JP6079664B2 - 被測定物の表面測定装置およびその表面測定方法 - Google Patents
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図1は、本発明の実施形態に係る表面測定装置の模式的概念図であり、図2は、図1に示す表面測定装置の解析装置の概念図である。図3(a)は、カメラによる死角を説明するための模式的概念図であり、(b)は照射装置およびカメラによる死角を説明するための模式的概念図である。
Claims (6)
- 被測定物を移動させながら該被測定物の表面にレーザ光を照射装置で照射して、該被測定物に反射したレーザ光をカメラで検出することにより、前記被測定物の表面形状を測定する工程と、
該測定した被測定物の表面形状のデータから前記被測定物の凹み部分をボイドとして推定し、該凹み部分を含むデータからボイド発生領域を抽出する工程と、
前記ボイド発生領域において、前記ボイドが無い状態の被測定物の表面形状のデータと、前記ボイド発生領域の表面形状のデータとから、前記ボイドの深さおよび前記ボイドの開口の大きさを測定する工程と、
前記ボイドの開口を含む平面の法線ベクトルを算出し、該法線ベクトルに垂直な垂直平面に前記ボイド発生領域を投影した投影領域内に、前記カメラで検出された検出領域を投影することにより、前記カメラの未検出領域を推定する工程と、
該未検出領域に基づいて、前記被測定物の表面形状の再測定を行うかを判定する工程と、を少なくとも含むことを特徴とする被測定物の表面測定方法。 - 前記再測定を行うと判定した際に、前記照射装置の照射軸、前記カメラの光軸、または前記照射装置の照射軸と前記カメラの光軸とが交差する角の二等分線が、前記法線ベクトルに一致するように、前記照射装置および前記カメラの姿勢を変更し、前記被測定物の表面形状を再測定することを特徴とする請求項1に記載の表面測定方法。
- 前記ボイド測定部により測定したボイドの開口の大きさおよびボイドの深さのデータの双方を用いて、前記被測定物に対するボイドの良否を判定することを特徴とする請求項1または2に記載の表面測定方法。
- 被測定物の表面にレーザ光を照射装置で照射し、該被測定物に反射したレーザ光をカメラで検出することにより、前記被測定物の変位量を測定するレーザ変位計と、
該レーザ変位計と前記被測定物とを相対的に移動させる被測定物移動装置と、
該レーザ変位計により測定された変位量に基づいて、前記被測定物の表面形状を解析する解析装置と、を少なくとも備えた表面測定装置であって、
該解析装置は、前記被測定物移動装置により前記被測定物を移動させながら、レーザ変位計により測定された前記変位量から、前記被測定物の表面形状を測定する表面形状測定部と、
該表面形状測定部で測定した前記被測定物の表面形状のデータから前記被測定物の表面の凹み部分をボイドとして推定し、該凹み部分を含むデータからボイド発生領域を抽出するボイド発生領域抽出部と、
前記ボイド発生領域抽出部により抽出されたボイド発生領域内において、前記ボイドが無い状態の被測定物の表面形状のデータと、前記ボイド発生領域の表面形状のデータとから、前記ボイドの深さおよび前記ボイドの開口の大きさを測定するボイド測定部と、
前記ボイドの開口を含む平面の法線ベクトルを算出し、該法線ベクトルに垂直な垂直平面に前記ボイド発生領域を投影した投影領域内に、前記カメラで検出された検出領域を投影することにより、前記カメラの未検出領域を推定する未検出領域推定部と、
該未検出領域推定部により推定された未検出領域に基づいて、前記被測定物の表面形状の再測定を行うかを判定する再測定判定部と、を備えることを特徴とする表面測定装置。 - 前記表面測定装置は、前記被測定物に対する前記レーザ変位計の姿勢を変更する姿勢変更機構と、
前記解析装置の再測定判定部が再測定を行うと判定した際に、前記照射装置の照射軸、前記カメラの光軸、または前記照射装置の照射軸と前記カメラの光軸とが交差する角の二等分線が、前記法線ベクトルに一致するように、前記姿勢変更機構を制御する姿勢制御装置と、を備え、
前記再測定判定部が再測定をすると判断した際に、前記表面形状測定部は前記姿勢制御装置により前記レーザ変位計の姿勢を変更した後に、前記被測定物の表面形状を再測定することを特徴とする請求項4に記載の表面測定装置。 - 前記ボイド測定部により測定したボイドの開口の大きさおよびボイドの深さのデータの双方を用いて、前記被測定物に対するボイドの良否を判定するボイド良否判定部を備えることを特徴とする請求項4または5に記載の表面測定装置。
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