JP2008177462A - ステンシルマスクおよびステンシルマスク製造方法 - Google Patents
ステンシルマスクおよびステンシルマスク製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のステンシルマスクは、開口パターンの少なくとも側面の一部または側面の全体に、膜を備えることにより、サイドエッチングにより拡大した開口パターンを補正することが出来る。このため、開口パターンの寸法精度は向上し、露光工程を高い歩留まりで行うことが可能となる。また、前記膜を、導電性を示す膜にすることで、荷電粒子線露光時にステンシルマスクの帯電(チャージアップ)を低減することが出来る。
【選択図】 図1
Description
本発明のステンシルマスクは、
少なくとも基板に開口パターンを有するステンシルマスクにおいて、
前記開口パターンの少なくとも側面の一部または側面の全体に、膜を備えること
を特徴とする。
少なくとも、開口パターンの側面に膜を設けることにより、膜厚の分だけ開口パターンを狭めることが出来、サイドエッチングにより拡大した開口パターンを補正することが出来る。このため、開口パターンの寸法精度(特に、矩形の開口パターンのコーナR値の精度)は向上し、露光工程を高い歩留まりで行うことが可能となる。
本発明のステンシルマスク製造方法は、
少なくとも、
基板にエッチングにより開口パターンを形成する工程と、
前記開口パターンの少なくとも側面の一部または側面の全体に、膜を形成する工程と
を備えたことを特徴とする。
基板にエッチングにより開口パターンを形成する工程は適宜公知のエッチング技術を用いたパターン形成方法を用いて良い。例えば、基板にレジスト樹脂を塗布し、パターン露光を行い、エッチングすることにより形成しても良い。
次に、開口パターンの少なくとも側面の一部または側面の全体に、膜を形成する。
また、本発明のステンシルマスクは下記の実施例にて製造されたステンシルマスクの構成のみに限定されるものではない。
製造されたステンシルマスク(212)における開口パターン(26)のうちの、矩形の開口パターンにおけるコーナR値は240nmであり、400nm以下の範囲にすることが出来た。また、Ta−Mo膜を設ける前の成膜前基板(211)におけるコーナR値は400nmであり、Ta−Mo膜を形成することでコーナR値は160nm低減された(図1(g)参照)。
22……エッチングストッパー層
23……薄膜層
29……開口部
26……開口パターン
212……ステンシルマスク
24……基板
25、28……レジストパターン
27……表裏重ね合わせマーク
210……断裁前基板
211……成膜前基板
Claims (5)
- 少なくとも基板に開口パターンを有するステンシルマスクにおいて、
前記開口パターンの少なくとも側面の一部または側面の全体に、膜を備えること
を特徴とするステンシルマスク。 - 請求項1に記載のステンシルマスクであって、
膜は、導電性を示す膜であること
を特徴とするステンシルマスク。 - 請求項2に記載のステンシルマスクであって、
導電性を示す膜は、
タンタル(Ta)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、金(Au)、銀(Ag)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)からなる群より選ばれた少なくとも一つ以上の金属、
または、前記金属を含む合金、
または、前記金属、前記金属を含む合金の酸化物、
または、前記金属、前記金属を含む合金の窒化物のいずれかを含むこと
を特徴とするステンシルマスク。 - 請求項1から3のいずれかに記載のステンシルマスクであって、
矩形の開口パターンを有し、
前記矩形の開口パターンの角におけるコーナR値が400nm以下であること
を特徴とするステンシルマスク。 - 基板に開口パターンを備えたステンシルマスクの製造方法であって、
少なくとも、
基板にエッチングにより開口パターンを形成する工程と、
前記開口パターンの少なくとも側面の一部または側面の全体に、膜を形成する工程と
を備えたことを特徴とするステンシルマスク製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2007
- 2007-01-22 JP JP2007011208A patent/JP2008177462A/ja active Pending
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