JP5261096B2 - シリコン回収方法、及びシリコン回収装置 - Google Patents
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Description
脱水機としてろ過面積は0.2m2のフィルタープレスを使用し、シリコン粒子を含むシリコン研削・研磨排水を循環(ろ液を原液に戻す)供給して原液自身で比較的目の細かいろ布(通気度200cc/cm2・min)のプレコートを試みたが、微細な粒子がろ布を通過してしまいプレコート膜がなかなかできず、ろ液の濁りは60分以上時間が経過してもとれなかった。
液体サイクロン13は処理量が10L/minで、液量比はトップ液が93%、ボトム液を7%とした。脱水乾燥機17はフィルタープレスを使用し、ろ過面積は1.52m2である。また、セラミックフィルター19はポアサイズ0.1μm、ろ過面積0.27m2のものを使用した。なお、処理水量は600L/hとした。
脱水乾燥機17を除いて、使用機器、装置及び使用条件は本発明の実験例1と同様とした。ここでは、脱水乾燥機17にフィルタープレスを使用し、該フィルタープレスに温水を循環することによりフィルタープレス内のシリコンを加温する加熱機構を有し、更にろ室内のシリコンを真空下におくように真空発生装置を有することで脱水と真空乾燥可能とした脱水乾燥装置を用いた。
11 原水貯留槽
12 供給ポンプ
13 液体サイクロン
14 第1濃縮液貯留槽
15 第1打ち込みポンプ
16 希薄液貯留槽
17 脱水乾燥機
18 循環ポンプ
19 セラミックフィルター
20 第2打ち込みホンプ
21 第2濃縮液貯留槽
23 打ち込みホンプ
30 脱水乾燥機
31 温水ユニット
32 温水循環ポンプ
33 背圧弁
37 真空ポンプ
38 凝縮器
54a〜d ろ枠
55a〜c ろ室
56a〜c 中空体
57 プレート
58 プレート
V1〜8 弁
Claims (13)
- シリコン粒子の粒径分布に2つ以上の粒径でピークを有するシリコン粒子群を含む研削或いは研磨排水を、湿式分級装置で最も大きい粒径ピークを含む所定粒径以上のシリコン粒子群を含む濃縮液と、該所定粒径未満のシリコン粒子群を含む希薄液の2つに分け、
前記濃縮液を脱水装置で脱水し、高濃度でシリコン粒子を回収することを特徴とするシリコン回収方法。 - 請求項1に記載のシリコン回収方法において、
前記脱水装置に前記濃縮液を供給し、該脱水装置のろ過メディアにケーキ膜を形成した後、前記希薄液を膜ろ過装置に供給し得られた濃縮液を該脱水装置に供給し、脱水して高濃度でシリコン粒子を回収することを特徴とするシリコン回収方法。 - 請求項2に記載のシリコン回収方法において、
前記希薄液及び前記脱水装置のろ液を膜ろ過装置でろ過して、そのろ液を研削・研磨用液として再利用することを特徴とするシリコン回収方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシリコン回収方法において、
前記湿式分級装置は液体サイクロンであり、該液体サイクロンのボトム液が前記濃縮液であり、該液体サイクロンのトップ液が前記希薄液であることを特徴とするシリコン回収方法。 - 請求項4に記載のシリコン回収方法において、
前記液体サイクロンのトップ液とボトム液の液量比がトップ液量50%以上、ボトム液量3%以上であることを特徴とするシリコン回収方法。 - 請求項2乃至5のいずれか1項に記載のシリコン回収方法において、
前記膜ろ過装置はセラミックフィルターであることを特徴とするシリコン回収方法。 - シリコン粒子の粒径分布に2つ以上の粒径でピークを有するシリコン粒子群を含む研削或いは研磨排水を最も大きい粒径ピークを含む所定粒径以上のシリコン粒子群を含む濃縮液と、該所定粒径未満のシリコン粒子群を含む希薄液の2つに分ける湿式分級装置と、
前記湿式分級装置からの濃縮液を脱水装置で脱水し、高濃度でシリコン粒子を回収する脱水装置と、を備えたことを特徴とするシリコン回収装置。 - 請求項7に記載のシリコン回収装置において、
前記湿式分級装置からの希薄液及び前記脱水装置からのろ液をろ過濃縮する膜ろ過装置を備えたことを特徴とするシリコン回収装置。 - 請求項7又は8に記載のシリコン回収装置において、
前記湿式分級装置は液体サイクロンであり、前記濃縮液が前記液体サイクロンのボトム液であり、前記希薄液が前記液体サイクロンのトップ液であることを特徴とするシリコン回収装置。 - 請求項8乃至9のいずれか1項に記載のシリコン回収装置において、
前記膜ろ過膜装置は、セラミックフィルターであることを特徴とするシリコン回収装置。 - 請求項8乃至10のいずれか1項に記載のシリコン回収装置において、
前記湿式分級装置からの濃縮液と前記膜ろ過装置からの濃縮液とを前記脱水装置に切換えて別々に供給する切換え供給手段を備えたことを特徴とするシリコン回収装置。 - 請求項7乃至11のいずれか1項に記載のシリコン回収装置において、
前記脱水装置がフィルタープレスであることを特徴とするシリコン回収装置。 - 請求項7乃至12のいずれか1項に記載のシリコン回収装置において、
前記脱水装置がフィルタープレスであって、該フィルタープレスに温水を循環することにより該フィルタープレス内にシリコンを加温する加熱機構を備え、更にろ室内を真空雰囲気とし該ろ室内のシリコンを真空乾燥可能としたことを特徴とするシリコン回収装置。
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JPH1148145A (ja) * | 1997-08-11 | 1999-02-23 | Kao Corp | 切削屑及び切削粒子の回収方法 |
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JP2002187000A (ja) * | 2001-09-11 | 2002-07-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 被除去物の再利用方法および回収手段 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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