルの挿入方向と直行する方向で、他方に向けて突出する突出部を有しているとともに、前記吸着ノズルまたは前記フランジ部の他方が前記突出部と対応する受け部を有し、前記突出部が前記受け部おいて接着剤により固定されていることを特徴とする吸着ノズル組み立て体。
前記吸着ノズルが前記フランジ部に向けて突出する突出部を有し、前記フランジ部が前記受け部である切り欠き部を有するとともに、前記突出部が前記切り欠き部に挿入されていることを特徴とする請求項１に記載の吸着ノズル組み立て体。
前記吸着ノズルがセラミックスからなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の吸着ノズル組み立て体。
前記吸着ノズルと前記突出部とが一体であることを特徴とする請求項３に記載の吸着ノズル組み立て体。
前記接着剤および前記吸着ノズルが導電性を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の吸着ノズル組み立て体。