JP5252184B2 - 凹凸表面検査装置 - Google Patents
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Description
また上記実施の形態では、P偏光板32がテレセントリックレンズ30の直前に配置されていたが、撮像部31の撮像面31aにP偏光だけが入射してS偏光が入射することが抑制できるような配置であれば、前述したレイアウトにこだわる必要はない。例えば、テレセントリックレンズ30と撮像部31との間の撮像光軸上にP偏光板を配置するレイアウトを採用してもよい。
2:スリット光源ユニット
3: 撮像ユニット
20:レーザスリット投光器
21:シリンドリカルレンズ
30:テレセントリックレンズユニット
31:撮像部
31a:撮像面
32:P偏光板
83:評価部
100:コントローラ
Claims (3)
- スリット光を測定対象物の凹凸表面に照射するスリット光源ユニットと、前記スリット光を照射された前記凹凸表面を前記スリット光源ユニットのスリット光軸に対して30度以下の狭角で交差する撮像光軸で撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットによって取得された画像データに基づいて前記凹凸表面の3次元形状を算出する評価部とを備え、
前記スリット光源ユニットは、スリット光源と、当該スリット光源から出た前記スリット光をその光軸に平行な平行光とするシリンドリカルレンズとを有し、
前記撮像ユニットは、テレセントリックレンズと、前記凹凸表面における合焦範囲を拡大するために前記スリット光軸と前記撮像光軸との交差角に対応したあおり傾斜角でその撮像面が前記撮像光軸に対して傾けられている撮像部とを有し、
カバーガラスが設けられた前記撮像面にS偏光が入射することを抑制するように前記撮像光軸上にP偏光板が配置されている凹凸表面検査装置。 - 前記スリット光軸又は前記撮影光軸のいずれかが鉛直方向となるように前記スリット光源ユニットと前記撮像ユニットとが配置されている請求項1に記載の凹凸表面検査装置。
- 前記P偏光板が前記テレセントリックレンズと前記測定対象物との間に配置されている請求項1又は2に記載の凹凸表面検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008064458A JP5252184B2 (ja) | 2008-03-13 | 2008-03-13 | 凹凸表面検査装置 |
US12/400,140 US8049868B2 (en) | 2008-03-13 | 2009-03-09 | Concave-convex surface inspection apparatus |
EP09155027.7A EP2101144B1 (en) | 2008-03-13 | 2009-03-12 | Concave-convex surface inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008064458A JP5252184B2 (ja) | 2008-03-13 | 2008-03-13 | 凹凸表面検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009222418A JP2009222418A (ja) | 2009-10-01 |
JP5252184B2 true JP5252184B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=40589885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008064458A Expired - Fee Related JP5252184B2 (ja) | 2008-03-13 | 2008-03-13 | 凹凸表面検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8049868B2 (ja) |
EP (1) | EP2101144B1 (ja) |
JP (1) | JP5252184B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009059855A1 (de) | 2009-12-21 | 2011-06-22 | Weber Maschinenbau GmbH, 35236 | Abtasteinrichtung |
JP5445848B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2014-03-19 | アイシン精機株式会社 | 物体形状評価装置 |
JP2012122844A (ja) | 2010-12-08 | 2012-06-28 | Aisin Seiki Co Ltd | 表面検査装置 |
KR101240947B1 (ko) * | 2010-12-30 | 2013-03-18 | 주식회사 미르기술 | 비전검사장치 |
TWI461656B (zh) | 2011-12-01 | 2014-11-21 | Ind Tech Res Inst | 距離感測裝置及距離感測方法 |
JP2013257245A (ja) * | 2012-06-13 | 2013-12-26 | Daido Steel Co Ltd | 物品の検査装置 |
JP5994413B2 (ja) * | 2012-06-13 | 2016-09-21 | 大同特殊鋼株式会社 | リング状物品の欠肉の検査装置 |
JP6079664B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2017-02-15 | トヨタ自動車株式会社 | 被測定物の表面測定装置およびその表面測定方法 |
DE102015103426B4 (de) * | 2015-03-09 | 2020-07-02 | Carl Zeiss Meditec Ag | Mikroskopsystem und Verfahren zum automatisierten Ausrichten eines Mikroskops |
DE112015007146T5 (de) * | 2015-11-25 | 2018-08-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Vorrichtung und verfahren zur dreidimensionalen bildmessung |
TWI571649B (zh) * | 2015-12-03 | 2017-02-21 | 財團法人金屬工業研究發展中心 | A scanning device and method for establishing an outline image of an object |
JP6690460B2 (ja) * | 2016-08-11 | 2020-04-28 | 株式会社デンソー | 照明ユニット及びヘッドアップディスプレイ装置 |
US11176651B2 (en) * | 2017-10-18 | 2021-11-16 | Anthony C. Liberatori, Jr. | Computer-controlled 3D analysis of collectible objects |
CN114062390A (zh) * | 2020-07-31 | 2022-02-18 | 觉芯电子(无锡)有限公司 | 一种缝隙检测方法及装置 |
CN112304249B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-03-18 | 江苏大学 | 一种透明材料三维表面及厚度分布同时检测系统及方法 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4736229A (en) | 1983-05-11 | 1988-04-05 | Alphasil Incorporated | Method of manufacturing flat panel backplanes, display transistors and displays made thereby |
JPH0390807A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Fuji Electric Co Ltd | 測距装置 |
JPH04268404A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-24 | Tokai Rika Co Ltd | 変位測定装置及び形状測定装置 |
JPH04301707A (ja) | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Aisin Seiki Co Ltd | 非接触容積測定装置 |
JP2689359B2 (ja) * | 1991-04-20 | 1997-12-10 | 日商精密光学 株式会社 | 光切断顕微鏡 |
JPH07120232A (ja) * | 1993-10-21 | 1995-05-12 | Yunisun:Kk | 非接触型三次元形状測定装置 |
JPH08122021A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Tokai Rika Co Ltd | 寸法測定器 |
JPH08145639A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Kao Corp | 皮膚表面三次元形状測定装置 |
JPH08145619A (ja) * | 1994-11-24 | 1996-06-07 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ干渉計 |
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JPH09280830A (ja) * | 1996-04-12 | 1997-10-31 | Nippon Seiko Kk | 間隙測定装置 |
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JP4301707B2 (ja) | 2000-08-03 | 2009-07-22 | アロン化成株式会社 | ます |
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US7714996B2 (en) * | 2007-01-23 | 2010-05-11 | 3i Systems Corporation | Automatic inspection system for flat panel substrate |
-
2008
- 2008-03-13 JP JP2008064458A patent/JP5252184B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-09 US US12/400,140 patent/US8049868B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-12 EP EP09155027.7A patent/EP2101144B1/en not_active Not-in-force
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090231570A1 (en) | 2009-09-17 |
JP2009222418A (ja) | 2009-10-01 |
EP2101144B1 (en) | 2013-07-03 |
US8049868B2 (en) | 2011-11-01 |
EP2101144A1 (en) | 2009-09-16 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |