JP5782786B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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図5に示されるように、光路分岐素子64は内部に光分離面64Aを有する。光分離面64Aは、反射部分64a,64c及び透過部分64bを含む。反射部分64a,64cにはライン光57aを反射可能な反射膜が設けられ、照射部91から照射されるライン光57aの両端部分に対応する大きさに設定され、該ライン光57aと同時に照射されたライン光54aに重ならない位置に設定されている。一方、透過部分64bには反射膜が設けられておらず、ライン光54a,57aを透過するようになっている。
はじめに、形状測定者は、回転テーブル21に被検物200を載置する。本実施形態では、形状測定者は、被検物200について高精細の形状測定或いは通常の形状測定のいずれを行うかについて不図示の入力部を用いて入力する。例えば、ライン光54aを用いた高精細の形状測定を行う場合、演算処理部300は、第1の撮像素子61から送られる2種類の信号から信号強度が高い方を弁別し、ライン光54aの信号に基づいて被検物200の形状測定を行う。
続いて、本発明の形状測定装置の第二実施形態に係る構成について説明する。本実施形態と上記実施形態との違いは、センサ部の構成である。なお、それ以外の部材及び構成については、上記実施形態と同一であることから、その説明については省略若しくは簡略するものとする。
Claims (5)
- 第1のライン光を測定物に照射する第1光学系と、前記第1光学系の少なくとも一部の光学素子を有し、前記第1のライン光と波長が異なるとともに該第1のライン光よりも長い第2のライン光を前記測定物に照射する第2光学系とを有する光照射部と、
前記測定物による前記第1のライン光の散乱光を検出する第1の検出部と、
前記測定物による前記第2のライン光の散乱光を検出する第2の検出部と、
前記測定物による前記第1のライン光の散乱光を透過させて前記第1の検出部に入射させるとともに、前記測定物による前記第2のライン光の散乱光を分離して前記第2の検出部に入射させる光分離素子と、
を備える
形状測定装置。 - 前記光照射部は、前記第1のライン光及び前記第2のライン光の一方を透過させるとともに、他方を反射させるプリズムを含む
請求項1に記載の形状測定装置。 - 前記光照射部は、前記第1のライン光及び前記第2のライン光の照射を切り替え可能である
請求項1又は2に記載の形状測定装置。 - 第1のライン光を測定物に照射する第1光学系と、前記第1光学系の少なくとも一部の光学素子を有し、前記第1のライン光よりも長く且つ該第1のライン光と光強度が異なる第2のライン光を前記測定物に照射する第2光学系とを有する光照射部と、
前記測定物による前記第1のライン光および前記第2のライン光の散乱光をそれぞれ検出する第1の検出部と、
前記測定物による前記第2のライン光の散乱光を検出する第2の検出部と、
前記測定物による散乱光のうち、前記第1のライン光及び前記第2のライン光の前記散乱光を含む部分を前記第1の検出部に入射させるとともに、前記第2のライン光における前記散乱光のみを含む部分を前記第2の検出部に入射させるように前記散乱光を分離可能な光分離素子と、
を備える
形状測定装置。 - 前記第1の検出部から送られる2種類の信号の信号強度から一方を弁別し、弁別した信号に基づいて前記測定物の形状測定を行う処理部をさらに備える
請求項4に記載の形状測定装置。
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