JP5253869B2 - アルカリ洗浄剤組成物 - Google Patents
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R1O−(C2H4O)n−H (1)
(式中、R1は炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基を表わし、nは1〜5の数を表わす。)で表わされる化合物、(B)成分として、下記の一般式(2)
R1O−(C2H4O)n−H (1)
(式中、R1は炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基を表わし、nは1〜5の数を表わす。)
R1は炭素数1〜6のアルキル基又はフェニル基を表わし、アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ターシャリブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、イソヘキシル基等が挙げられる。これらの基の中でも、スカムを溶解させる能力が高いことから、炭素数3〜5の直鎖又は分岐のアルキル基が好ましく、炭素数4の直鎖又は分岐のアルキル基がより好ましい。
こうした化合物は一般的にラクタム類と呼ばれる。R2は水素原子又はメチル基を表わす。R3は水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表わすが、洗浄性が良好なことからR3は水素原子又はメチル基が好ましく、市場から入手することが容易なことから水素原子がより好ましい。更に、mの値は1〜5の数を表わすが、洗浄性が高いことからmの値は1〜3の数であることが好ましく、mの値は2の数であることがより好ましい。
また、本発明のアルカリ洗浄剤組成物は、水で希釈した状態で使用するのが好ましく、実際の洗浄に用いる場合には、洗浄剤組成物全量に対して(A)成分を10〜50質量%、好ましくは15〜45質量%、(B)成分を3〜20質量%、好ましくは5〜15質量%、(C)成分を1〜10質量%、好ましくは2〜8質量%の配合割合に調整した水溶液を用いることが好ましい。濃度があまりに濃すぎると樹脂やゴムを汚染する場合があり、濃度があまりに低すぎると十分な洗浄効果が得られない場合がある。
本発明のアルカリ洗浄剤組成物には、上記各成分に加え本発明の目的を阻害しない範囲で必要に応じて、更に、ノニオン界面活性剤、両性界面活性剤、キレート剤、ビルダー、溶剤、色素、香料、防腐剤等を配合することができる。
フォトソルダーレジスト現像装置のスカムが付着したノズルを、下記に示した配合割合の洗浄剤組成物を使用して洗浄した。洗浄方法としては、下記に示した組成の洗浄剤組成物を水で2倍に希釈し、40℃に昇温した後、スカムが付着したノズルを浸漬してスカムが剥離する時間を測定した。配合割合及び評価結果を表1に記す。
Claims (4)
- (B)成分が、N−メチル−2−ピロリドンであることを特徴とする請求項1に記載のアルカリ現像装置用のアルカリ洗浄剤組成物。
- (A)成分100質量部に対して、(B)成分を5〜200質量部、(C)成分を1〜100質量部含有することを特徴とする請求項1または2に記載のアルカリ現像装置用のアルカリ洗浄剤組成物。
- (A)成分が10〜50質量%、(B)成分が3〜20質量%、(C)成分が1〜10質量%の水溶液であることを特徴とする請求項1または2に記載のアルカリ現像装置用のアルカリ洗浄剤組成物。
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