JP5257196B2 - 輪郭振動片 - Google Patents
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Description
図1(A)は、本発明による輪郭振動片の第1実施例である輪郭圧電振動片11を概略的に示している。圧電振動片11は、単一の正方形からなる振動部12を有し、1次モードのラーメモードで輪郭振動する。振動部12の振動の節点である4つの角部から、それぞれ同じ細幅及び長さの接続部13a〜13dが、前記振動部の左右各辺に沿って外向きに延長している。
Claims (8)
- 輪郭振動する振動部と、
前記振動部の輪郭のそれぞれ異なる位置から外向きに引き出された複数の接続部と、
前記振動部の輪郭振動によって互いに同じ大きさで逆向きに屈曲振動する2つの隣接する前記接続部に結合され、かつ少なくとも前記接続部より高い面内剛性を有する中間剛性部と、
前記中間剛性部から前記振動部側とは反対方向に延長する狭幅の連結部と、
前記振動部を支持するために前記連結部に結合され、かつ少なくとも前記連結部より高い面内剛性を有する支持部とを備えることを特徴とする輪郭振動片。 - 前記連結部に結合され、かつ少なくとも該連結部より高い面内剛性を有する第2中間剛性部と、前記第2中間剛性部から前記連結部と直交する向きに延長して前記支持部に結合する第2連結部とを更に有することを特徴とする請求項1記載の輪郭振動片。
- 前記中間剛性部に結合する前記2つの隣接する接続部が、前記振動部から互いに平行に延長することを特徴とする請求項1又は2記載の輪郭振動片。
- 前記中間剛性部に結合する前記2つの隣接する接続部が、前記振動部から互いに同じ傾斜角度でかつ左右対称に延長することを特徴とする請求項1又は2記載の輪郭振動片。
- 前記連結部が、その軸線方向に作用する力に対して該軸線方向に変位する緩衝部を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の輪郭振動片。
- 前記支持部が枠状に形成されかつ最も外側に配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載の輪郭振動片。
- 前記振動部が1つの正方形又は複数の正方形を連ねた方形をなすことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の輪郭振動片。
- 圧電材料で一体に形成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の輪郭振動片。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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