JP5264113B2 - 光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法 - Google Patents

光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5264113B2
JP5264113B2 JP2007184759A JP2007184759A JP5264113B2 JP 5264113 B2 JP5264113 B2 JP 5264113B2 JP 2007184759 A JP2007184759 A JP 2007184759A JP 2007184759 A JP2007184759 A JP 2007184759A JP 5264113 B2 JP5264113 B2 JP 5264113B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
photocurable resin
weight
range
molded body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007184759A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009019174A (ja
JP2009019174A5 (ja
Inventor
宏 横山
裕二 田中
一行 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei E Materials Corp
Original Assignee
Asahi Kasei E Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei E Materials Corp filed Critical Asahi Kasei E Materials Corp
Priority to JP2007184759A priority Critical patent/JP5264113B2/ja
Publication of JP2009019174A publication Critical patent/JP2009019174A/ja
Publication of JP2009019174A5 publication Critical patent/JP2009019174A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5264113B2 publication Critical patent/JP5264113B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Description

本発明は、光ナノインプリント技術を応用したロールプロセスによって、微細で高精度且つ、高強度な凸凹構造を表面に有し、基材への付着性にも優れ、平坦で大面積の成型体を生産性良く製造するのに適し、光反応後のモールドからの離型性にも優れた、新規な光硬化性樹脂組成物及び、該光硬化性樹脂組成物を用いて成型された成型体及び、該成型体の製造に適した製造方法に関する。
近年、微細なパターン形成を低コストで行うためのナノインプリント技術が、特許文献1、特許文献2及び、非特許文献1などに開示されている。ナノインプリント技術のなかでも、基板上に液状の光硬化性樹脂を塗布した後、モールドを樹脂に押し付け、光を照射することで樹脂を硬化させパターンを形成する光ナノインプリント技術は、比較的低温でパターン形成できるため熱膨張による寸法変化が生じにくく、高精度のパターン形成が可能であり注目を集めている(非特許文献1の186〜196頁参照)。ここでは光ナノインプリントに使用できる光硬化性樹脂として、TSR−820(帝人製機製)や、PAK01(東洋合成製)が紹介されている。また特許文献3には、骨格内にベンゼン環構造を含む(メタ)アクリレートと、反応性希釈剤と、光重合開始剤を含む新規な光硬化性樹脂組成物が開示されている。
光ナノインプリント技術の応用の中でも、光硬化性樹脂の成型体そのものを光学部材用途、例えば表示装置用の導光板、拡散板、無反射フィルムや偏光フィルムなどに応用する場合には、成型されるパターンが高精度であることは勿論、成型された微細パターンが、後加工に耐え得る強度を持つ必要があり、また平坦で大面積の成型体を生産性良く製造する技術が必要である。非特許文献1の74〜93頁には、ロールプロセスにより生産性の向上を狙った技術が開示されている。しかしながら既存の光硬化性樹脂には前記の諸条件を全て満足するものは無く、改善が望まれていた。
米国特許5,259,926号公報 米国特許5,772,905号公報 特開2007−84625号公報 (株)フロンティア出版発行 平井義彦編「ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開」
本発明は、光ナノインプリント技術を応用したロールプロセスによって、微細で高精度且つ、高強度な凸凹構造を表面に有し、基材への付着性にも優れ、平坦で大面積の成型体を生産性良く製造するのに適し、光反応後のモールドからの離型性に優れた、新規な光硬化性樹脂組成物及び、該光硬化性樹脂組成物を用いて成型された成型体及び、該成型体の製造に適した製造方法に関する。
本発明者らは、前記課題を解決するため鋭意研究した結果、前記の条件を全て満足する、新規な光硬化性樹脂組成物及び、該光硬化性樹脂組成物を用いて成型された成型体及び、該成型体の製造に適した製造方法を見出し、本発明をなすに至った。 すなわち、本発明は以下のとおりのものである。
(1)(a)1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上の単量体を、20〜60重量%の範囲で含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物であって、(b)光硬化反応によって結合して固形となる成分が98重量%以上であり、(c)25℃における粘度が10mPa・s以下であることを特徴とする、光硬化性樹脂組成物、
(2)N−ビニル化合物である単量体を、5〜40重量%の範囲で含有することを特徴とする、(1)に記載の光硬化性樹脂組成物、
(3)アクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%の範囲で含有することを特徴とする、(1)または(2)に記載の光硬化性樹脂組成物、
)光硬化性樹脂組成物を光硬化することで形成された膜状の成型体であって、表面に規則的に形成された微細な凸凹構造を有し、凸凹構造は、深さが0.01〜20μmの範囲であり、少なくとも1方向のピッチが0.01〜20μmの範囲である、該成型体の厚み方向について0.5MPa以上の耐圧縮性能を有することを特徴とする成型体、
)成型体を構成する樹脂が(a)1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上のユニットを、20〜60重量%の範囲で含有することを特徴とする、()に記載の成型体。
)成型体を構成する樹脂がN−ビニル化合物であるユニットを、5〜40重量%の範囲で含有することを特徴とする、()に記載の成型体。
)成型体を構成する樹脂がアクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%の範囲で含有することを特徴とする、()または()に記載の成型体。
)プラスチックフィルム上に形成され、JIS K−5600−5−6に準拠した碁盤目剥離試験で、分類1以上の基材付着性を示すことを特徴とする、()〜()に記載の成型体、
)()〜()に記載の成型体を製造する方法であって、該成型体の表面構造の反転形状である、凹凸構造を有するモールドに、(a)1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上の単量体を、20〜60重量%の範囲で含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物であって、(b)光硬化反応によって結合して固形となる成分が98重量%以上であり、(c)25℃における粘度が10mPa・s以下である光硬化性樹脂組成物を流し込み、光硬化させ、該モールドの温度を25〜100℃の範囲に保つことを特徴とする、成型体の製造方法、
)前記光硬化性樹脂組成物が、N−ビニル化合物である単量体を、5〜40重量%の範囲で含有することを特徴とする、()に記載の成型体の製造方法、
)前記光硬化性樹脂組成物が、アクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%の範囲で含有することを特徴とする、()または()に記載の成型体の製造方法。
本発明は、光ナノインプリント技術を応用したロールプロセスによって、微細で高精度且つ、高強度な凸凹構造を表面に有し、基材への付着性にも優れ、平坦で大面積の成型体を製造するのに適し、光反応後のモールドからの離型性に優れた、新規な光硬化性樹脂組成物及び、該光硬化性樹脂組成物を用いて成型された成型体及び、該成型体の製造に適した製造方法を提供する。
以下、本発明をより詳細に説明する。本発明の光硬化性樹脂組成物は、(a)1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上の単量体(以下、3官能以上のアクリレート及び/またはメタクリレートと称す)を、20〜60重量%の範囲で含有すること、(b)光硬化反応によって結合して固形となる成分が98重量%以上であること、(c)25℃における粘度が10mPa・s以下であることを同時に満たすものである。(a)の単量体としては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、プロポキシ化グリセルトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリアクリレート、トリスアクリロイルオキシエチルフォスフェート、3官能以上のポリエステルアクリレートオリゴマー、3官能以上のウレタンアクリレートオリゴマー、3官能以上のエポキシアクリレートオリゴマー、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリメタアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、プロポキシ化グリセルトリメタアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラメタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタアクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリメタアクリレート、トリスメタアクリロイルオキシエチルフォスフェート、3官能以上のポリエステルメタアクリレートオリゴマー、3官能以上のウレタンメタアクリレートオリゴマー、3官能以上のエポキシメタアクリレートオリゴマー等の1種以上が挙げられるが、これらに限定されない。ここで、エトキシ化及びプロポキシ化された単量体というのは、単量体1分子当たり、1当量〜20当量の範囲の、1種以上のエトキシ基及び/またはプロポキシ基が含まれる単量体を指す。
これらの単量体の中でも、トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリメタアクリレートは諸物性のバランスが良いので好ましい。中でもトリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレートを用いた光硬化性樹脂組成物は、光反応後のモールドからの離型性が優れるため、特に好ましい。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、上記のような、1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上の単量体を、20〜60重量%の範囲で含有する。含有量を20重量%以上とすることで、十分な強度の成型体が得られるうえ、高架橋密度となり、成型体からブリードアウトしてしまうような、低重合度オリゴマーの副生及びブリードアウトを最低限に抑えることができる。また、含有率を60重量%以下とすることで、本発明の光硬化性樹脂組成物の25℃における粘度を10mPa・s以下とする条件を満たしつつ、組成を設計することが容易になるうえ、成型体の硬化収縮によるそり変形を最低限に抑えることが出来る。より好ましくは25〜50重量%の範囲であり、さらに好ましくは30〜40重量%の範囲である。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、平坦で大面積の成型体を精度良く製造する目的から、光硬化反応によって結合して固形となる成分が98重量%以上である。光硬化反応によって結合して固体となる成分とは、分子内に1つ以上のアクリル基、メタクリル基、ビニル基、エポキシ基、オキセタン基などの反応性基を有する成分である。他の希釈溶剤など、反応性基を有さない成分は、成型プロセスにおいて揮発したり、ブリードアウトしたりして成型不良となる場合があるので、2重量%以下がよい。光硬化反応によって結合して固体となる成分は、後加工での品質への影響を考慮すると99重量%以上であることがより好ましく、99.5重量%以上であることがさらに好ましい。
また、本発明の光硬化性樹脂組成物は、大面積ロールプロセスに適した加工性を実現する目的で、25℃における粘度が10mPa・s以下であることが好ましい。従来光ナノインプリント技術に使用される樹脂、特に希釈溶剤をほとんど含有しないような樹脂では、25℃における粘度が10mPa・sより高いのものが選択されてきた。これは、25℃における粘度が10mPa・s以下の、従来の光硬化性樹脂の硬化物は、一般にモールドとの密着性が高いうえ、成型体の強度が弱いために、微細な凸凹構造のモールドを使用した場合、光反応後のモールドからの剥離時に成型体が破壊され、モールド側に硬化物の一部が付着して残る問題があったためである。また、ロールプロセス以前の、平板モールドを使用する光ナノインプリント技術においては、光硬化性樹脂の液膜が重力や表面張力、静電気力などによって飛散したり、厚みむらを生じたりしない程度の、25℃における粘度が70mPa・s程度の光硬化性樹脂が多用されており、同じ理由からロールプロセスにおいても25℃における粘度が70mPa・s程度の光硬化性樹脂が選択されてきたものと推測される。
本発明者らは鋭意検討した結果、驚くべきことに特定の単量体を、特定の含有量で配合した光硬化性樹脂組成物は、25℃における粘度が10mPa・s以下であるにも係らず、光反応後のモールドからの離型性が優れているうえ、成型体の強度も高く、剥離したモールド側に硬化物の一部を付着し残す問題が無いので、微細且つ高精度の凸凹構造を成型し得ることを見出した。また、意外なことにロールプロセスにおいては、光硬化性樹脂組成物の25℃における粘度が10mPa・s以下であることによって、より平坦で、より大面積の成型体を、より高ラインスピードで製造でき、好ましいことを見出した。本発明の光硬化性樹脂組成物の、25℃における粘度は、9mPa・s以下であることがより好ましく、8.5mPa・s以下であることがさらに好ましく、8mPa・s以下であることが特に好ましい。一方、25℃における粘度の実質的な下限としては、2mPa・s以上である。
また、本発明の光硬化性樹脂組成物においては、N−ビニル化合物である単量体を、5〜40重量%の範囲で含有することが好ましい。ここで特に好ましく用いられる、N−ビニル化合物である単量体としては、N−ビニルホルムアミド、N−ビニルアセトアミド、N−ビニルピロリドン、及びN−ビニルカプロラムタムの少なくとも1種以上が挙げられる。これらのN−ビニル化合物類を配合することにより、成型体の基材への付着性を向上できる一方で、光反応後のモールドからの離型性も良好であるので好ましい。これらの単量体の含有量は上記効果を発揮するには5重量%以上であることが好ましく、また40重量%以下であることによって、成型体からブリードアウトしてしまうような、低重合度オリゴマーの副生を最低限に抑えることができ、また成型体の過度の吸湿も抑制でき成型体の耐湿特性が向上するので好ましい。これらの単量体の含有量は15〜38重量%の範囲であることがより好ましく、25〜35重量%の範囲であることがさらに好ましい。
さらに、本発明の光硬化性樹脂組成物においては、アクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%の範囲で含有することが好ましい。ここであげた化合物の一例としては、ポリジメチルシロキサン骨格にアクリル基を結合させた、BYK−UV3500、BYK−UV3570(ビックケミー・ジャパン製)、ebecryl350(ダイセル・サイテック製)等の、シリコンアクリレート化合物が挙げられる。これらの化合物を配合することにより、光反応後の成型体のモールドからの離型性をさらに向上できるうえ、該化合物は成型体からのブリードアウトも少ないので、精密な凸凹構造を成型する目的に対して好ましい。これらの化合物の含有量は上記効果を発揮するには0.1重量%以上であることが好ましく、また10重量%以下であることによって、成型体の強度低下の悪影響も少ないので好ましい。0.2〜5重量%の範囲であることがより好ましく、0.3〜2重量%の範囲であることがさらに好ましい。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、上述の単量体の他に、粘性の調整及び、硬化物の諸物性を調整する目的で別の単量体を配合することが好ましく、光重合開始剤を配合することも好ましい。
前記の単量体としては特に制限は無いが、光硬化性樹脂組成物の粘性を調整する必要から、25℃における粘度が10mPa・s以下の比較的低粘性の単量体を使用することが好ましく、また比較的少量の25℃における粘度が10mPa・sを越える単量体及びオリゴマーと組み合わせて使用することも好ましい。
使用できる単量体及びオリゴマーとしては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソアミルアクリレート、n−ラウリルアクリレート、イソミリスチルアクリレート、ステアリルアクリレート、n−ブトキシエチルアクリレート、ブトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシポリエチレングリコールアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、カプロラクトンアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、ベンジルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ジエチルアミノエチルアクリレート、ジエチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレート4級化物、アクリル酸、2−アクリロイロキシエチルコハク酸、2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−アクリロイロキシエチルフタル酸、2−アクリロイロキシエチル2−ヒドロキシエチルフタル酸、ネオペンチルグリコールアクリル酸安息香酸エステル、2−アクリロイロキシエチル2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリシジルアクリレート、2−アクリロイロキシエチルアシッドホスフェート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、PEG#200ジアクリレート、PEG#400ジアクリレート、PEG#600ジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、3−メチル1,5−ペンタンジオールジアクリレート、2−ブチルー2−エチル1,3−プロパンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,9−ノナンジオールジアクリレート、1,10−デカンジオールジアクリレート、グリセリンジアクリレート、2−ヒドロキシー3−アクリロイロキシプロピルアクリレート、ビスフェノールAのEO付加物ジアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、テトラフルオロペンチルアクリレート、オクタフルオロペンチルアクリレート、パーフロロオクチルエチルアクリレート、ノニルフェノールEO付加物アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート、トリメチロールプロパンアクリル酸安息香酸エステル、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、テトラフルフリルアルコールオリゴアクリレート、エチルカルビトールオリゴアクリレート、1,4−ブタンジオールオリゴアクリレート、1,6−ヘキサンジオールオリゴアクリレート、トリメチロールプロパンオリゴアクリレート、ペンタエリスリトールオリゴアクリレート、ペンタメチルピペリジルアクリレート、テトラメチルピペリジルアクリレート、パラクミルフェノールEO変性アクリレート、N−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、イソシアヌル酸EO変性ジアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、イソデシルメタクリレート、イソアミルメタクリレート、n−ラウリルメタクリレート、イソミリスチルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、n−ブトキシエチルメタクリレート、ブトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート、トリプロピレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、カプロラクトンメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシエチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンテニルメタクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート4級化物、メタクリル酸、2−メタクリロイロキシエチルコハク酸、2−メタクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−メタクリロイロキシエチルフタル酸、2−メタクリロイロキシエチル2−ヒドロキシエチルフタル酸、ネオペンチルグリコールメタクリル酸安息香酸エステル、2−メタクリロイロキシエチル2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリシジルメタクリレート、2−メタクリロイロキシエチルアシッドホスフェート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、PEG#200ジメタクリレート、PEG#400ジメタクリレート、PEG#600ジメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、3−メチル1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、2−ブチルー2−エチル1,3−プロパンジオールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、1,9−ノナンジオールジメタクリレート、1,10−デカンジオールジメタクリレート、グリセリンジメタクリレート、2−ヒドロキシー3−アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ビスフェノールAのEO付加物ジメタクリレート、トリフロロエチルメタクリレート、テトラフルオロペンチルメタクリレート、オクタフルオロペンチルメタクリレート、パーフロロオクチルエチルメタクリレート、ノニルフェノールEO付加物メタクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジメタクリレート、トリメチロールプロパンメタクリル酸安息香酸エステル、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジメタクリレート、テトラフルフリルアルコールオリゴメタクリレート、エチルカルビトールオリゴメタクリレート、1,4−ブタンジオールオリゴメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールオリゴメタクリレート、トリメチロールプロパンオリゴメタクリレート、ペンタエリスリトールオリゴメタクリレート、ペンタメチルピペリジルメタクリレート、テトラメチルピペリジルメタクリレート、パラクミルフェノールEO変性メタクリレート、N−メタクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、イソシアヌル酸EO変性ジメタクリレート、3−エチルー3−ヒドロキシメチルオキセタン、1,4−ビス{〔(3−エチルオキセタンー3−イル)メトキシ〕メチル}ベンゼン、3−エチルー3−{〔(3−エチルオキセタンー3−イル)メトキシ〕メチル}オキセタン、3−エチルー3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3−エチルー3−(フェノキシメチル)オキセタン、3−エチルー3−(シクロヘキシロキシ)メチルオキセタン、オキセタニルシルセスキオキサン、オキセタニルシリケート、フェノールノボラックオキセタン、1,3−ビス〔(3−エチルオキセタンー3−イル)メトキシ〕ベンゼン等が挙げられるが、これらに限定されない。
また後記の、光重合開始剤としては、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、ベンゾフェノン、1−ヒドロキシーシクロヘキシルーフェニルーケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシー1−{4−〔4−(2−ヒドロキシー2−メチループロピオニル)−ベンジル〕―フェニル}−2−メチループロパン、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステル、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ジメチルアミノー2−(4−メチルーベンジル)−1−(4−モルフォリンー4−イルーフェニル)−ブタンー1−オン、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)-ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、1、2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、エタノン,1−〔9−エチルー6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾールー3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられる。特に本発明においては、高感度で、低揮発性である2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、1、2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、エタノン,1−〔9−エチルー6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾールー3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)等が好ましく用いられる。これら光重合開始剤は単独で適用することも可能であるが、2種以上を組み合わせて使用することもできる。 このほか公知の光重合促進剤および増感剤等と組み合わせて適用することもできる。本発明の光重合開始剤の配合比は重量%で0.1〜5.0%の範囲であることが好ましい。
また本発明の光硬化性樹脂組成物は、本来の目的を損なわない範囲で、必要に応じて他の従来の添加物、例えば流動調整剤、レベリング剤、有機及び無機の染料及び顔料、増量剤、可塑剤、潤滑剤、補強剤、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、ブルーイング剤、沈降防止剤、消泡剤、耐磨耗性付与剤、摩擦低減剤、帯電防止剤、防曇剤等を含むことが出来る。
また本発明の光硬化性樹脂組成物は、異物(パーティクル)が、ろ過などの手法で除去されているものが好ましい。ろ過の場合、捕捉出来る最小粒子径が1μm以下のフィルターを使用することが好ましく、0.5μm以下のものがさらに好ましい。いずれの最小粒子径でも、フィルターの捕捉効率は99.9%以上であることが好ましい。
上述した新規な光硬化性樹脂組成物を使用し、光ナノインプリント技術を応用して製造した成型体は、表面の微細な凸凹構造が高精度且つ高強度であるうえ、基材への付着性にも優れ、成型体から異物がブリードアウトする問題も無く、平坦で大面積の成型体が製造できるので、成型体そのものを光学部材用途等、例えば表示装置用の導光板、拡散板、無反射フィルムや偏光フィルムなどに好ましく利用することが出来る。また、これらの特徴を転用して、ナノインプリント技術に期待されている様々な応用、例えばマイクロ・ナノ光学要素、光学素子、表示素子、電子ペーパー、ストレージ、MEMS・PCB実装材料、微量生化学分析や微量化学合成、バイオ応用を目的とした高機能3次元マイクロ・ナノ流路、次世代電子素子、DNAチップ等にも利用することが可能である。
このような成型体は、表面に規則的に形成された微細な凸凹構造を有する膜状の成型体であって、凸凹構造は、深さが0.01〜20μmの範囲であり、少なくとも1方向のピッチが0.01〜20μmの範囲であることを特徴とする。また、該成型体の厚み方向について0.5MPa以上の耐圧縮性能を有することも特徴とする。凸凹構造の形状としては、従来公知のナノインプリント技術で成型可能な全ての構造、例えばレンズ構造、ピラー構造、ライン・アンド・スペース構造、格子構造、ピラミッド構造、ハニカム構造、ドット構造、ナノ流路等の用途を想定した任意形状、干渉露光の手法を応用した波状構造、これらの構造を重ね合わせた複合的構造等が挙げられる。これらの形状を水平方向に継ぎ合わせた構造であっても、また単層構造であっても、垂直方向に積み重ねた多層構造であってもよい。
凸凹構造の深さ方向のサイズは、加工の容易さから0.01〜20μmの範囲であり、より高度な機能発現のためには0.01〜10μmの範囲であることが好ましい。また凸凹構造の水平方向のサイズとしては、少なくとも1方向のピッチが0.01〜20μmの範囲であることにより機能が発現し、より高度な機能発現のためには0.01〜10μmの範囲であることが好ましく、0.01〜1μmの範囲であることがさらに好ましく、0.01〜0.3μmの範囲であることが最も好ましい。具体的な凸凹構造の形状及び寸法は、目的に応じて、後述の耐圧縮性能を考慮したうえで任意に選択出来る。
該成型体は、実用面及び、ロールプロセスに適した加工性の面から、厚み方向について0.5MPa以上の耐圧縮性能を有する。耐圧縮性能は、圧縮試験機を用いて、成型体の厚み方向に所定の圧力で1時間圧縮荷重を加えた前後の、微細凸凹構造の変形の有無を、電子顕微鏡等で観察することにより評価出来る。成型体の耐圧縮性能は、使用する光硬化性樹脂組成物によって調整することも、成型体の凸凹構造の選択によって調整することも可能である。一般に凸凹構造の水平方向のピッチサイズに対する、深さ方向のサイズの比率が大きい成型体を製造する場合には、高強度の成型体を与える光硬化性樹脂組成物の使用が必要になる。長さ1000m以上の、長尺のロール成型体を製造する場合や、成型体を使用する際に貼り合わせ等の後工程を必要とする場合には、0.8MPa以上の耐圧縮性能を有することがより好ましく、1MPa以上であることがさらに好ましい。耐圧縮性能の上限は、実質的に500MPaである。成型体を形成する樹脂が、1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上のユニットを20〜60重量%含有していると、厚み方向の耐圧縮性能が大きくなるので好ましい。さらにN−ビニル化合物ユニットを5〜40重量%含有する樹脂がより好ましく、アクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%含有する樹脂がさらに好ましい。
該成型体は、使用目的に応じて任意の形状及び面積のものを製造できるが、例えば光学的用途で高度な機能を発現させるには、少なくとも1辺又は短径が50μm以上の平膜状の形状が好ましく、一方上限については特に制限は無いが、後述するようにロールプロセスによって、プラスチックシート及びフィルムを基材として製造する場合、通常ロール幅として5m以下、長さとして5000m以下のものを使用することができる。
該成型体は、使用目的に応じて有機物、無機物を問わず任意の基材の上に成型することが可能であるが、例えば、ロールプロセスによって、大面積の光学部材を製造する場合には、基材としてポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ボリカーボネート樹脂、トリアセチルセルロース樹脂、ポリオレフィン樹脂、嵩高環状オレフィン樹脂等のプラスチックシート及びフィルムを用いることが好ましく、特にトリアセチルセルロース樹脂や、嵩高環状オレフィン樹脂は透明性に優れ、低複屈折率であるために好ましく使用できる。一般に、トリアセチルセルロース樹脂や、嵩高環状オレフィン樹脂は、光硬化性樹脂組成物との付着性が不良であり、成型体が剥離して微粉を発生する問題があるが、光ナノインプリントのプロセスは通常クリーンルーム内で実施されるので、成型体と基材との付着性の改善が求められていた。本発明の成型体のプラスチック基材への付着性は、JIS K−5600−5−6に準拠した碁盤目剥離試験で、分類1以上であることが好ましく、より好ましくは分類0である。
本発明の新規な光硬化性樹脂組成物を使用した成型体は、プラスチック基材に、分類1以上の付着性を有する。特に基材に予めコロナ放電処理、低波長UV光照射処理、大気圧プラズマ処理等を施した場合や、N−ビニル化合物である単量体を、15〜40重量%の範囲で含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物を使用した場合や、後述するようにモールドの温度を調整した場合には、成型体は難付着性であるトリアセチルセルロース樹脂や、嵩高環状オレフィン樹脂基材に対しても、分類1以上の優れた付着性を発現するので好ましい。
本発明の成型体を製造する方法は、光ナノインプリント技術の応用であって、該成型体の表面構造の反転形状となる、凹凸構造を有するモールドに、本発明の新規な光硬化性樹脂組成物を流し込み、光硬化させることで製造することが出来る。特に平坦で大面積の成型体を製造する場合には、ロールプロセスを採用することが好ましく、基材として、プラスチックシート及びフィルムを使用することが好ましい。光硬化性樹脂組成物をモールドに流し込む方法としては、基材に光硬化性樹脂組成物を薄膜状に塗布した後で、モールドと接触させ、モールドの凹凸構造と基材の間に充填する方法や、モールドの表面に光硬化性樹脂組成物を薄膜状に塗布した後、基材と接触させることでモールドの凹凸構造と基材の間に充填する方法が挙げられる。いずれの方法にせよ、モールドの凹凸構造内に気泡を混入させないことと、モールドと基材間に保持した樹脂組成物の、面内での厚みむらを小さくすることが肝要であるが、本発明の光硬化性樹脂組成物を使用することによって、これらの条件を高度に満足することが可能になった。ここで、該モールドの温度を25〜100℃の範囲に保つことによって、上記の条件をさらに高度に満足することが出来るので好ましい。モールドの温度が25℃以上であることによって、光硬化性樹脂組成物の流動性を一層改善すると共に、成型体と基材との付着性を向上する効果や、光反応後のモールドからの離型性を向上させる効果があるため好ましく、100℃以下であることによって、基材の熱変形を抑制する効果があるため好ましい。30〜80℃の範囲がより好ましく、35〜70℃の範囲がさらに好ましく、40〜65℃の範囲が特に好ましい。また、モールドの温度は一定に調節されていることが好ましい。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、前記の様にモールドへの流し込み性が良好なうえ、光反応後の硬化物のモールドからの離型性が優れており、モールド上に残留物が残らないこと及び、成型体が高強度で、基材への付着性にも優れており、製造工程で微粉が発生せず、長尺のロール成型体の製造にも耐えうることから、長期間連続的に製造を続けることが可能であり、工業的な価値が高い。
本発明を実施例に基づいて説明する。なお、実施例中の主な測定値は以下の方法で測定した。
(粘度の測定)
E型粘度計(東機産業製型番RE550L)を用い、試料量1.0mlで評価した。粘度の測定は全て25℃で行った。
(耐圧縮性能)
1辺3cmの正方形よりも広い面を有する成型体を5枚、同方向に積層した試料について、1辺3cmの正方形の圧縮治具を取り付けた圧縮試験機(インストロン製型番5581)を用い、室温(23℃)にて、試料の厚み方向に所定の圧縮荷重を1時間に渡って加え続けた。荷重を除去した後、成型体の表面凸凹構造の断面形状を走査型電子顕微鏡(日立製型番S4700FE−SEM)で観察し、圧縮処理の前後で変形の無いものを○、変形が認められたものを×とした。
(基材への付着力)
JIS K−5600−5−6に準拠した碁盤目剥離試験で、成型体の表面に2mmの間隔で、クロス状に25マスの切れ込みを入れ、剥離の状況から基材への付着力を評価した。
(モールドからの離型性)
基材のプラスチックフィルムに光硬化性樹脂組成物を塗布し、これに35mm×100mmの大きさのモールドを押し付けて、基材側からメタルハライドランプ(ウシオ電機製型番UVC−2519−1MNSC7−MS01)で、1J/cmの光量で光硬化させた試料について、引張試験機(エー・アンド・デイ製型番RTG−1210)を用い、室温(23℃)にて、1m/分の速度で90度剥離試験を行い、モールドからの離型性を評価した。
[実施例1]
三官能以上のアクリレート化合物である単量体としてトリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)を20重量%、その他の単量体としてヘキサメチレンジアクリレート(HDDA)を47重量%、ラウリルアクリレートを30重量%、光重合開始剤としてダロキュア1173(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製)を3重量%配合し、異物をろ過して光硬化性樹脂組成物(組成物1)を作成した。組成物1の粘度は6.8mPa・sであった。組成物1には微量の不純物は含まれるものの、99重量%以上が光硬化反応によって結合して固体となる成分からなる、光硬化性樹脂組成物であった。
組成物1をPETフィルムA4100(東洋紡績製)に、10μmの厚みで塗布し、表面に高さ240nm、幅120nm、ピッチ240nmのライン・アンド・スペース構造を有するニッケル製の、35mm×100mmの大きさの、平板状のモールドを押し付けて、該モールドの温度を25〜30℃の範囲で調節しながら、PETフィルム側から1J/cmの光量で光照射して硬化させた試料について、モールドからの離型性を評価したところ、剥離力は3.4N/mであり、モールド側に硬化物の付着残りは認められなかった。さらに、大きさが100mm×100mmの平板状のモールドを使用した以外、同様にして複数の成型体を製造し、厚み方向について0.5MPaの耐圧縮試験を実施した。走査型電子顕微鏡観察の結果、モールドの形状は正確に転写されており、圧縮前後での微細表面構造の変形は認められなかった。
また、耐圧縮試験に用いたものと同様にして製造した成型体について、碁盤目剥離試験を実施した結果、分類0(カットの縁が完全に滑らかで、どの格子の目にも剥がれがない。)と判定された。
これらの結果を表1にまとめて示した。
[実施例2]
三官能以上のアクリレート化合物である単量体としてTMPTAを32重量%、N−ビニル化合物である単量体としてN−ビニル−2−ピロリドン(NVP)を33重量%、その他の単量体として1,9ノナンジオールジアクリレートを33重量%、光重合開始剤としてダロキュアTPO(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製)を2重量%配合し、異物をろ過して光硬化性樹脂組成物(組成物2)を作成した。組成物2の粘度は7.9mPa・sであった。組成物2には微量の不純物は含まれるものの、99重量%以上が光硬化反応によって結合して固体となる成分からなる、光硬化性樹脂組成物であった。
組成物2は、一般に光硬化性樹脂組成物との付着性が不良であるといわれているトリアセチルセルロース樹脂や、嵩高環状オレフィン樹脂への接着も良好であり、プラスチックフィルム基材をトリアセチルセルロースフィルムTD80UL(富士写真フィルム製)及び、嵩高環状オレフィンフィルムARTON(JSR製)に変更した以外、実施例1と同様にして各種評価を実施した。
これらの結果を表1にまとめて示した。
[実施例3]
三官能以上のアクリレート化合物である単量体としてTMPTAを32重量%、N−ビニル化合物である単量体としてNVPを33重量%、アクリル基を含有するシリコン化合物としてシリコンジアクリレートを0.5重量%、その他の単量体として1,9ノナンジオールジアクリレートを32.5重量%、光重合開始剤としてダロキュアTPO(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製)を2重量%配合し、異物をろ過して光硬化性樹脂組成物(組成物3)を作成した。組成物3の粘度は8.0mPa・sであった。組成物3には微量の不純物は含まれるものの、99重量%以上が光硬化反応によって結合して固体となる成分からなる、光硬化性樹脂組成物であった。
組成物3についても、実施例2と同様にトリアセチルセルロースフィルム基材を用いて各種評価を実施した。組成物3は、光硬化物のモールドからの剥離力が著しく低減されており好ましい。これらの結果を表1にまとめて示した。
[実施例4]
三官能以上のアクリレート化合物である単量体としてTMPTAを20重量%、アクリル基を含有するシリコン化合物としてシリコンジアクリレートを0.5重量%、その他の単量体としてHDDAを46.5重量%、ラウリルアクリレートを30重量%、光重合開始剤としてダロキュア1173(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製)を3重量%配合し、異物をろ過して光硬化性樹脂組成物(組成物4)を作成した。組成物4の粘度は6.8mPa・sであった。組成物4には微量の不純物は含まれるものの、99重量%以上が光硬化反応によって結合して固体となる成分からなる、光硬化性樹脂組成物であった。
組成物4は、実施例1と同様にPETフィルム基材を用いて各種評価を実施した。組成物4は、光硬化物のモールドからの剥離力が著しく低減されており好ましい。これらの結果を表1にまとめて示した。
[比較例1]
三官能以上のアクリレート及びメタクリレート化合物を含有しないものの、低粘度の光硬化性樹脂組成物の例として、エトキシ化ビスフェノールAジアクリレートを30重量%、N−ビニル化合物である単量体としてNVPを68重量%、光重合開始剤としてダロキュアTPO(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製)を2重量%配合し、異物をろ過して光硬化性樹脂組成物(組成物5)を作成した。組成物5の粘度は9.1mPa・sであった。組成物5には微量の不純物は含まれるものの、99重量%以上が光硬化反応によって結合して固体となる成分からなる、光硬化性樹脂組成物であった。
組成物5について、トリアセチルセルロースフィルム基材に塗布すると、基材に浸透して変形させ、平坦性が失われるため、実施例1と同様にPETフィルム基材を用いて各種評価を実施した。組成物5の場合、モールドから離型する際、モールド側に硬化物の付着残りが広範囲に認められた。また、耐圧縮試験では走査型電子顕微鏡観察の結果、微細構造が横倒しになっているなどの変形が認められた。これらの結果を表1にまとめて示した。該成型体には、この他にも著しい吸水膨張の問題や、温水抽出での低架橋度オリゴマーのブリードアウトなどの問題があった。
[比較例2]
三官能以上のアクリレートを過剰に含有する例として、TMPTAを70重量%、N−ビニル化合物である単量体としてNVPを28重量%、光重合開始剤としてダロキュアTPO(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製)を2重量%配合し、異物をろ過して光硬化性樹脂組成物(組成物6)を作成した。組成物6の粘度は12.9mPa・sであった。組成物6には微量の不純物は含まれるものの、99重量%以上が光硬化反応によって結合して固体となる成分からなる、光硬化性樹脂組成物であった。
組成物6について、実施例2と同様にトリアセチルセルロースフィルム基材を用いて各種評価を実施した。組成物6の成型体は脆く、碁盤目剥離試験の際、微粉が多量に発生する問題があった。また硬化収縮による成型体の反りが大きく、平坦なものが得られなかった。これらの結果を表1にまとめて示した。
[比較例3]
従来の高粘度の光硬化性樹脂組成物の例として、PAK−01(東洋合成製)を使用した。この樹脂組成物の粘度は72.0mPa・sであった。
PAK−01について、実施例1と同様にPETフィルム基材を用いて各種評価を実施した。該樹脂の場合、粘度が高いので、モールドを押し付けるときの樹脂の脱泡や、均一な厚みの塗膜形成に注意を要した。また、モールドから離型する際、離型力が大きいうえモールド側に硬化物の付着残りが複数個所に認められる問題があった。これらの結果を表1にまとめて示した。
[実施例5]
前記の組成物3を用い、以下のロールプロセスによって、連続的に成型体を製造した。連続的に搬送されるトリアセチルセルロール樹脂のロールフィルムに、組成物3を連続的に塗布し、次いで表面に高さ240nm、幅120nm、ピッチ240nmのライン・アンド・スペース構造を有するニッケル製の、幅100mm、直径80mmの円筒型の、45〜55℃の範囲で温度調節された、回転するモールドに押し付けて、フィルム側から1J/cmの光量で光照射して連続的に硬化させ、連続的にモールドから剥離して、成型体をロール状に巻き取った。
成型は2時間以上安定的に実施でき、計画的に停止出来た。成型後のモールドには硬化物の付着残りは全く認められなかった。また製造された成型体の平坦性も、微細凸凹構造の転写性も良好であった。
[実施例6]
前記の組成物4を用い、基材としてPETフィルムを用いた以外、実施例5と同様のロールプロセスで、連続的に成型体を製造した。
成型は2時間以上安定的に実施でき、計画的に停止出来た。成型後のモールドには硬化物の付着残りは全く認められなかった。また、微細凸凹構造の転写性も良好であり、特に成型体の平坦性及び膜厚み均一性の調整が、実施例5よりも容易に出来た。
[比較例4]
参考として、組成物4に代えて組成物6を用いた以外、実施例6と同様のロールプロセスで、成型体の製造を試みたところ、モールド側に硬化物の付着残りが発生したため、連続的な製造は出来なかった。また、成型体の、モールド側の硬化物付着残りの影響を受ける以前の、初めて転写された部分についても厚みむらや気泡の混入が顕著に認められた。
Figure 0005264113

Claims (7)

  1. (a)1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上の単量体を、20〜60重量%の範囲で含有し、(b)光硬化反応によって結合して固形となる成分が98重量%以上であり、(c)25℃における粘度が10mPa・s以下である光硬化性樹脂組成物を光硬化することで形成された膜状の成型体であって、
    表面に規則的に形成された微細な凸凹構造を有し、凸凹構造は、深さが0.01〜20μmの範囲であり、少なくとも1方向のピッチが0.01〜20μmの範囲である、該成型体の厚み方向について0.5MPa以上の耐圧縮性能を有することを特徴とする成型体。
  2. 前記光硬化性樹脂組成物が、N−ビニル化合物である単量体を、5〜40重量%の範囲で含有することを特徴とする、請求項に記載の成型体。
  3. 前記光硬化性樹脂組成物がアクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%の範囲で含有することを特徴とする、請求項または請求項に記載の成型体。
  4. プラスチックフィルム上に形成され、JIS K−5600−5−6に準拠した碁盤目剥離試験で、分類1以上の基材付着性を示すことを特徴とする、請求項〜請求項3のいずれか1項に記載の成型体。
  5. 請求項〜請求項4のいずれか1項に記載の成型体を製造する方法であって、該成型体の表面構造の反転形状である、凹凸構造を有するモールドに、(a)1分子中に3以上のアクリル基及び/またはメタクリル基を含有する1種以上の単量体を、20〜60重量%の範囲で含有し、(b)光硬化反応によって結合して固形となる成分が98重量%以上であり、(c)25℃における粘度が10mPa・s以下である光硬化性樹脂組成物を流し込み、光硬化させ、該モールドの温度を25〜100℃の範囲に保つことを特徴とする、成型体の製造方法。
  6. 前記光硬化性樹脂組成物が、N−ビニル化合物である単量体を、5〜40重量%の範囲で含有することを特徴とする、請求項に記載の成型体の製造方法。
  7. 前記光硬化性樹脂組成物が、アクリル基及び/またはメタクリル基を含有するシリコン化合物を0.1〜10重量%の範囲で含有することを特徴とする、請求項または請求項に記載の成型体の製造方法。
JP2007184759A 2007-07-13 2007-07-13 光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法 Active JP5264113B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007184759A JP5264113B2 (ja) 2007-07-13 2007-07-13 光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007184759A JP5264113B2 (ja) 2007-07-13 2007-07-13 光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009019174A JP2009019174A (ja) 2009-01-29
JP2009019174A5 JP2009019174A5 (ja) 2010-08-26
JP5264113B2 true JP5264113B2 (ja) 2013-08-14

Family

ID=40359088

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007184759A Active JP5264113B2 (ja) 2007-07-13 2007-07-13 光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5264113B2 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5483083B2 (ja) * 2010-02-03 2014-05-07 富士フイルム株式会社 微細パターン製造方法
WO2011155365A1 (ja) 2010-06-08 2011-12-15 Dic株式会社 表面に微細な凹凸を有する成形体及びその製造方法
EP2594971A1 (en) 2010-07-15 2013-05-22 Asahi Glass Company, Limited Process for producing metamaterial, and metamaterial
KR101730577B1 (ko) 2010-08-06 2017-04-26 소켄 케미칼 앤드 엔지니어링 캄파니, 리미티드 나노 임프린트용 수지제 몰드
US20150125659A1 (en) * 2012-06-15 2015-05-07 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Laminate
JP6165493B2 (ja) * 2013-04-19 2017-07-19 株式会社Dnpファインケミカル 加飾用フィルムの製造方法、加飾成型品の製造方法、エネルギー線硬化型インクジェット組成物
KR101423618B1 (ko) * 2013-06-17 2014-07-28 주식회사 위즈켐 도광판 미세 패턴 형성용 광경화형 임프린팅 조성물 및 그 임프린팅 도광판과, 이를 포함하는 백라이트 유니트 및 디스플레이 장치
US10167546B2 (en) * 2015-04-29 2019-01-01 3M Innovative Properties Company Swellable film forming compositions and methods of nanoimprint lithography employing same
WO2018070488A1 (ja) * 2016-10-14 2018-04-19 デンカ株式会社 組成物

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101237766B1 (ko) * 2004-09-13 2013-02-28 다우 코닝 코포레이션 실리콘 주형을 사용하는 리소그래피 기술
JP2006150741A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Asahi Glass Co Ltd 転写層にパターンを形成する方法
JP2007030212A (ja) * 2005-07-22 2007-02-08 Ricoh Co Ltd プラスチック成形用スタンパの製造方法
JPWO2007018287A1 (ja) * 2005-08-11 2009-02-19 協和発酵ケミカル株式会社 樹脂組成物
JP4770354B2 (ja) * 2005-09-20 2011-09-14 日立化成工業株式会社 光硬化性樹脂組成物及びこれを用いたパターン形成方法
JP5117002B2 (ja) * 2006-07-10 2013-01-09 富士フイルム株式会社 光硬化性組成物およびそれを用いたパターン形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009019174A (ja) 2009-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5264113B2 (ja) 光硬化性樹脂組成物及び、成型体及び、成型体の製造方法
JP6038261B2 (ja) 樹脂モールド及びその製造方法
US8557890B2 (en) Coating composition and coating film having enhanced abrasion resistance and fingerprint traces removability
CN109929292B (zh) 用于可热成型硬涂层应用的uv固化丙烯酸类树脂组合物
JP4824068B2 (ja) ワイヤグリッド偏光板
JP6092200B2 (ja) インプリント用光硬化性樹脂組成物、その製造方法および構造体
WO2014050855A1 (ja) 光インプリント用硬化性組成物、パターン形成方法、微細パターンおよび半導体デバイスの製造方法
JP6227545B2 (ja) インプリント用光硬化性樹脂組成物、インプリント用モールドの製造方法およびインプリント用モールド
JP2014001299A (ja) 光学フィルム又はシート形成用活性エネルギー線硬化型組成物及び光学フィルム又はシート
JP6045871B2 (ja) 保護部材付き成形体
JP5330314B2 (ja) ワイヤグリッド偏光板の製造方法
CN109401259A (zh) 实体材料组合物及其制备方法和应用
JP6009907B2 (ja) インプリント用硬化性組成物、パターン形成方法およびパターン
TWI758597B (zh) 活性能量線硬化型樹脂組成物、硬化物及積層體
JP5888576B2 (ja) インプリント用硬化性組成物
JP2018178115A (ja) 多分岐ウレタン化合物含有重合性組成物
JP6107056B2 (ja) 光学フィルム又は光学シートを形成するための活性エネルギー線硬化型組成物
JP2018131530A (ja) 樹脂硬化物、光硬化性組成物及びそれを用いた表面保護膜
JP2014076556A (ja) 微細凹凸構造を有する物品およびその製造方法
JP6390817B2 (ja) 光学物品用活性エネルギー線硬化型樹脂組成物、硬化物及び光学シート
JP2012116108A (ja) 樹脂モールド
JP6286950B2 (ja) 硬化性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法
CN111032754A (zh) 树脂片及用于制造所述树脂片的硬化型组合物
JP6304735B2 (ja) インプリント用レジスト材およびそれを用いた微細構造の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20090401

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100709

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100709

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120207

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130219

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130408

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20130408

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130430

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130430

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5264113

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350