JP2006202994A - 部品搭載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品を基板に搭載する際の当該基板に対する部品の押圧力を略一定にする。
【解決手段】部品搭載装置であって、そのヘッド部に備わる吸着ノズル３は、Ｚ軸方向に延在し、その下端部で空気の吸引により電子部品を吸着する円筒状のインナー部３１と、内側にインナー部３１がＺ軸方向に移動自在に配置されるとともに、当該インナー部３１を介して吸引される空気の流路を構成するインナー部配置部３２１がＺ軸方向に貫通して形成されたアウター部３２と、インナー部配置部３２１の下側開口から突出するインナー部３１の外周面に当接して下側開口側をシールするブッシュ３３とを備え、インナー部３１及びインナー部配置部３２１には、互いに引き合うように内側磁石３１ａ及び外側磁石３２１ａが配設され、インナー部配置部３２１の内面にインナー部３１の外面を非接触の状態で当該インナー部３１が支持されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、部品を基板に搭載する部品搭載装置に関する。

従来より、ＩＣ、抵抗、コンデンサ等の電子部品をプリント基板又は液晶ディスプレイパネル基板等に自動的に搭載する部品搭載装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
部品搭載装置は、そのヘッド部に電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを備えており、この吸着ノズルは、スプリングにより下方に向かって付勢された状態で上下に摺動自在に吸着ノズルホルダに保持されている。
特開平２−１７４２９９号公報

ところで、上記特許文献１等の場合には、吸着ノズルにより吸着された電子部品を基板に搭載する際に、スプリングの縮み量に応じて吸着ノズルの先端部にかかる力が変動してしまうといった問題がある。即ち、基板に、例えばそり等が生じていると、基板の電子部品が搭載される部分の高さがほぼ一定とならない場合がある。このため、吸着ノズルにより保持された電子部品を基板の所定位置に押し付けて搭載する場合に、スプリングの縮み量が変動してしまい、吸着ノズルの先端部にかかる力、つまり、基板に対する電子部品の押圧力にバラツキが生じることとなる。

そこで、本発明の課題は、部品を基板に搭載する際の当該基板に対する部品の押圧力を略一定にすることができる部品搭載装置を提供することである。

上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、
基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルをヘッド部に備える部品搭載装置であって、
前記吸着ノズルは、
上下方向に延在し、その下端部で空気の吸引により前記部品を吸着する筒状のインナー部と、内側に前記インナー部が上下方向に移動自在に配置されるとともに、当該インナー部を介して吸引される空気の流路を構成するインナー部配置部が上下方向に貫通して形成されたアウター部と、前記インナー部配置部の下側開口から突出する前記インナー部の外周面に当接して前記下側開口側を密封する封止部と、を備え、
前記インナー部及び前記インナー部配置部には、互いに引き合うように磁石がそれぞれ配設され、前記インナー部配置部の内面に前記インナー部の外面を非接触の状態で当該インナー部が支持されていることを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、吸着ノズルを構成するインナー部及び当該インナー部が内側に配置されるインナー部配置部には、互いに引き合うように磁石がそれぞれ配設され、インナー部配置部の内面にインナー部の外面を非接触の状態で当該インナー部が支持されている。これにより、部品を基板に搭載する際に、インナー部の下端部に吸着保持された部品が基板の所定位置に当接されて押圧されると、インナー部は上方向に押し込まれるが、インナー部の磁石とインナー部配設部の磁石との間に作用する略一定の引き合う力により、インナー部の押し込み量に関わりなく、当該インナー部は一定の負荷でインナー部配置部に引き寄せられることとなる。従って、部品を基板に搭載する際の当該基板に対する部品の押圧力を略一定にすることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の部品搭載装置において、
前記吸着ノズルは、上方向に移動する前記インナー部が前記インナー部配置部の上側開口からの脱落を防止する脱落防止部を備えることを特徴としている。

請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、吸着ノズルには、上方向に移動するインナー部がインナー部配置部の上側開口からの脱落を防止する脱落防止部が備えられているので、例えば、インナー部配置部の内面にインナー部の外面を非接触の状態で支持されるインナー部の上方向に対する移動量が大きくなった場合であっても、脱落防止部によりインナー部の脱落を適正に防止することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の部品搭載装置において、
前記アウター部には、前記インナー部配置部に備わる前記磁石に対向してコイルが配設され、
前記コイルに対する通電を制御する通電制御部を備えることを特徴としている。

請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、アウター部には、インナー部配置部に備わる磁石に対向してコイルが配設され、このコイルに対する通電が通電制御部により制御されるので、コイルに発生される磁界の大きさを変動させてインナー部配置部に配設される磁石の磁力の大きさを変動させることができる。これにより、インナー部配置部の磁石とインナー部の磁石との間に作用する引き合う力を変動させることができることとなって、部品を基板に搭載する際の当該基板に対する部品の押圧力の調整を適正に行うことができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の部品搭載装置において、
前記アウター部及び前記インナー部の各々には、互いに反発させるように反発用磁石が配設されていることを特徴としている。

請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３に記載の発明と同様の効果が得られるのは無論のこと、特に、アウター部及びインナー部の各々には、互いに反発させるように反発用磁石が配設されているので、インナー部の下端部に吸着保持された部品を基板の所定位置に当接させて押圧する際の押圧力を大きくすることができる。

請求項１に記載の発明によれば、部品を基板に搭載する際に、インナー部の磁石とインナー部配設部の磁石との間に作用する略一定の引き合う力により、部品が基板に当接して押し込まれることにより生ずるインナー部の押し込み量に関わりなく、当該インナー部を一定の負荷でインナー部配置部に引き寄せることができる。従って、部品を基板に搭載する際の当該基板に対する部品の押圧力を略一定にすることができる。

請求項２に記載の発明によれば、インナー部配置部の内面にインナー部の外面を非接触の状態で支持されるインナー部の上方向に対する移動量が大きくなった場合であっても、脱落防止部によりインナー部の脱落を適正に防止することができる。

請求項３に記載の発明によれば、コイルに発生される磁界の大きさを変動させてインナー部配置部に配設される磁石の磁力の大きさを変動させることができるので、インナー部配置部の磁石とインナー部の磁石との間に作用する引き合う力を変動させることができることとなって、部品を基板に搭載する際の当該基板に対する部品の押圧力の調整を適正に行うことができる。

請求項４に記載の発明によれば、インナー部の下端部に吸着保持された部品を基板の所定位置に当接させて押圧する際の押圧力を大きくすることができる。

以下に、本発明について、図面を用いて具体的な態様を説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。

［実施形態１］
図１は、本発明を適用した実施形態１の部品搭載装置１００の概略的な斜視図であり、図２は、部品搭載装置１００の制御系を示すブロック図である。
図１及び図２に示すように、部品搭載装置１００は、基板Ｋに搭載される電子部品Ｐ（図５参照）を供給する複数の電子部品フィーダー１１（図１には一つのみ図示）と、各電子部品フィーダー１１を並べて保持するフィーダーバンク１と、基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載作業を行う搭載作業部２と、着脱自在の複数（図１には４つ図示）の吸着ノズル３、…を保持して電子部品Ｐの搭載を行うヘッド部４と、ヘッド部４を所定範囲内の任意の位置に駆動するＸ−Ｙガントリ５と、吸着ノズル３に保持された電子部品Ｐの撮像を行う撮像装置６と、上記各部の動作制御を行う制御部７等を備えている。
なお、以下の説明において、水平面に沿って互いに直交する一の方向をＸ軸方向とし、他の方向をＹ軸方向とし、垂直上下方向をＺ軸方向と称することとする。

Ｘ−Ｙガントリ５は、Ｘ軸方向にヘッド部４の移動を案内するＸ軸ガイドレール５１と、このＸ軸ガイドレール５１と共にヘッド部４をＹ軸方向に案内する二本のＹ軸ガイドレール５２、５２と、Ｘ軸方向に対するヘッド部４の駆動手段であるＸ軸モータ５３と、Ｘ軸ガイドレール５１を介してヘッド部４をＹ軸方向に駆動するＹ軸モータ５４とを備えている。また、Ｘ−Ｙガントリ５は、ヘッド部４を二本のＹ軸ガイドレール５２、５２の間となる領域の略全体に搬送可能に構成されている。
なお、フィーダーバンク１からの電子部品Ｐの受け渡し部、搭載作業部２による基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載作業領域は何れもＸ−Ｙガントリ５によるヘッド部４の搬送可能領域内に配置されている。

ヘッド部４は、その先端部で空気吸引により電子部品Ｐを保持する吸着ノズル３と、この吸着ノズル３を保持するノズルホルダ４１（図３参照）と、ノズルホルダ４１に保持された吸着ノズル３をＺ軸方向に駆動する駆動手段の駆動源であるＺ軸モータ４２と、吸着ノズル３を介して保持された電子部品ＰをＺ軸方向を中心として回転駆動させる回転手段の駆動源であるθ軸モータ４３とが設けられている。
また、吸着ノズル３は、開閉制御が行われる吸気バルブ（図示略）を介して真空発生器８と接続されており、所定のタイミングで吸気バルブが開かれることによりその先端部が吸引状態とされて、電子部品Ｐの吸着保持を行うことができるようになっている。

ここで、吸着ノズル３について、図３〜図５を参照して詳細に説明する。
なお、図３は、吸着ノズル３を示す断面図であり、図４は、吸着ノズル３に備わるインナー部３１及びインナー部配置部３２１に設けられた内側磁石３１ａ及び外側磁石３２１ａの配置を説明するための図である。また、図５は、吸着ノズル３による電子部品Ｐの基板Ｋに対する搭載を説明するための図である。

図３に示すように、ノズルホルダ４１は、吸着ノズル３を着脱自在に保持するためのものであり、例えば、吸着ノズル３を保持するノズル保持部４１１と、下端がノズル保持部４１１の上端部に接続され、且つ、上端がヘッド部４に備わる空気を吸引するための中空のシャフト（図示略）の下端部に接続されるシャフト接続部４１２と、ノズル保持部４１１のアウターホルダ４１１ｃ（後述）を下方向に付勢するスプリング４１３と、シャフト接続部４１２に固定され、スプリング４１３のアウターホルダ４１１ｃ側と反対側の端部を固定するためのＥリング４１４とを備えている。

ノズル保持部４１１は、例えば、吸着ノズル３が取り付けられるインナーホルダ４１１ａと、インナーホルダ４１１ａに設けられ、当該インナーホルダ４１１ａに取り付けられる吸着ノズル３を固定するためのボール４１１ｂと、インナーホルダ４１１ａを覆い、且つ、当該インナーホルダ４１１ａに対して上下動自在に配設されるとともに、ボール４１１ｂを内側に押し込むためのアウターホルダ４１１ｃとを備えている。
ノズル保持部４１１に対する吸着ノズル３の取付固定は、例えば、アウターホルダ４１１ｃの下方向に対する移動に基づいてボール４１１ｂが内側に押し込まれ、当該ボール４１１ｂがノズル保持部４１１内に配された吸着ノズル３の外周面部に設けられたボール係止部３ａに係止されることにより行われる。また、アウターホルダ４１１ｃの上方向に対する移動に基づいてボール４１１ｂの押し込みが解除されることにより、ノズル保持部４１１による吸着ノズル３の固定が解除されるようになっている。
このようにして、吸着ノズル３のノズルホルダ４１に対する着脱が行われる。

また、ノズルホルダ４１は、そのシャフト接続部４１２を上下方向に貫通するように吸着ノズル３を介して吸引される空気の流路が形成されている。

吸着ノズル３は、例えば、下端部で空気の吸引により電子部品Ｐを吸着する上下方向に長尺な円筒状のインナー部３１と、インナー部３１を介して吸引される空気の流路を構成するインナー部配置部３２１を有するアウター部３２とを備え、インナー部配置部３２１とシャフト接続部４１２の流路とを連通させるようにアウター部３２の上端面をノズル保持部４１１の内面に密接させて取り付けられている。
インナー部配置部３２１は、アウター部３２を上下方向に貫通して形成され、内側にインナー部３１が上下方向に移動自在に配置されている。また、インナー部配置部３２１の長手方向の所定位置には、磁極が所定の配置で並ぶように外側磁石３２１ａが配設されている。具体的には、例えば、図４に示すように、インナー部配置部３２１には、所定幅を有する円形状となるように、大きさが略等しい円弧状の４つの外側磁石３２１ａ、…がＮ極とＳ極とを交互に位置するようにして配設されている。
また、インナー部３１には、外側磁石３２１ａの内側に配置されるように、当該外側磁石３２１ａの磁極と引き合うような磁極の配置で内側磁石３１ａが配設されている。即ち、図４に示すように、外側磁石３２１ａのＮ極に内側磁石３１ａのＳ極が対向するように、また、外側磁石３２１ａのＳ極に内側磁石３１ａのＮ極が対向するようにして、外側磁石３２１ａと内側磁石３１ａとが互いに引き合うような配置となっている。
これにより、インナー部配置部３２１内に、その内面にインナー部３１の外面を非接触の状態で当該インナー部３１が支持された状態となる。

このように、吸着ノズル３は、インナー部３１とインナー部配置部３２１とにより磁気ばねが構成されており、この磁気ばねによって、基板Ｋに電子部品Ｐを搭載する際に当該電子部品Ｐの基板Ｋに対する押圧力を略一定とすることができる。
即ち、吸着ノズル３により電子部品Ｐを吸着して基板Ｋに搭載する場合、例えば、図５に示すように、インナー部３１の下端部に吸着保持された電子部品Ｐが基板Ｋの所定の部品搭載位置に当接されて押圧されると、インナー部３１は上方向に押し込まれる。ここで、インナー部３１の内側磁石３１ａとインナー部配置部３２１の外側磁石３２１ａとの間には、略一定の引き合う力が働いているため、インナー部３１の上方向に対する移動量、即ち、インナー部３１の押し込み量に関わりなく、当該インナー部３１は一定の負荷でインナー部配置部３２１に引き寄せられることとなる。このようにして、基板Ｋに対する電子部品Ｐの押圧力が略一定とされるようになっている。

アウター部３２の上端部には、例えば、電子部品Ｐの吸着に際して上方向に移動するインナー部３１の移動距離を規制して、インナー部配置部３２１の上側開口からの脱落を防止するためのストッパ（脱落防止部）３４が設けられている。より具体的には、ストッパ３４は、インナー部配置部３２１の径を狭めるように当該インナー部配置部３２１の内面から中央側に突設されている。これにより、インナー部３１の上方向に対する移動量が大きくなっても、インナー部３１の上端部はストッパ３４の下面に当接することとなって、インナー部３１の上方向に対する移動が規制されることとなる。
また、アウター部３２の上下の各端部には、インナー部配置部３２１内に配置され当該インナー部配置部３２１の下側開口から突出するインナー部３１の外周面に当接して下側開口側のシール（密封）及びインナー部３１のラジアル方向の位置を規制するためのブッシュ（封止部）３３が設けられている。

搭載作業部２は、装置外部から搬入される基板Ｋの搬送装置２１の搬送経路の途中に設けられている。
搬送装置２１は、例えば、その搬送経路（Ｘ軸方向）に沿って装置全幅に亘って配設される搬送レール２１１と、この搬送レール２１１に沿って装置の一端部から搬入される基板Ｋを当該搭載作業部２に搬送したり、所定の電子部品Ｐが搭載済みの基板Ｋを搭載作業部２から装置外部に搬出するためのベルトコンベア（図示略）等を備えている。

撮像装置６は、例えば、ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラ等から構成され、電子部品Ｐの撮像に基づいて光電変換して画像データを生成し、当該画像データをＣＰＵ７１に対して出力する。

制御部７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）７１と、ＲＡＭ（Random Access Memory）７２と、ＲＯＭ（Read Only Memory）７３等を備えて構成されている。

ＣＰＵ７１は、当該部品搭載装置１００を構成する各部を統括して制御するものであり、ＲＯＭ７３に格納されている所定のプログラムを読み出してＲＡＭ７２の作業領域に展開し、当該プログラムに従って各種処理を実行する。
また、ＣＰＵ７１は、撮像装置６から出力され入力された画像データに基づいて、所定の画像処理プログラムを実行して、吸着ノズル３に吸着された電子部品Ｐの姿勢等を認識するようになっている。

ＲＡＭ７２は、例えば、揮発性の半導体メモリであり、ＣＰＵ７１の制御下にてＲＯＭ７３から読み出されたプログラムやデータ等の格納領域や作業領域等を構成している。
ＲＯＭ７３は、制御、判断等各種処理用の各種プログラムが記憶され、ＣＰＵ７１の制御下にて実行される各種のプログラム並びに各プログラムの処理に係るデータ等を記憶するものである。

次に、基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載動作について説明する。
先ず、吸着ノズル３による電子部品Ｐの吸着保持を行う。具体的には、制御部７の制御下にて、Ｘ−Ｙガントリ５のＸ軸モータ５３及びＹ軸モータ５４が駆動してヘッド部４を所定の電子部品フィーダー１１上に移動させ、続けて、Ｚ軸モータ４２の駆動により所定の吸着ノズル３を下方向（Ｚ軸方向）に移動させて、真空発生器８の駆動により当該吸着ノズル３にて所定の電子部品Ｐを吸着保持する。

次に、吸着ノズル３に保持された電子部品Ｐを撮像装置６により撮像し、当該撮像により生成された画像データに基づいて、ＣＰＵ７１により所定の画像処理を行って電子部品Ｐの姿勢等の認識を行う。なお、認識の結果によっては、制御部７の制御下にてθ軸モータ４３を駆動させて、吸着ノズル３に吸着された電子部品ＰをＺ軸周りに所定方向に回転させて当該電子部品Ｐの中心合わせ（センタリング）を行う。
その後、制御部７の制御下にて、電子部品Ｐを保持する吸着ノズル３を基板Ｋ上の所定の部品搭載位置に移動させて、当該基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載を行う。

基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載は、先ず、制御部７の制御下にてＺ軸モータ４２を制御して電子部品Ｐを保持する吸着ノズル３を下方向に移動させる。ここで、吸着ノズル３の下方向に対する移動量は、例えば、電子部品Ｐを基板Ｋの搭載面の高さに対して０．１ｍｍ程度押し込む程度に設定されている。
そして、電子部品Ｐが基板Ｋの搭載面に当接して、当該搭載面よりさらに押し込まれるように押圧されると、電子部品Ｐを吸着保持するインナー部３１は上方向に押し込まれる。このとき、インナー部３１の内側磁石３１ａとインナー部配置部３２１の外側磁石３２１ａとの間に作用する引き合う力によって、インナー部３１の押し込み量に関わりなく、当該インナー部３１は一定の負荷でインナー部配置部３２１に引き寄せられて、基板Ｋに対して略一定の力で電子部品Ｐが押圧されることとなる。

その後、制御部７は、真空発生器８や吸気バルブを制御することにより吸着ノズル３による電子部品Ｐの吸着保持を解除する。
続けて、制御部７は、基板Ｋに対する電子部品Ｐの搭載動作を順次制御する。

以上のように、実施形態１の部品搭載装置１００によれば、インナー部３１の内側磁石３１ａとインナー部配設部３２１の外側磁石３２１ａとによって、いわゆる磁気ばねが構成され、当該内側磁石３１ａと外側磁石３２１ａとの間に作用する略一定の引き合う力によりインナー部３１は一定の負荷でインナー部配置部３２１側に引き寄せられることとなる。従って、電子部品Ｐを基板Ｋに搭載する際の当該基板Ｋに対する電子部品Ｐの押圧力を略一定にすることができる。

また、吸着ノズル３にはストッパ３４が備えられているので、例えば、インナー部３１の上方向に対する移動量が大きくなった場合であっても、ストッパ３４によりインナー部３１の脱落を適正に防止することができる。

［実施形態２］
以下に、本発明を適用した実施形態２の部品搭載装置２００について図６及び図７を参照して説明する。
ここで、図６は、実施形態２の部品搭載装置２００の制御系を示すブロック図である。また、図７は、部品搭載装置２００に備わる吸着ノズル２０３の断面を模式的に示した図である。

図６及び図７に示すように、実施形態２の部品搭載装置２００は、吸着ノズル２０３に、インナー部配置部３２１に備わる外側磁石３２１ａに対向させてコイル９が配設され、このコイル９に対する通電を制御部（通電制御部）２０７により制御することにより、コイル９に磁界を発生させて外側磁石３２１ａの磁力を変動させるようになっている。
なお、実施形態２の部品搭載装置１００は、吸着ノズル２０３及び制御部２０７の構成以外の点では上記実施形態１と略同様であるので、同様の構成には同一の符号を付してその説明を省略する。

コイル９は、制御部２０７と電気的に接続されている。即ち、ノズルホルダ４１のノズル保持部４１１の下端面には、制御部２０７と接続された所定数の接続端子４１５が設けられ、一方、吸着ノズル２０３のアウター部３２には、コイル９に接続されるとともに、接続端子４１５が挿入される端子用孔部３５が設けられている。そして、接続端子４１５を端子用孔部３５に挿入するようにしてノズルホルダ４１に吸着ノズル２０３が取付固定されることにより、コイル９と制御部２０７とが電気的に接続されるようになっている。

一方、ＣＰＵ７１は、ＲＯＭ７３から読み出された所定の制御プログラムの実行に基づいて、コイル９に対して通電される電流値を変動（制御）することにより、コイル９に発生される磁界の大きさを変動させてインナー部配置部３２１の外側磁石３２１ａの磁力を変動させるようになっている。

従って、実施形態２の部品搭載装置２００によれば、インナー部配置部３２１の外側磁石３２１ａとインナー部３１の内側磁石３１ａとの間に作用する引き合う力を変動させることができることとなって、電子部品Ｐを基板Ｋに搭載する際の当該基板Ｋに対する電子部品Ｐの押圧力の調整を適正に行うことができる。

［実施形態３］
以下に、本発明を適用した実施形態３の部品搭載装置に備わる吸着ノズル３０３について図８を参照して説明する。
ここで、図８は、実施形態３の部品搭載装置に備わる吸着ノズル３０３の断面図である。

図８に示すように、吸着ノズル３０３は、インナー部３１の上端にインナー部側反発用磁石３６が配設され、アウター部３２のストッパ３４の下側にインナー部側反発用磁石３６に反発するような極性を有するアウター部側反発用磁石３７が配設されている。
なお、実施形態３に係る吸着ノズル３０３は、インナー部側反発用磁石３６及びアウター部側反発用磁石３７を備える構成以外の点では上記実施形態１と略同様であるので、同様の構成には同一の符号を付してその説明を省略する。

インナー部側反発用磁石３６は、その下面がアウター部３２の上側のブッシュ３３の上面に当接自在となっており、これにより、インナー部３１の下方に対する脱落を防止することができるようになっている。なお、通常の状態では、インナー部側反発用磁石３６とアウター部側反発用磁石３７との反発力により、インナー部３１が下方に押し下げられてインナー部側反発用磁石３６が上側のブッシュ３３に当接した状態となっている。

従って、インナー部３１の下端部に吸着保持された電子部品Ｐを基板Ｋの所定位置に当接させて押圧する際に、インナー部側反発用磁石３６とアウター部側反発用磁石３７との反発力によって、磁気ばねによる引き合う力に基づく電子部品Ｐの基板Ｋに対する押圧力以上の力で押圧することができる。

また、インナー部側反発用磁石３６とアウター部側反発用磁石３７の磁力やサイズ等を変更することにより、電子部品Ｐの押圧力の調整を行うことができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、上記実施形態では、ノズルホルダ４１に対して着脱自在の吸着ノズル３を例示したが、これに限られるものではなく、例えば、ノズルホルダ４１に着脱不可となるように取付固定されたものであっても良い。
また、上記実施形態では、ブッシュ３３をアウター部３２の上下の各端部に設けるようにしたが、これに限られるものではなく、少なくともインナー部配置部３２１の下側開口側がシールされるようにブッシュ３３が設けられていれば良い。

本発明を適用した実施形態１の部品搭載装置を示す斜視図である。 図１の部品搭載装置の制御系を示すブロック図である。 図１の部品搭載装置に備わる吸着ノズルを示す断面図である。 図３の吸着ノズルに備わるインナー部及びインナー部配置部に設けられた磁石の配置を説明するための図である。 図３の吸着ノズルによる電子部品の基板に対する搭載を説明するための図である。 本発明を適用した実施形態２の部品搭載装置の制御系を示すブロック図である。 図６の部品搭載装置に備わる吸着ノズルの断面を模式的に示した図である。 本発明を適用した実施形態３の部品搭載装置に備わる吸着ノズルの断面図である。

符号の説明

１００、２００ 部品搭載装置
３、２０３、３０３ 吸着ノズル
３１ インナー部
３１ａ 内側磁石
３２ アウター部
３２１ インナー部配置部
３２１ａ 外側磁石
３３ ブッシュ（封止部）
３４ ストッパ（脱落防止部）
３６ インナー部側反発用磁石
３７ アウター部側反発用磁石
４ ヘッド部
７ 制御部（通電制御部）
９ コイル
Ｋ 基板
Ｐ 電子部品

Claims (4)

1. 基板に搭載される部品を吸着保持する吸着ノズルをヘッド部に備える部品搭載装置であって、
   前記吸着ノズルは、
   上下方向に延在し、その下端部で空気の吸引により前記部品を吸着する筒状のインナー部と、内側に前記インナー部が上下方向に移動自在に配置されるとともに、当該インナー部を介して吸引される空気の流路を構成するインナー部配置部が上下方向に貫通して形成されたアウター部と、前記インナー部配置部の下側開口から突出する前記インナー部の外周面に当接して前記下側開口側を密封する封止部と、を備え、
   前記インナー部及び前記インナー部配置部には、互いに引き合うように磁石がそれぞれ配設され、前記インナー部配置部の内面に前記インナー部の外面を非接触の状態で当該インナー部が支持されていることを特徴とする部品搭載装置。
2. 前記吸着ノズルは、上方向に移動する前記インナー部が前記インナー部配置部の上側開口からの脱落を防止する脱落防止部を備えることを特徴とする請求項１に記載の部品搭載装置。
3. 前記アウター部には、前記インナー部配置部に備わる前記磁石に対向してコイルが配設され、
   前記コイルに対する通電を制御する通電制御部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の部品搭載装置。
4. 前記アウター部及び前記インナー部の各々には、互いに反発させるように反発用磁石が配設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の部品搭載装置。

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