JP5256928B2 - ステンシルマスク及びその製造方法 - Google Patents
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Claims (7)
- 開口部が形成された支持部と、
前記支持部上にパターン形成されたエッチングストッパ層と、
前記エッチングストッパ層上に転写貫通パターンが形成された薄膜層と、を備え、
前記支持部及び前記薄膜層の露出面が酸化されたことを特徴とするステンシ
ルマスク。 - 前記支持部及び前記薄膜部がSiあるいはSiCからなることを特徴とする請求項1に記載のステンシルマスク。
- 前記支持部及び前記薄膜部の露出面が導電膜を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のステンシルマスク。
- 支持層、エッチングストッパ層、薄膜層を備えた基板を用意する工程と、
前記薄膜層に転写貫通パターンを形成する工程と、
前記支持層に開口部を形成する工程と、
前記基板に熱酸化処理を行う工程と、
を含むことを特徴とするステンシルマスクの製造方法。 - 前記熱酸化処理を行う工程の後に、エッチングする工程を含むことを特徴とする請求項4に記載のステンシルマスクの製造方法。
- 前記転写貫通パターンを形成する工程と前記開口部を形成する工程との間に、前記薄膜層に熱酸化処理を行う工程とをさらに含むことを特徴とする請求項4又は5に記載のステンシルマスクの製造方法。
- 前記支持部及び前記薄膜部の露出面に導電膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれかに記載のステンシルマスクの製造方法。
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